一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，包括阀箱本体和泄漏检测器，所述阀箱本体的下表面贯通连接有防漏管，所述阀箱本体的下表面固定连接有活动装置，所述活动装置包括电机，所述电机的顶部与阀箱本体的下表面固定连接，所述电机的下表面固定连接有壳体，所述电机上输出轴的底部固定连接有转轴，所述转轴的底部贯穿壳体并固定连接有斜面圆柱，所述斜面圆柱的斜面朝下。本实用新型专利技术，通过上述结构之间的配合使用，解决了在实际使用过程中，由于传统泄漏侦测器的检测范围有限，难以对防漏管进行更加完整的泄漏检测，一旦出现泄漏状况，难以及时的检测出泄漏状况，容易造成污染和伤害，给使用带来不便的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置
本技术涉及检测装置
，具体为一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置。
技术介绍
随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失,因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。涉及到多种危险化学品输送和应用，例如甲醇、丙酮等，此类化学品都具有高危害性，易燃易爆。但是现有的有机化学品供应系统的阀箱在处理本体密封，机台拆卸方面都存在着不足，且没有设置防漏措施，容易造成少量泄漏却没有侦测报警，造成污染和伤害，为此人们提出一种如中国专利CN207621454U所公开的一种有机化学品供应系统用阀箱，包括：阀箱本体，阀箱本体通过抛光不锈钢焊接而成；阀箱本体内设有管路区，阀箱本体的底部设置有支撑架和泄漏侦测器。通过上述方式，本技术布局错落有致，美观大方，管路区设置开关门，供安装管路和维修用，比较容易操作。电控区设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，包括阀箱本体(1)和泄漏检测器(3)，所述阀箱本体(1)的下表面贯通连接有防漏管(2)，其特征在于：所述阀箱本体(1)的下表面固定连接有活动装置(4)；/n所述活动装置(4)包括电机(5)，所述电机(5)的顶部与阀箱本体(1)的下表面固定连接，所述电机(5)的下表面固定连接有壳体(6)，所述电机(5)上输出轴的底部固定连接有转轴(7)，所述转轴(7)的底部贯穿壳体(6)并固定连接有斜面圆柱(8)，所述斜面圆柱(8)的斜面朝下，所述斜面圆柱(8)的下表面滑动连接有压杆(9)，所述压杆(9)的底部贯穿壳体(6)的下表面并固定连接有圆盘(10)，所述压杆(9)的...

【技术特征摘要】
1.一种高压气动阀多阀体泄漏检测装置，包括阀箱本体(1)和泄漏检测器(3)，所述阀箱本体(1)的下表面贯通连接有防漏管(2)，其特征在于：所述阀箱本体(1)的下表面固定连接有活动装置(4)；
所述活动装置(4)包括电机(5)，所述电机(5)的顶部与阀箱本体(1)的下表面固定连接，所述电机(5)的下表面固定连接有壳体(6)，所述电机(5)上输出轴的底部固定连接有转轴(7)，所述转轴(7)的底部贯穿壳体(6)并固定连接有斜面圆柱(8)，所述斜面圆柱(8)的斜面朝下，所述斜面圆柱(8)的下表面滑动连接有压杆(9)，所述压杆(9)的底部贯穿壳体(6)的下表面并固定连接有圆盘(10)，所述压杆(9)的表面套有压簧(11)，所述压簧(11)的两端与圆盘(10)和壳体(6)的相对面固定连接，所述圆盘(10)的左侧固定连接有传动轴(12)，所述传动轴(12)的左端固定连接有套管(13)，所述套管(13)套设在防漏管(2)的表面，所述套管(13)的内壁与泄漏检测器(3)的表面固定连接。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：石定明，
申请(专利权)人：河南中磐机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41