【技术实现步骤摘要】
一种超短脉冲激光光源
本技术涉及激光划片领域，特别涉及一种超短脉冲激光光源。
技术介绍
随着半导体制程的技术迭代，现有厂商用超短脉冲进行晶圆激光划片，其中，超短脉冲多采用为飞秒/皮秒级别的高峰值功率脉冲，以实现纳米尺度的精细切割。由于不同种类、不同尺寸、不同结构的晶圆在进行激光划片时，为达到最优的划片效果，激光所需的脉冲时间有较大的不同，因此，现有厂商需常备飞秒脉冲激光光源、皮秒脉冲激光光源各一套或几套，造成成本增大，且飞秒脉冲激光光源、皮秒脉冲激光光源在相互切换时操作复杂，也为作业带来诸多不便。
技术实现思路
本技术为解决现有技术中的不足之处，而提供一种超短脉冲激光光源，用于在不更换激光器的前提下，实现皮秒/飞秒脉冲的互相切换。为实现上述目的，本技术的技术方案为：提供一种超短脉冲激光光源，包括超短脉冲种子源、第二脉冲压缩器、第一全反射镜、第二全反射镜、第三全反射镜、第四全反射镜，所述超短脉冲种子源用于输出皮秒或亚皮秒脉冲，其输出的光束经第二脉冲压缩器后作为抽运光/划片光输出，所述第一全反射镜...
【技术保护点】
1.一种超短脉冲激光光源，其特征在于：包括超短脉冲种子源、第二脉冲压缩器、第一全反射镜、第二全反射镜、第三全反射镜、第四全反射镜，所述超短脉冲种子源用于输出皮秒或亚皮秒脉冲，其输出的光束经第二脉冲压缩器后作为抽运光/划片光输出，所述第一全反射镜设于第二脉冲压缩器输入侧的光路上，第二全反射镜设于第二脉冲压缩器输出侧的光路上，第一全反射镜、第二全反射镜均设有旋转结构用于实现自身旋转，在第一全反射镜、第二全反射镜的反射下，所述光束能沿第一全反射镜、第三全反射镜、第四全反射镜、第二全反射镜依次传播。/n
【技术特征摘要】
1.一种超短脉冲激光光源，其特征在于：包括超短脉冲种子源、第二脉冲压缩器、第一全反射镜、第二全反射镜、第三全反射镜、第四全反射镜，所述超短脉冲种子源用于输出皮秒或亚皮秒脉冲，其输出的光束经第二脉冲压缩器后作为抽运光/划片光输出，所述第一全反射镜设于第二脉冲压缩器输入侧的光路上，第二全反射镜设于第二脉冲压缩器输出侧的光路上，第一全反射镜、第二全反射镜均设有旋转结构用于实现自身旋转，在第一全反射镜、第二全反射镜的反射下，所述光束能沿第一全反射镜、第三全反射镜、第四全反射镜、第二全反射镜依次传播。
2.如权利要求1所述的一种超短脉冲激光光源，其特征在于：所述第三全反射镜、第四全反射镜设于所述光路的旁侧。
3.如权利要求1所述的一种超短脉冲激光光源，其特征在于：还包括低非线性光纤放大器，所述光束先经低非线性光纤放大器后才至所述第二脉冲压缩器。
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