一种靶材用水路背板的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种靶材用水路背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在铜背板主体上加工T型槽，T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽；(2)在盖板槽上放置盖板，得到待焊接水路铜背板；(3)将焊接工件固定在刚性工装上；(4)在待焊接水路铜背板的上方设置激光器；(5)先对待焊接水路铜背板进行点焊；(6)进行一次焊接；(7)进行二次焊接：将焊针逐渐旋转入接缝，使焦点位于铜背板主体和盖板之间的接缝处，然后同时开启搅拌摩擦头和激光器，并同时向焊接方向同步按相同的进给量进给搅拌摩擦头和焦点。本发明专利技术靶材用水路背板的制备方法提高了靶材用水路背板的焊接效率和搅拌摩擦头的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材用水路背板的制备方法
本专利技术涉及靶材
，特别是涉及一种靶材用水路背板的制备方法。
技术介绍
在磁控溅射过程中，由于高速粒子不断轰击靶材，动能转换成热能，靶材因此会产生大量热量，如果这些热量无法及时传递，会引起靶材和背板变形，造成背板扭曲，影响背板使用效果，同时导致靶材过热而造成脱靶现象，产生的热还会对通过溅射而形成的基板薄膜的特性造成影响。故靶材温度必须控制在一定范围内，开发出有高效率冷却功能的水路铜背板具有重要意义。目前水路铜背板的常用焊接方法有电子束焊接和搅拌摩擦焊接。电子束焊接对焊接环境要求高，必须在真空环境下，且表面机械加工后外观有明显焊接痕迹；搅拌摩擦焊接过程会把背板上氧化物、油污等异物带入焊缝里，降低搅拌层的质量，存在预热慢导致输入热量不够并产生缺陷，焊接效率低，搅拌摩擦头寿命短等缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种靶材用水路背板的制备方法，以解决上述现有技术存在的问题，提高靶材用水路背板的焊接效率和搅拌摩擦头的使用寿命。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：...

【技术保护点】
1.一种靶材用水路背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)在铜背板主体上加工T型槽，所述T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽；/n(2)在盖板槽上放置盖板，得到待焊接水路铜背板，然后用压板将所述盖板压紧，从而固定所述盖板；/n(3)将焊接工件固定在刚性工装上；/n(4)在所述待焊接水路铜背板的上方设置激光器，所述焊接工件的搅拌摩擦头和所述激光器发射的激光束沿焊接方向排列；/n(5)先对所述待焊接水路铜背板进行点焊：在所述铜背板主体和所述盖板之间的接缝以均匀距离选取多个点焊位置，然后将所述搅拌摩擦头的焊针伸入所述接缝，通过所述焊针的高速旋转，使所述铜背板主体和所述盖板紧密焊接固定；/...

【技术特征摘要】
1.一种靶材用水路背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在铜背板主体上加工T型槽，所述T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽；
(2)在盖板槽上放置盖板，得到待焊接水路铜背板，然后用压板将所述盖板压紧，从而固定所述盖板；
(3)将焊接工件固定在刚性工装上；
(4)在所述待焊接水路铜背板的上方设置激光器，所述焊接工件的搅拌摩擦头和所述激光器发射的激光束沿焊接方向排列；
(5)先对所述待焊接水路铜背板进行点焊：在所述铜背板主体和所述盖板之间的接缝以均匀距离选取多个点焊位置，然后将所述搅拌摩擦头的焊针伸入所述接缝，通过所述焊针的高速旋转，使所述铜背板主体和所述盖板紧密焊接固定；
(6)进行一次焊接：调节所述搅拌摩擦头的转速为600r/min-700r/min，并使所述搅拌摩擦头边旋转，边沿所述接缝向焊接方向移动，从而使所述铜背板主体和所述盖板紧密融合一起；
(7)进行二次焊接：将所述焊针逐渐旋转入所述接缝，使所述搅拌摩擦头的轴肩伸至所述所述待焊接水路铜背板的顶面并下压0.2-0.5mm，然后调节所述激光束的焦点，使所述焦点位于所述铜背板主体和所述盖板之间的接缝处，然后同时开启所述搅拌摩擦头和所述激光器，并同时向焊接方向同步按相同的进给量...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄新勇，张科，苏百樱，叶开满，陈宗鸿，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35