【技术实现步骤摘要】
一种坩埚翻转涂刷平台装置
本专利技术属于坩埚涂刷
,具体涉及一种坩埚翻转涂刷平台装置。
技术介绍
石英坩埚是多晶硅定向凝固技术中必不可少的容器,随着需求的增加,目前硅片尺寸逐渐增大至166mm,甚至达到了210mm,大尺寸硅片的生产对阻隔金属杂质侵入的高纯涂层有了更高的要求。为了防止杂质向硅熔体中扩散,需要在坩埚内表面对应硅液线以下的区域涂刷一层高纯石英涂层,因为坩埚呈四方形,在进行侧壁内表面涂刷时需要先将坩埚立起,然后再根据需要依次翻转进行四侧壁内表面的刷涂,传统的方式多采用人工进行坩埚的立起和翻转作业,这种方式不仅作业效率低,而且劳动负荷较大,且容易在翻转和立起作业过程中使坩埚发生损坏。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本专利技术提供一种坩埚翻转涂刷平台装置,该装置能方便快捷的实现坩埚的立起和翻转作业,能大幅度的降低操作人员的劳动负荷,并能避免在翻转和立起过程中使坩埚发生损坏。为了实现上述目的,本专利技术提供一种坩埚翻转涂刷平台装置,包括翻转机构和旋转机构,所述翻转机构包括底座 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚翻转涂刷平台装置,包括翻转机构(1)和旋转机构(2),所述翻转机构(1)包括底座框架(3)、一对翻转油缸(4)、一对翻转座(5)和翻转支撑架(10);其特征在于;/n所述一对翻转座(5)前后间隔的固定连接在底座框架(3)左端的上方;所述翻转支撑架(10)的下部对应一对翻转座(5)的部分具有一对延伸臂(11);一对延伸臂(11)的下部通过销轴(24)分别与一对翻转座(5)的上端铰接;一对翻转油缸(4)前后相间隔的设置在底座框架(3)的上方,并与一对翻转座(5)相对应的设置;一对翻转油缸(4)的缸筒端分别与底座框架(3)中部的前侧和后侧铰接,其活塞杆端分别与一对延伸 ...
【技术特征摘要】
1.一种坩埚翻转涂刷平台装置,包括翻转机构(1)和旋转机构(2),所述翻转机构(1)包括底座框架(3)、一对翻转油缸(4)、一对翻转座(5)和翻转支撑架(10);其特征在于;
所述一对翻转座(5)前后间隔的固定连接在底座框架(3)左端的上方;所述翻转支撑架(10)的下部对应一对翻转座(5)的部分具有一对延伸臂(11);一对延伸臂(11)的下部通过销轴(24)分别与一对翻转座(5)的上端铰接;一对翻转油缸(4)前后相间隔的设置在底座框架(3)的上方,并与一对翻转座(5)相对应的设置;一对翻转油缸(4)的缸筒端分别与底座框架(3)中部的前侧和后侧铰接,其活塞杆端分别与一对延伸臂(11)的下端铰接;
所述旋转机构(2)包括旋转支撑架(6)、回转支承(13)、驱动机构(12)、四个滑块(17)、四个夹紧板(25)、两个夹紧油缸(16)和牵引绳(26);所述旋转支撑架(6)与翻转支撑架(10)相平行的设置在翻转支撑架(10)上部的左侧,旋转支撑架(6)的左侧具有承载平台(7),承载平台(7)遍布其左侧面的安装有多个万向支撑轮(14);所述回转支承(13)设置在旋转支撑架(6)和翻转支撑架(10)之间,其外圈的左端与旋转支撑架(6)的旋转中心固定连接,其内圈的右端与翻转支撑架(10)的上端固定连接;回转支承(13)外圈的外圆周具有外齿圈(9);所述驱动机构(12)固定安装在翻转支撑架(10)的上部,其输出轴上固定套装有位于回转支承(13)外部一侧的驱动齿轮(8),驱动齿轮(8)与外齿圈(9)相啮合;所述旋转支撑架(6)的右侧环绕其旋转中心的固定连接有四对径向导向梁(15),四对径向导向梁(15)周向均匀的分布,且中心相互连通;每对径向导向梁(15)之间形成径向延伸的导向滑道(23);在四对径向导向梁(15)的中心可转动的连接有呈三角分布的三个导向滑轮(21);在承载平台(7)的边沿对应四个导向滑道(23)外...
【专利技术属性】
技术研发人员:邢夫龙,李为晋,孙春浩,
申请(专利权)人:徐州协鑫太阳能材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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