压电复合薄膜及其制备方法、以及压电传感器技术

本发明专利技术涉及感应装置技术领域，具体公开了一种压电复合薄膜及其制备方法、以及压电传感器。压电复合薄膜的制备方法包括：制备PZT纤维，并使PZT纤维结晶成相；将结晶成相的PZT纤维与压电聚合物按照质量比为1:10至1：20复合，并将PZT纤维和压电聚合物搅拌均匀并形成浆料；利用介电泳力将浆料制备成PZT纤维呈一致取向的压电块；对压电块进行极化以制备得到压电复合薄膜。该压电复合薄膜具有一致取向的PZT纤维，该PZT纤维贯穿压电聚合物主体可与第一电极层以及第二电极层直接接触，可最大程度极化压电复合薄膜中的PZT纤维，提高压电复合薄膜的压电性能。

【技术实现步骤摘要】
压电复合薄膜及其制备方法、以及压电传感器
本专利技术涉及感应装置
，尤其涉及一种压电复合薄膜及其制备方法、以及压电传感器。
技术介绍
透明压电传感器的主要构成部分为透明压电复合薄膜。在压电复合薄膜材料中，1-3型压电复合薄膜可提高陶瓷相在复合体系的极化性能，该极化性能的提高可使得压电复合薄膜的压电性能得以提高，但大多数1-3型压电复合薄膜中的PZT(锆钛酸铅压电陶瓷)纤维取向无规则，难以对PZT纤维进行充分极化，压电复合薄膜的压电性能仍然比较低。
技术实现思路
本专利技术公开了一种压电复合薄膜及其制备方法、以及压电传感器，本专利技术中的压电复合薄膜具有一致取向的PZT纤维，且该PZT纤维贯穿压电聚合物主体可与第一电极层以及第二电极层直接接触，可最大程度极化压电复合薄膜中的PZT纤维，提高压电复合薄膜的压电性能。为了实现上述目的，本专利技术实施例公开了一种压电复合薄膜的制备方法，包括：制备PZT纤维，并使所述PZT纤维结晶成相；将结晶成相的所述PZT纤维与压电聚合物按照质量比为1:10至1：20复本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n制备PZT纤维，并使所述PZT纤维结晶成相；/n将结晶成相的所述PZT纤维与压电聚合物按照质量比为1:10至1：20复合，并将所述PZT纤维和所述压电聚合物搅拌均匀并形成浆料；/n利用介电泳力将所述浆料制备成所述PZT纤维呈一致取向的压电块；/n对所述压电块进行极化以制备得到压电复合薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
制备PZT纤维，并使所述PZT纤维结晶成相；
将结晶成相的所述PZT纤维与压电聚合物按照质量比为1:10至1：20复合，并将所述PZT纤维和所述压电聚合物搅拌均匀并形成浆料；
利用介电泳力将所述浆料制备成所述PZT纤维呈一致取向的压电块；
对所述压电块进行极化以制备得到压电复合薄膜。


2.根据权利要求1所述的压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述制备PZT纤维，并使所述PZT纤维结晶成相的步骤包括：
制备内径为300nm-800nm、长度为2μm-6μm的PZT纤维；
将所述PZT纤维放入加热炉中，利用所述加热炉以600℃-800℃的温度对所述PZT纤维加热3h-6h，使所述PZT纤维结晶成相。


3.根据权利要求1所述的压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述压电聚合物通过质量分数为10％-20％的PVDF、PVDF-TRFE或PVDF-CTFE-TRFE分散于DMF中形成。


4.根据权利要求1所述的压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述PZT纤维和所述压电聚合物通过磁力搅拌均匀并形成浆料。


5.根据权利要求1所述的压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述利用介电泳力将所述浆料制备成PZT纤维呈一致取向的压电块的步骤包括：
利用第一导电薄膜制备得到第一电极；
在所述第一导电薄膜上制作成型槽并将所述浆料倒入所述成型槽内；
将所述成型槽内的所述浆料刮平并于室温下静置15min-25min得到所述压电块；
利用第二导电薄膜在所述压电块背离所述第一电极的一侧制备得到第二电极；
将所述第一电极和所述第二电极与电压为50v-300v、频率为50HZ的交流电连通，以使所述压电块中的所述PZT纤维排列一致；
待所述压电块内的所述PZT纤维排列至一致取向后，所述第一电极和所述第二电极断电。


6.根据权利要求5所述的压电复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述待所述压电块内的所述PZT纤维排列至一致取向后，所述第一电极和所述第二电极断电之后，所述制备方法还包括；
将所述压电块在50℃-100℃下烘烤2h...

【专利技术属性】
技术研发人员：向远方，
申请(专利权)人：欧菲微电子技术有限公司，欧菲光集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36