微发光二极管转移装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微发光二极管转移装置及制作方法。转移装置的制作方法包括，在第一玻璃基板上形成若干第一光阻块、在第二玻璃基板上形成若干第二光阻块；将所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板并列对准，并使得每个所述第一光阻块均与所述第二光阻块粘合来形成光阻柱；在所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板之间填充弹性材料层，所述填充材料层环绕所述光阻柱；去除所述第二玻璃基板以及所述光阻柱；在所述弹性材料层上覆盖封装板，所述封装板与所述弹性材料层之间形成联通所述若干贯穿孔的腔室，所述腔室具有外接口，去除所述第一玻璃基板，暴露出所述若干贯穿孔。本发明专利技术解决了真空吸嘴难以吸附微元件的问题，实现了微发光二极管的批量转移。

【技术实现步骤摘要】
微发光二极管转移装置及其制作方法
本专利技术涉及微发光二极管
，特别是涉及一种微发光二极管转移装置及其制作方法。
技术介绍
随着显示行业的快速发展，显示技术的不断更新迭代，微发光二极管(MicroLight-emittingDiodes，Micro-LED)显示技术有望成为下一代主流显示技术。Micro-LED显示技术比目前的OLED显示技术拥有更高的亮度、更好的发光效率以及更低的功耗，具有明显的技术优势。然而，在实际开发过程中仍存在很多的问题，其中，Micro-LED的批量转移是降低微发光二极管显示屏体加工成本和提升工艺的关键技术，但是由于Micro-LED芯片的尺寸小，传统的真空吸嘴工艺很难适用于几十到几个微米尺寸的Micro-LED芯片。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种微发光二极管转移装置及制作转移装置的方法，通过使用特殊材质制作具有微米级孔径的真空弹性吸嘴实现微发光二极管的批量转移。为解决上述技术问题，一方面，本专利技术提供一种微发光二极管转移装置的制作方法，包括：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微发光二极管转移装置的制作方法，其特征在于，包括：/n在第一玻璃基板上形成若干第一光阻块、在第二玻璃基板上形成若干第二光阻块；/n将所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板并列，并使得每个所述第一光阻块均与所述第二光阻块粘合来形成光阻柱；/n在所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板之间填充弹性材料层，所述填充材料层环绕所述光阻柱；/n去除所述第二玻璃基板以及所述光阻柱，使得所述弹性材料层中形成若干贯穿孔；/n在所述弹性材料层上覆盖封装板，所述封装板与所述弹性材料层之间形成联通所述若干贯穿孔的腔室，所述腔室具有外接口；/n去除所述第一玻璃基板，暴露出所述若干贯穿孔形成吸嘴。/n

【技术特征摘要】
1.一种微发光二极管转移装置的制作方法，其特征在于，包括：
在第一玻璃基板上形成若干第一光阻块、在第二玻璃基板上形成若干第二光阻块；
将所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板并列，并使得每个所述第一光阻块均与所述第二光阻块粘合来形成光阻柱；
在所述第一玻璃基板和所述第二玻璃基板之间填充弹性材料层，所述填充材料层环绕所述光阻柱；
去除所述第二玻璃基板以及所述光阻柱，使得所述弹性材料层中形成若干贯穿孔；
在所述弹性材料层上覆盖封装板，所述封装板与所述弹性材料层之间形成联通所述若干贯穿孔的腔室，所述腔室具有外接口；
去除所述第一玻璃基板，暴露出所述若干贯穿孔形成吸嘴。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在第一玻璃基板上形成若干第一光阻块、在第二玻璃基板上形成若干第二光阻块的步骤，具体包括：
在第一玻璃基板上形成第一柔性衬底，在所述第一柔性衬底上形成若干第一光阻块；
在第二玻璃基板上形成第二柔性衬底，在所述第二柔性衬底上形成若干第二光阻块；
所述去除所述第二玻璃基板以及所述光阻柱的步骤，具体包括：
去除所述第二玻璃基板、第二柔性衬底以及所述光阻柱；
所述去除所述第一玻璃基板的步骤，具体包括：
去除所述第一玻璃基板以及第一柔性衬底。


3.根据权利要求2所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢汝博，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13