【技术实现步骤摘要】
一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌
本技术属于半导体仓储货架领域,特别涉及一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌。
技术介绍
目前晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。现有技术中,用于包装晶圆的工作桌为普通桌子结构,普通的晶圆包装工作桌适用范围非常局限,仅适用于8寸晶圆的包装使用;晶圆的包装作业模式单一,仅限于使用包装作业;工作桌的空间无法得到最大化利用,无原料仓储、晶圆包装和晶圆封箱明确分开的多个不同区域。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,能够同时适用于8寸和12寸晶圆的包装作业,实现集存储、包装和封箱于一体的多功能操作桌,提高空间的利用率。本技术的目的是这样实现的:一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,包括三个从左到右依次排列设置的原料存储架、包装作业架和封箱平台,所述原料存储架包括若干相互平行的水平支撑板,支撑板呈矩形,各支撑板从上到下依次等间隔排列设置,各 ...
【技术保护点】
1.一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,其特征在于,包括三个从左到右依次排列设置的原料存储架、包装作业架和封箱平台,所述原料存储架包括若干相互平行的水平支撑板,支撑板呈矩形,各支撑板从上到下依次等间隔排列设置,各支撑板的四个边角处均竖直设置有固定立柱一,每层支撑板的四个边角分别与对应立柱的相应部位相固定;所述包装作业架包括两层上下对应设置的水平工作面板,工作面板呈矩形,上层工作面板的后部设置有用于放置电脑的支撑台,两层所述工作面板的左侧与原料存储架右侧的两根固定立柱一相固定,两层所述工作面板的右侧与两根前后对应设置的竖直固定立柱二相固定;所述封箱平台的左侧与两根固定立柱二相 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,其特征在于,包括三个从左到右依次排列设置的原料存储架、包装作业架和封箱平台,所述原料存储架包括若干相互平行的水平支撑板,支撑板呈矩形,各支撑板从上到下依次等间隔排列设置,各支撑板的四个边角处均竖直设置有固定立柱一,每层支撑板的四个边角分别与对应立柱的相应部位相固定;所述包装作业架包括两层上下对应设置的水平工作面板,工作面板呈矩形,上层工作面板的后部设置有用于放置电脑的支撑台,两层所述工作面板的左侧与原料存储架右侧的两根固定立柱一相固定,两层所述工作面板的右侧与两根前后对应设置的竖直固定立柱二相固定;所述封箱平台的左侧与两根固定立柱二相固定,封箱平台的右侧与两根前后对应设置的竖直固定立柱三相固定。
2.根据权利要求1所述的一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,其特征在于,所述固定立柱一的上端位于顶层支撑板的上方,各固定立柱一上端之间水平设置有顶板。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于库房晶圆包装的功能性操作桌,其特征在于,所述支撑板与水平面的倾斜夹角为1.5°~2.5°,支撑板前部在竖直方向位于支撑板后部的上方。
4.根据权利要求1或2所...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾叶翔,刘璐,
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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