具有像素内处理电路的Ｘ射线检测器制造技术

本发明专利技术涉及一种具有由闪烁层（１１）、耦合层（１２）和敏感层（１３）组成的像素阵列（１０）的Ｘ射线检测器。耦合层（１２）包括光导单元（１７）和屏蔽单元（１６），其中屏蔽单元（１６）置于易受Ｘ射线干扰的电子处理电路（１５ａ，１５ｂ）上。在可替换实施例中，耦合层由透光并吸收Ｘ射线的材料例如铅玻璃组成。优选地，组合在耦合层（１２）中的波长转换材料将在闪烁层（１１）中所产生光子的波长（λ↓［１］）转换为敏感层（１３）具有更高灵敏度的值（λ↓［２］）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种Ｘ射线检测器（１００，２００，３００），包括：ａ）具有至少一个检测器元件的敏感层（１３，３３，５３），包括光敏传感器单元（１４，３４，５４），和易受Ｘ射线干扰的处理电路（１５ａ，１５ｂ，３５ａ，３５ｂ，５５）；ｂ）将入射Ｘ射线（Ｘ）转化为光子（λ１，λ２）的闪烁层（１１，３１，５１）；ｃ）置于闪烁层（１１，３１，５１）和敏感层（１３，３３，５３）之间的耦合层，耦合层适合于将光从闪烁层（１１，３１，５１）引向传感器单元（１４，３４，５４）并保护处理电路（１５ａ，１５ｂ，３５ａ，３５ｂ，５５）不受Ｘ射线的影响。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：G泽特勒，G沃格特迈耶，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[]