测试装置制造方法及图纸

技术编号:2649008 阅读:154 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种测试装置,具有测试模块、主信号供给部,及从信号供给部。测试模块供给至电子元件。主信号供给部依照被给予的时序信号的相位而生成第一时序信号,并将其供给到测试模块。从信号供给部接收自主信号供给部而来的时序信号,生成第二时序信号并供给到测试模块,此第二时序信号用以控制测试模块提供给电子元件的测试图案。从信号供给部具有相位调整电路,其通过延迟自主信号供给部接收的时序信号,使主信号供给部输出第一时序信号的时序,与从信号供给部输出第二时序信号的时序约略相同。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对电子元件进行测试的测试装置。对认可参照文献的指定国,可将下述申请中所记述的内容利用参照加入本申请中,作为本申请记述的一部分。日本专利早期公开的特愿2003-322094,申请日2003年9月12日。
技术介绍
在公知技术中,对半导体电路等电子元件进行测试的测试装置,通过在电子元件上施加一定的图案(pattern)而进行测试。测试装置包括向电子元件施加预先所确定的图案和测试速率等的测试模块、用于控制测试模块向电子元件施加图案等的时序的时序控制模块。测试模块依据应测试的电子元件的管脚数设置有多个,而且多个时序控制模块是用于产生测试开始时序的模块与用于产生图案施加时序的模块等之类的模块。在公知技术中,时序控制模块依据其机能而分别构成。因为还未找到与本专利技术相关的专利文献等,所以省略其说明。
技术实现思路
专利技术要解决的问题如前所述,在公知技术中,因为是将时序控制模块依据其机能而构成,所以需要制造多个种类的时序控制模块,导致制造成本上升。而且,各个时序控制模块的通用性低,使电子元件的测试效率降低。为了解决这种问题,考虑在各个模块设置能够实现全部机能的构成,并可转换成各本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置,其特征是测试电子元件,该测试装置包括:测试模块,把用于测试该电子元件的测试图案供给至该电子元件;主信号供给部,依照被给予的时序信号的相位生成第一时序信号,用以控制该测试模块把该测试图案供给到该电子元件,并将该第 一时序信号供给到该测试模块中预定的一个或多个管脚;以及从信号供给部,从该主信号供给部接收上述被给予的时序信号,并依照自该主信号供给部所接收的上述被给予的时序信号的相位,生成第二时序信号,用以控制该测试模块把该测试图案供给到该电子元件 ,并将该第二时序信号供给到该测试模块的管脚之中与该主信号供给部不同的一个或多个管脚,其中该从信号...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤浩
申请(专利权)人:爱德万测试株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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