【技术实现步骤摘要】
激光振荡器支承工作台及其调整方法、激光加工装置
本专利技术涉及对激光振荡器进行支承的激光振荡器支承工作台、具有激光振荡器支承工作台的激光加工装置以及激光振荡器支承工作台的调整方法。
技术介绍
为了将半导体晶片等分割成各个器件芯片，公知有沿着半导体晶片的分割预定线照射激光束而实施加工的激光加工装置(例如，参照专利文献1)。激光加工装置构成为搭载激光振荡器，从激光振荡器射出的激光束经由反射镜或透镜等光学元件而传播到加工点。为了将激光束传播到加工点，激光振荡器的光轴调整是必须的，但随着装置的小型化，由于配置有光学部件的空间变窄、光学部件的数量增多等而变成非常繁杂且费时间的作业(例如，参照专利文献2)。专利文献1：日本特开2003-320466号公报专利文献2：日本特开2013-226576号公报这里，在激光振荡器达到寿命或损坏的情况下等，需要更换搭载于激光加工装置的激光振荡器。但是，由于激光振荡器存在个体差，所以由更换前的激光振荡器和更换后的激光振荡器射出激光束的位置和角度等几乎不同。因此，...
【技术保护点】
1.一种激光振荡器支承工作台，其对激光振荡器进行支承，其中，/n该激光振荡器支承工作台具有：/n基座；/n基座板，其经由Z轴方向移动构件而被支承在该基座上；/nY轴方向移动板，在设从该激光振荡器支承工作台所支承的该激光振荡器射出的激光束的光路方向为X轴方向时，该Y轴方向移动板以能够沿与该X轴垂直的Y轴方向移动的方式搭载在该基座板上；/n旋转板，其以能够绕固定于该Y轴方向移动板的旋转中心销进行转动的方式搭载在该Y轴方向移动板上，并且对该激光振荡器进行支承；/nY轴方向移动单元，其使该Y轴方向移动板沿该Y轴方向移动；以及/n旋转移动单元，其使该旋转板绕该旋转中心销在与该X轴方向...
【技术特征摘要】
20190606 JP 2019-1062631.一种激光振荡器支承工作台，其对激光振荡器进行支承，其中，
该激光振荡器支承工作台具有：
基座；
基座板，其经由Z轴方向移动构件而被支承在该基座上；
Y轴方向移动板，在设从该激光振荡器支承工作台所支承的该激光振荡器射出的激光束的光路方向为X轴方向时，该Y轴方向移动板以能够沿与该X轴垂直的Y轴方向移动的方式搭载在该基座板上；
旋转板，其以能够绕固定于该Y轴方向移动板的旋转中心销进行转动的方式搭载在该Y轴方向移动板上，并且对该激光振荡器进行支承；
Y轴方向移动单元，其使该Y轴方向移动板沿该Y轴方向移动；以及
旋转移动单元，其使该旋转板绕该旋转中心销在与该X轴方向和该Y轴方向所形成的面平行的面内进行旋转。
2.根据权利要求1所述的激光振荡器支承工作台，其中，
所述Z轴方向移动构件包含构成为能够分别独立地沿Z轴方向移动的3个调整单元，
各该调整单元包含：
柱状部，其固定于该基座，在上部具有凹部；
凸缘部，其从该基座板的外缘突出并与该基座板一体地形成，并且该凸缘部具有螺纹孔；
螺钉，其与该凸缘部的螺纹孔螺合；以及
螺母，其与该螺钉螺合而将该基座板相对于该基座固定在规定的高度，
通过对各该调整单元的高度进行调整，能够调整该激光振荡器支承工作台相对于XY平面的倾斜度。
3.根据权利要求1所述的激光振荡器支承工作台，其中，
所述Z轴方向移动构件包含构成为能够分别独立地沿Z轴方向移动的3个调整单元，
各该调整单元包含：
柱状部，其固定于该基座，在上端面开口有螺纹孔；
螺钉，其与该柱状部的该螺纹孔螺合，在长度方向中央部具有凸缘；
凸缘部，其以从该基座板的外缘突出的方式与该基座板一体地形成，并且该凸缘部具有供该螺钉贯穿插入的孔；以及
螺母，其与该螺钉螺合并与该凸缘协同动作而对该凸缘部进行夹持，将该基座板相对于该基座固定在规定的高度，
通过对各该调整单元的高度进行调整，能够调整该激光振荡器支承工作台相对于XY平面的倾斜度。
4.根据权利要求1所述的激光振荡器支承工作台，其中，
所述Y轴方向移动单元包含：
长孔，其在该Y轴方向移动板上与Y轴方向平行地形成；
引导突起，其与该基座板一体地形成并插入到该长孔内；
螺钉，其与形成于该基座板的螺纹孔螺合，并且前端与该Y轴方向移动板的侧部抵接；以及
弹簧，其插入到该长孔内，对该引导突起和该Y轴方向移动板沿互相分离的方向施力。
5.根据权利要求1所述的激光振荡器支承工作台，其中，
所述旋转移动单元包含：
长孔，其在所述旋转板的长度方向的中央部与Y轴方向平行地形成；
引导突...
【专利技术属性】
技术研发人员：三浦诚治，瓜生宏树，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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