尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端，进气端与设备的尾气排放管路相连接，出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接，另一端与进气管路的进气端相连接，用于向进气管路内补水，以使尾气和水混合。本实用新型专利技术的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本实用新型专利技术的尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。

【技术实现步骤摘要】
尾气洗涤塔及半导体刻蚀设备
本技术涉及半导体芯片制造领域，特别是涉及一种用于半导体金属刻蚀工艺尾气处理的尾气洗涤塔，以及一种半导体刻蚀设备。
技术介绍
文氏气泡洗涤塔是半导体芯片制造厂常用的尾气处理装置，它的最大优点是可以只用自来水，而不需要添加任何化学药剂便可以达到处理各种酸碱等水溶性气体及粉尘的明显效果，比如可以处理金属刻蚀后的工艺尾气。芯片制造过程中大量使用含有金属材质的原料以制造插塞等互连结构，这其中最常用的有钨。通常的钨制程工艺中需大量使用六氟化硫(SF6)和氧气(O2)作为制程气体，尾气排放时这两种制程气体的残余物容易反应生成六氟化钨(WF6)和二氧化硫(SO2)的颗粒物而附着在排放管路和洗涤塔的处理槽的表面，严重影响尾气排放效率和洗涤塔的处理效率。六氟化钨如果处理不干净，可能生成氢氟酸等氟化物，造成管路和设备的腐蚀，对环境造成危害，严重时还会造成洗涤塔泵负载过重，存在跳电风险，甚至还可能导致尾气倒灌至刻蚀设备中，造成巨大的经济损失。为确保设备安全，现行做法通常是依靠维修人员定期手动清洗洗涤塔表面的硫化物和氟化物，将洗涤塔槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气洗涤塔，其特征在于，包括：/n塔体，所述塔体的底部设置有反应槽，用于对尾气进行处理；/n进气管路，所述进气管路包括进气端及出气端，所述进气端与设备的尾气排放管路相连接，所述出气端与所述反应槽相连接；/n离心泵，与所述反应槽及所述进气管路相连通，用于将尾气经所述进气管路输送至所述反应槽中；/n补水管路，所述补水管路一端与供水源相连接，另一端与所述进气管路的进气端相连接，用于向所述进气管路内补水，以使尾气和水混合。/n

【技术特征摘要】
1.一种尾气洗涤塔，其特征在于，包括：
塔体，所述塔体的底部设置有反应槽，用于对尾气进行处理；
进气管路，所述进气管路包括进气端及出气端，所述进气端与设备的尾气排放管路相连接，所述出气端与所述反应槽相连接；
离心泵，与所述反应槽及所述进气管路相连通，用于将尾气经所述进气管路输送至所述反应槽中；
补水管路，所述补水管路一端与供水源相连接，另一端与所述进气管路的进气端相连接，用于向所述进气管路内补水，以使尾气和水混合。


2.根据权利要求1所述的尾气洗涤塔，其特征在于：所述补水管路上设置有控制阀，用于根据需要控制供水量。


3.根据权利要求1所述的尾气洗涤塔，其特征在于：所述反应槽内设置有水气混合管路，所述水气混合管路的进气端与所述进气管路的出气端相连接，所述水气混合管路上设置有水气喷射口；所述离心泵的波轮位于所述反应槽内，以将水汽吸入至所述水气混合管路，之后经所述水气喷射口喷射至所述反应槽内。


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【专利技术属性】
技术研发人员：曹兴龙，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31