【技术实现步骤摘要】
一种石墨纯化炉排气散热装置
本技术涉及石墨材料制备装备领域,特别是一种适用于石墨纯化炉所用的排气散热装置。
技术介绍
石墨由于其良好的导热性,易加工性以及耐高温性能,广泛应用于光伏、半导体及其它相关领域。在半导体及核工业等领域,对石墨产品的纯度要求很高,杂质含量要控制在5ppm以下,而常规等静压石墨出厂时杂质含量约为200ppm,需要通过纯化炉进行高温纯化处理。高温纯化过程中需采用大量的氯气作为工艺气体,带有氯气的高温气体排出炉内后,会对排气管道及排气泵产生严重腐蚀,影响设备使用寿命。
技术实现思路
本技术所要解决的问题,是针对现有技术的不足,设计一种石墨纯化炉排气散热装置,以增大高温气流流动行程与散热面积,增强散热效果。技术方案:一种石墨纯化炉排气散热装置,包括:下支撑环,其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖连接;所述炉筒上盖中部开有高温气体出口,通过该出口将纯化炉内的高温气体导入该排气散热装置内;压环,其套接在下支撑环的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓与炉筒上盖连接,将下支撑 ...
【技术保护点】
1.一种石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,包括:/n下支撑环(1),其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖(2)连接;所述炉筒上盖(2)中部开有高温气体出口;/n压环(3),其套接在下支撑环(1)的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓(4)与炉筒上盖(2)连接,将下支撑环(1)紧固在炉筒上盖(2)上;/n内排气管(6),其底部支撑在下支撑环(1)内壁底部设置的凸台上;内排气管(6)内设有两个以上水平安装的隔热挡板(7),所述隔热挡板(7)为圆弧形板,依次间隔相对设置,从而在内排气管(6)内从下往上形成一个弯曲的气体通道;/n外隔热筒(5),其套接在内排气管(6)的外部,且 ...
【技术特征摘要】
1.一种石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,包括:
下支撑环(1),其通过外侧法兰和石墨纯化炉的炉筒上盖(2)连接;所述炉筒上盖(2)中部开有高温气体出口;
压环(3),其套接在下支撑环(1)的外侧法兰上,且外侧开有螺栓孔,通过螺栓(4)与炉筒上盖(2)连接,将下支撑环(1)紧固在炉筒上盖(2)上;
内排气管(6),其底部支撑在下支撑环(1)内壁底部设置的凸台上;内排气管(6)内设有两个以上水平安装的隔热挡板(7),所述隔热挡板(7)为圆弧形板,依次间隔相对设置,从而在内排气管(6)内从下往上形成一个弯曲的气体通道;
外隔热筒(5),其套接在内排气管(6)的外部,且底部与下支撑环(1)顶部连接;
侧开口排气管(8),其底部与外隔热筒(5)顶部连接,顶部设有排气管上盖(9)封闭,侧面开口处与外排气管(10)连接。
2.根据权利要求1所述的石墨纯化炉排气散热装置,其特征在于,所述隔热挡板(7)为半圆形板或者优弧形板,外圈的正反面均设有凹形台阶;相邻的两段内排气管(6)之间...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪勋,张春伟,江扣龙,潘星宇,
申请(专利权)人:江苏协鑫特种材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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