【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置的制造方法以及显示装置
以下的公开涉及显示装置的制造方法以及显示装置,更详细而言,涉及有机EL显示装置等具备通过电流驱动的电光元件的显示装置的制造方法以及显示装置。
技术介绍
作为具备薄型、高画质、低功耗等特征的显示装置,有机EL(ElectroLuminescence,电致发光)显示装置受到瞩目,目前其开发正在积极进行。在有机EL显示装置中显示图像的显示面板包括:配置有多个像素电路的显示部;和以包围该显示部的方式设置的、配置有驱动各像素电路的驱动电路的边框。各像素电路包括多个晶体管,如果这些晶体管都正常动作,则像素电路以与数据信号对应的亮度发光。但是,由于任一个晶体管始终处于导通状态,或始终处于截止状态,有时会无法正常动作。包括不能正常工作的晶体管在内的像素电路,例如由于总是熄灭而成为黑点,或由于总是点亮而成为亮点。另外,有时在连续的多个像素电路中也会发生灰度异常,在显示部上显示线缺陷。通过对具有这样的缺陷的像素电路进行修复而始终处于熄灭状态而黑点化的显示面板,如果其缺陷的个数少,则在实际上没有问题 ...
【技术保护点】
1.一种显示装置的制造方法,所述显示装置通过分别向配置于显示面板的多个像素电路供给数据信号来显示图像,其特征在于:/n多条数据线,供给有所述数据信号;/n多条扫描线,依次供给用于选择像素电路的扫描信号;/n所述多个像素电路,对应于所述多条数据线和所述多条扫描线的交叉点而设置;以及/n扫描线驱动电路,依次选择所述多条扫描线,/n所述像素电路包括:/n电光元件;/n保持电容,其用于保持控制所述电光元件的驱动电流的电压;/n驱动晶体管,其用于向所述电光元件供给与所述保持电容所保持的电压对应的驱动电流;/n补偿晶体管,其用于将从数据线施加的所述数据信号写入连接有所述驱动晶体管的控制 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置的制造方法,所述显示装置通过分别向配置于显示面板的多个像素电路供给数据信号来显示图像,其特征在于:
多条数据线,供给有所述数据信号;
多条扫描线,依次供给用于选择像素电路的扫描信号;
所述多个像素电路,对应于所述多条数据线和所述多条扫描线的交叉点而设置;以及
扫描线驱动电路,依次选择所述多条扫描线,
所述像素电路包括:
电光元件;
保持电容,其用于保持控制所述电光元件的驱动电流的电压;
驱动晶体管,其用于向所述电光元件供给与所述保持电容所保持的电压对应的驱动电流;
补偿晶体管,其用于将从数据线施加的所述数据信号写入连接有所述驱动晶体管的控制端子和所述保持电容的节点,并且补偿所述驱动晶体管的阈值电压;
第一电源布线,其供给用于将驱动电流供给至所述电光元件以使所述电光元件发光所需的电源电位;以及
截止电位供给布线,其供给从所述第一电源布线施加的所述电源电位作为使所述驱动晶体管成为截止状态的截止电位,
所述补偿晶体管是双控制端子结构的晶体管,所述双控制端子结构的晶体管形成在连接所述节点和所述驱动晶体管的第二导通端子的半导体层上且由第一补偿晶体管和第二补偿晶体管构成,
所述第一补偿晶体管的第二导通端子和所述第二补偿晶体管的第一导通端子连接到杂质区域,所述杂质区域包括在夹在所述第一补偿晶体管和所述第二补偿晶体管之间的所述半导体层上形成的杂质,而且,所述第一补偿晶体管的第一导通端子连接到所述驱动晶体管的第二导通端子,所述第二补偿晶体管的第二导通端子连接到所述节点,所述第一补偿晶体管和所述第一补偿晶体管的控制端子均与扫描线连接,
所述截止电位供给布线的一部分夹着无机绝缘膜与所述半导体层的所述杂质区域重叠地形成,另一部分与施加所述截止电位的电源布线连接,
通过从所述显示面板的背面侧向重叠所述截止电位供给布线和所述杂质区域而形成的区域照射激光,将所述截止电位供给布线和所述杂质区域电连接的工序。
2.如权利要求1所述的显示装置的制造方法,其特征在于,
所述像素电路包括:
绝缘基板;
所述半导体层,形成在所述绝缘基板上;
栅极绝缘膜,以覆盖所述半导体层的方式形成;
通过在两个部位与所述半导体层重叠,从而分别成为所述第一补偿晶体管的控制端子和所述第二补偿晶体管的控制端子的所述扫描线;
第一层间绝缘膜,由以覆盖所述扫描线的方式形成的无机绝缘膜构成;
修复布线,由在所述第一层间绝缘膜上形成的第一金属层构成;
第二层间绝缘膜,由以覆盖所述第一金属层的方式形成的所述无机绝缘膜构成;
数据线,由形成于所述第二层间绝缘膜上的第二金属层构成;和
所述第一电源布线,与所述数据线平行形成并施加所述电源电位,
所述修复布线的一部分夹着所述栅极绝缘膜以及所述第一层间绝缘膜且与所述半导体层的所述杂质区域重叠,另一部分通过形成于所述第二层间绝缘膜的接触孔与所述第一电源布线连接,从而被施加所述电源电位,
在直接连接所述截止电位供给布线和所述杂质区域的工序中,所述修复布线是将所述电源电位作为所述截止电位来施加的所述截止电位供给布线,所述栅极绝缘膜和所述第一层间绝缘膜为所述无机绝缘膜。
3.如权利要求2所述的显示装置的制造方法,其特征在于,
还包括形成于所述第二层间绝缘膜上且由所述第二金属层构成的所述数据线,所述数据线形成为不与所述修复布线重叠。
4.如权利要求1所述的显示装置的制造方法,其特征在于,
所述像素电路包括:
绝缘基板;
所述半导体层,形成在所述绝缘基板上;
栅极绝缘膜,以覆盖所述半导体层的方式形成;
所述扫描线,通过在两个部位与所述半导体层重叠,从而分别成为所述第一补偿晶体管的控制端子和所述第二补偿晶体管的控制端子;
所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜,由以覆盖所述扫描线的方式形成的所述无机绝缘膜来构成;以及
所述数据线,由形成于所述第二层间绝缘膜上的第二金属层构成;和
所述第一电源布线,与所述数据线平行形成并施加所述电源电位,
所述第一电源布线和所述栅极绝缘膜夹着所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜与所述半导体层的所述杂质区域重叠地形成,
在直接连接所述截止电位供给布线和所述杂质区域的工序中,所述第一电源布线是将所述电源电位作为所述截止电位来施加的所述截止电位供给布线,所述栅极绝缘膜和所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜为所述无机绝缘膜。
5.如权利要求1所述的显示装置的制造方法,其特征在于,
所述像素电路包括:
绝缘基板;
所述半导体层,形成在所述绝缘基板上;
栅极绝缘膜,以覆盖所述半导体层的方式形成;
所述扫描线,通过在两个部位与所述半导体层重叠,从而分别成为所述第一补偿晶体管的控制端子和所述第二补偿晶体管的控制端子;
所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜,由以覆盖所述扫描线的方式形成的所述无机绝缘膜来构成;以及
所述数据线,由形成于所述第二层间绝缘膜上的第二金属层构成;和
所述第一电源布线,与所述数据线平行形成并施加所述电源电位,
所述第一电源布线具有从所述第一电源布线分支并与所述扫描线平行延伸的突起部,
所述突起部的一部分与由所述半导体层的所述第一补偿晶体管和所述第二补偿晶体管所夹持的区域重叠,
在直接连接所述截止电位供给布线和所述杂质区域的工序中,包含分支后的所述突起部的所述第一电源布线是将所述电源电位作为所述截止电位来施加的所述截止电位供给布线,所述栅极绝缘膜和所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜为所述无机绝缘膜。
6.如权利要求1所述的显示装置的制造方法,其特征在于,
所述像素电路包括:
绝缘基板;
所述半导体层,形成在所述绝缘基板上;
栅极绝缘膜,以覆盖所述半导体层的方式形成;
所述扫描线,通过在两个部位与所述半导体层重叠,从而分别成为所述第一补偿晶体管的控制端子和所述第二补偿晶体管的控制端子;
第一层间绝缘膜及第二层间绝缘膜,由以覆盖所述扫描线的方式形成的所述无机绝缘膜来构成;
所述数据线,由形成于所述第二层间绝缘膜上的第二金属层构成;
下层第一电源布线,与所述数据线平行形成;
第三层间绝缘膜,由以覆盖所述数据线及所述下层第一电源布线的方式形成的所述无机绝缘膜来构成;以及
平行第一电源布线和交叉第一电源布线,由形成于所述第三层间绝缘膜上的第三金属层...
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