【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶金属背管保护套
本技术涉及管口保护
,尤其是一种旋转靶金属背管保护套,应用于旋转靶金属背管的管口保护。
技术介绍
随着信息时代的来临,越来越多的信息涌入了人们的日常生产、生活,大量的信息需要更加多样的展示渠道,也意味着需要更多、更大的显示设备,目前市场上的主流显示方式为液晶、OLED等,而这些显示屏在制造的时候需要使用大量的溅射靶材,而旋转靶以其较高的利用率在工业生产中占据主流,然而旋转靶在移动、运输的时候往往很容易磕碰、刮划到金属背管管口,金属背管材质主要为钛或者不锈钢,其端头除了承担支撑作用外,还起着将管中带压强的冷却水与镀膜机高真空腔体隔绝开的重要作用,一旦稍有划伤,轻则引起真空度降低,重则漏水的严重后果,给生产带来严重损失。为解决这一问题,目前常用的方式是给旋转靶金属背管管口盖上橡胶制成的盖子,这样做可以起到一定的保护作用,能够保证金属背管管口外壁不被磨损磕碰,但实际使用的过程中会对旋转靶的搬动运输等带来很多不便,同时也非常容易脱落。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供一种旋 ...
【技术保护点】
1.一种旋转靶金属背管保护套,包括外层(1)、内层(2)以及连接外层(1)和内层(2)的底层(3),其特征在于:保护套整体结构为一体成型的中空的双层圆环, 外层(1)的内侧设置有用于同旋转靶金属背管(6)管口上的环状沟槽(7)卡接配合的环状凸起(4),外层(1)的外侧设置有六个沿圆周均匀分布的梯形凸起(5);保护套材质为橡胶。/n
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶金属背管保护套,包括外层(1)、内层(2)以及连接外层(1)和内层(2)的底层(3),其特征在于:保护套整体结构为一体成型的中空的双层圆环,外层(1)的内侧设置有用于同旋转靶金属背管(6)管口上的环状沟槽(7)卡接配合的环状凸起(4),外层(1)的外侧设置有六个沿圆周均匀分布的梯形凸起(5);保护套材质为橡胶。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶金属背管保护套,其特征在于:所述外层(1)内侧的环状凸起(4)的数量、间距、形状及尺寸与旋转靶金属背管(6)管口上的环状沟槽(7...
【专利技术属性】
技术研发人员:王建堂,骆树立,李庆丰,骆如河,骆胜华,骆胜磊,骆利军,曹立江,骆胜凯,骆胜喜,
申请(专利权)人:河北恒博新材料科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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