一种石墨纯化炉排气散热装置制造方法及图纸

技术编号:26552016 阅读:54 留言:0更新日期:2020-12-01 18:35
本实用新型专利技术公开了一种石墨纯化炉排气散热装置,包括下支撑环,通过外侧法兰和纯化炉的炉筒上盖连接,炉筒上盖通过中部开有高温气体出口将纯化炉内的高温气体导入该排气散热装置内;压环,套接在下支撑环的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓与炉筒上盖连接,将下支撑环紧固在炉筒上盖上;内排气管,底部支撑在下支撑环内壁底部设置的凸台上;内排气管内设有两个以上水平安装的隔热挡板,隔热挡板为圆弧形板,依次间隔相对设置,从而在内排气管内从下往上形成一个弯曲的气体通道;外隔热筒,套接在内排气管的外部,且底部与下支撑环顶部连接;侧开口排气管,底部与外隔热筒顶部连接,顶部设有排气管上盖封闭,侧面开口处与外排气管连接。

A kind of exhaust heat dissipation device for graphite purification furnace

【技术实现步骤摘要】
一种石墨纯化炉排气散热装置
本技术涉及石墨材料制备装备领域,特别是一种适用于石墨纯化炉所用的排气散热装置。
技术介绍
石墨由于其良好的导热性,易加工性以及耐高温性能,广泛应用于光伏、半导体及其它相关领域。在半导体及核工业等领域,对石墨产品的纯度要求很高,杂质含量要控制在5ppm以下,而常规等静压石墨出厂时杂质含量约为200ppm,需要通过纯化炉进行高温纯化处理。高温纯化过程中需采用大量的氯气作为工艺气体,带有氯气的高温气体排出炉内后,会对排气管道及排气泵产生严重腐蚀,影响设备使用寿命。
技术实现思路
本技术所要解决的问题,是针对现有技术的不足,设计一种石墨纯化炉排气散热装置,以增大高温气流流动行程与散热面积,增强散热效果。技术方案:一种石墨纯化炉排气散热装置,包括:下支撑环,其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖连接;所述炉筒上盖中部开有高温气体出口,通过该出口将纯化炉内的高温气体导入该排气散热装置内;压环,其套接在下支撑环的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓与炉筒上盖连接,将下支撑环紧固在炉筒上盖上;本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,包括:/n下支撑环(1),其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖(2)连接;所述炉筒上盖(2)中部开有高温气体出口;/n压环(3),其套接在下支撑环(1)的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓(4)与炉筒上盖(2)连接,将下支撑环(1)紧固在炉筒上盖(2)上;/n内排气管(6),其底部支撑在下支撑环(1)内壁底部设置的凸台上;内排气管(6)内设有两个以上水平安装的隔热挡板(7),所述隔热挡板(7)为圆弧形板,依次间隔相对设置,从而在内排气管(6)内从下往上形成一个弯曲的气体通道;/n外隔热筒(5),其套接在内排气管(6)的外部,且底部与下支撑环(1)...

【技术特征摘要】
1.一种石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,包括:
下支撑环(1),其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖(2)连接;所述炉筒上盖(2)中部开有高温气体出口;
压环(3),其套接在下支撑环(1)的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓(4)与炉筒上盖(2)连接,将下支撑环(1)紧固在炉筒上盖(2)上;
内排气管(6),其底部支撑在下支撑环(1)内壁底部设置的凸台上;内排气管(6)内设有两个以上水平安装的隔热挡板(7),所述隔热挡板(7)为圆弧形板,依次间隔相对设置,从而在内排气管(6)内从下往上形成一个弯曲的气体通道;
外隔热筒(5),其套接在内排气管(6)的外部,且底部与下支撑环(1)顶部连接;
侧开口排气管(8),其底部与外隔热筒(5)顶部连接,顶部设有排气管上盖(9)封闭,侧面开口处与外排气管(10)连接。


2.根据权利要求1所述的石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,所述隔热挡板(7)为半圆形板或者优弧形板,外圈的正反面均设有凹形台阶;相邻的两段内排气管(6)之间...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪勋张春伟江扣龙潘星宇
申请(专利权)人:江苏协鑫特种材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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