一种干式真空泵的气体输送结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干式真空泵的气体输送结构，包括阀体，所述阀体的内部开设有阀腔，且阀体的侧壁中开设有气路通孔，所述阀腔的内部设置有阀芯，且阀芯的内部穿插有气管，所述气管上安装有节流阀，所述阀芯的底部末端上的进气管上安装有单向阀，且单向阀的内侧的进气管上设置有调压阀。本实用新型专利技术通过设置有一系列的结构解决了传统的干式真空泵结构可控性差，部分需要人工调节，无法实现自动化，另外无法处理真空泵内气体的回流问题，真空泵内部工艺气体的回流后由于吹扫系统内部温度较低，会导致气体或者粉尘发生化学反应凝结到吹扫系统中，导致吹扫系统内部堵塞，从而影响吹扫系统正常工作，甚至导致吹扫系统失效的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种干式真空泵的气体输送结构
本技术涉及真空泵
，具体为一种干式真空泵的气体输送结构。
技术介绍
真空泵多用于化工、半导体和电子产品制造等领域，主要是为了排出制程过程中产生的各种气体。为了使进入真空泵的制程气体尽快排出泵腔，可以将某些惰性气体接入泵腔内部，对泵腔进行吹扫，目前，现有的干式真空泵的气体输送结构在使用时存在，当前真空泵内部吹扫结构都是通过电磁阀开闭调节控制固定的气体输送，把气体输送到真空泵内部吹扫腔室；但这种结构可控性差，部分需要人工调节，无法实现自动化，另外无法处理真空泵内气体的回流问题，真空泵内部工艺气体的回流后由于吹扫系统内部温度较低，会导致气体或者粉尘发生化学反应凝结到吹扫系统中，导致吹扫系统内部堵塞，从而影响吹扫系统正常工作，甚至导致吹扫系统失效，因此有必要对现有技术进行改进，以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题本技术的目的在于提供一种干式真空泵的气体输送结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种干式真空泵的气体输送结构，包括阀体，所述阀体的内部开设有阀腔，且阀体的侧壁中开设有气路通孔，所述阀腔的内部设置有阀芯，且阀芯的内部穿插有气管，所述气管上安装有节流阀，所述阀芯的底部末端上的进气管上安装有单向阀，且单向阀的内侧的进气管上设置有调压阀，所述调压阀的内侧的进气管上安装有流量传感器，所述阀芯最顶端的气管上安装有压力表。优选的，所述气路通孔同一阶层共设置有六个，且气路通孔之间呈圆环状阵列设置。优选的，所述阀体的内壁与阀芯的外壁配合连接。优选的，所述阀芯的内部空腔通过气管与阀体上的气路通孔连通。优选的，所述气管通过节流阀与阀体内的气路通孔连通。优选的，所述阀体与阀芯均呈空心圆柱状结构设置。(三)有益效果与现有技术相比，本技术的有益效果是：该干式真空泵的气体输送结构相对于传统干式真空泵的气体输送结构通过设置调压阀、节流阀，使其可以自动调节氮气吹扫气体输入流量，从而有效地控制气体输入流量，降低输送气体的损耗率，节约真空泵工作消耗，同时可以防止紧急情况下真空泵内气体逆流。同时通过设置单向阀、调压阀、流量传感器，气体入口将被输气装置中的小阀芯分解成多路，依照不同流量输送到多级真空泵泵腔内部，实现对泵腔内部的清理和保护。在分流前端设置流量监测装置和压力调节装置，为了实时监测输送到目标泵体内部的气体流量和调节供气压力。安装在气体输送装置里面的小阀芯在转动机构的控制下可以任意旋转一定的角度，从而可以得到不同需求的节流口与阀体气路连通，调整输送气体的压力和流量。附图说明图1为本技术的阀体立体图；图2为本技术的阀体侧剖图；图3为本技术的阀芯内部结构图；图4为本技术的气体输送电路图。图中附图标记为：1、阀体；2、阀腔；3、气路通孔；4、阀芯；5、气管；6、节流阀；7、单向阀；8、调压阀；9、流量传感器；10、压力表。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种干式真空泵的气体输送结构，包括阀体1，阀体1的内部开设有阀腔2，且阀体1的侧壁中开设有气路通孔3，气路通孔3便于气体的输送，阀腔2的内部设置有阀芯4，且阀芯4的内部穿插有气管5，通过气管5便于对气体进行分阶层输送，气管5上安装有节流阀6，阀芯4的底部末端上的进气管上安装有单向阀7，单向阀7避免气体回流现象发生，且单向阀7的内侧的进气管上设置有调压阀8，调压阀8的内侧的进气管上安装有流量传感器9，阀芯4最顶端的气管5上安装有压力表10，压力表10可对气体压力进行实时监测。进一步，气路通孔3同一阶层共设置有六个，且气路通孔3之间呈圆环状阵列设置。进一步，阀体1的内壁与阀芯4的外壁配合连接。进一步，阀芯4的内部空腔通过气管5与阀体1上的气路通孔3连通。进一步，气管5通过节流阀6与阀体1内的气路通孔3连通。进一步，阀体1与阀芯4均呈空心圆柱状结构设置。工作原理：通过转动机构带动小阀芯4做角度旋转，当转动一定角度后使得阀芯4上的气管5与阀体1中的气路通孔3连通，气体可以通过气管5的位置安装的不同节流阀6将不同流量的气体输送到泵腔内部；如果需要多种不同的控制流量模式，可以使转动机构再次转动小阀芯4使其旋转一定角度，当小阀芯4转动角度后阀芯4上的气管5与阀体1中的气路通孔3连通，气体可以通过气管5的位置安装的不同节流阀6将不同流量的气体输送到泵腔内部，另外也可以转动一定角度使阀芯4和阀体1上的气路通孔3不连通，此状况可以防止泵腔内部气体反流入气体模块中，从而堵塞气体模块。小阀芯4上每一路气体都设置专门的密封系统来保证整个气体输送模块的密封性，气体通过左边的单向阀7控制开关向右流入，经过调压阀8控制整个模块气体总压力，流量传感器9可以读取调压阀8调压后的总流量，然后总流量通过圆形小阀芯4内部不同的节流阀6控制每一路输送进入泵腔内部的气体流量；压力表10测量输送到泵腔最后一级排气端的压力值。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干式真空泵的气体输送结构，包括阀体(1)，其特征在于：所述阀体(1)的内部开设有阀腔(2)，且阀体(1)的侧壁中开设有气路通孔(3)，所述阀腔(2)的内部设置有阀芯(4)，且阀芯(4)的内部穿插有气管(5)，所述气管(5)上安装有节流阀(6)，所述阀芯(4)的底部末端上的进气管上安装有单向阀(7)，且单向阀(7)的内侧的进气管上设置有调压阀(8)，所述调压阀(8)的内侧的进气管上安装有流量传感器(9)，所述阀芯(4)最顶端的气管(5)上安装有压力表(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵的气体输送结构，包括阀体(1)，其特征在于：所述阀体(1)的内部开设有阀腔(2)，且阀体(1)的侧壁中开设有气路通孔(3)，所述阀腔(2)的内部设置有阀芯(4)，且阀芯(4)的内部穿插有气管(5)，所述气管(5)上安装有节流阀(6)，所述阀芯(4)的底部末端上的进气管上安装有单向阀(7)，且单向阀(7)的内侧的进气管上设置有调压阀(8)，所述调压阀(8)的内侧的进气管上安装有流量传感器(9)，所述阀芯(4)最顶端的气管(5)上安装有压力表(10)。


2.根据权利要求1所述的一种干式真空泵的气体输送结构，其特征在于：所述气路通孔(3)同一阶层共设置有六个，且气路通孔(3)之...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷晓宏，曾爱明，
申请(专利权)人：北京通嘉宏瑞科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11