【技术实现步骤摘要】
一种新型碳化硅桨调整机构
本技术涉及机械设计领域，尤其涉及一种新型碳化硅桨调整机构。
技术介绍
在实际运用中由于碳化硅桨的长悬臂特性和加载在碳化硅桨上的负载硅片较重，碳化硅桨会不可避免的产生弯曲变形，变形的幅度由于碳化硅材质本身特性存在差异而不同，在工艺炉内的位置调整不好很容易影响硅片的处理品质，这样就要求碳化硅桨必须有可以调整位置的机构，该调整机构越简单方便、调整的位置精度越高，则该调整机构就越能实现并产生经济效益。现有的技术方案是通过前后两组螺丝顶紧的方式来调整碳化硅桨的上下位置和上下倾角、通过内外两组螺丝顶紧的方式来调整碳化硅桨的水平位置和水平倾角。现有的碳化硅桨的调整机构都是利用螺丝顶拉作用使需要调整的零件相对另一零件产生相互滑动来实现平移或角度的调节，这种滑动调整的机构需要克服的摩擦力往往很大，调整的难度很大，调整精度也不容易控制，往往需要反复进行调整，调节浪费很长的时间，严重影响经济效益。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种新型碳化硅桨调整机构，以快速准确调整硅桨...
【技术保护点】
1.一种新型碳化硅桨调整机构，其特征在于，包括安装座(1)、支撑组件、第一调整机构(2)、第二调整机构、第三调整机构及第四调整机构，所述支撑组件包括垂直设置的第一支撑组件与第二支撑组件，所述第一支撑组件包括设置在安装座(1)上的第一支撑件(6)及设置在第一支撑件(6)上的第二支撑件(7)，所述第一支撑件(6)与第二支撑件(7)平行设置；/n所述第二支撑组件包括与第二支撑件(7)垂直设置的支撑座(8)、设在支撑座(8)上的第三支撑件(9)及设在第三支撑件(9)上的固定座(10)，所述固定座(10)用于固定碳化硅桨(15)，所述支撑座(8)、第三支撑件(9)及固定座(10)均平...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种新型碳化硅桨调整机构，其特征在于，包括安装座(1)、支撑组件、第一调整机构(2)、第二调整机构、第三调整机构及第四调整机构，所述支撑组件包括垂直设置的第一支撑组件与第二支撑组件，所述第一支撑组件包括设置在安装座(1)上的第一支撑件(6)及设置在第一支撑件(6)上的第二支撑件(7)，所述第一支撑件(6)与第二支撑件(7)平行设置；
所述第二支撑组件包括与第二支撑件(7)垂直设置的支撑座(8)、设在支撑座(8)上的第三支撑件(9)及设在第三支撑件(9)上的固定座(10)，所述固定座(10)用于固定碳化硅桨(15)，所述支撑座(8)、第三支撑件(9)及固定座(10)均平行设置；
所述第一调整机构(2)用于驱动所述第三支撑件(9)沿第一方向移动，进而带动所述硅桨移动；所述第二调整机构用于驱动所述固定座(10)相对第三支撑件(9)转动，进而带动所述硅桨转动；所述第三调整机构用于驱动所述第一支撑件(6)沿第二方向移动，进而带动所述硅桨移动；所述第四调整机构用于驱动所述第二支撑件(7)相对第一支撑件(6)转动，进而带动所述硅桨转动；所述第一方向与第二方向垂直。
2.根据权利要求1所述的新型碳化硅桨调整机构，其特征在于，所述第一调整机构(2)包括与第三支撑件(9)连接的第一调节件(21)及设置在第三支撑件(9)与支撑座(8)之间的两个第一交叉导轨(22)，两个第一交叉导轨(22)之间保持间距，所述第一调节件(21)的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第一调节件(21)移动带动所述第三支撑件(9)沿第一方向移动，所述第三支撑件(9)移动带动固定座(10)移动，进而带动所述碳化硅桨移动。
3.根据权利要求2所述的新型碳化硅桨调整机构，其特征在于，所述第一交叉导轨(22)包括与支撑座(8)固定连接的第一导轨、与第三支撑件(9)固定连接的第二导轨及设置在第一导轨和第二导轨之间的轴承，所述第一导轨与第二导轨相配合。
4.根据权利要求1所述的新型碳化硅桨调整机构，其特征在于，所述第二调整机构包括与固定座(10)连接的第二调节件(31)及设置在固定座(10)内的第一转动件(32)，所述第二调节件(31)与第一转动件(32)之间通过第一连接轴连接，所述第二调节件(31)的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第二调节件(31)移动，以带动所述固定座(10)以第一转动件(32)为中心相对第三支撑件(9)转动，进而带动所述碳化硅桨转动。
技术研发人员：吴建芬，任俊江，薇儿妮卡·夏丽叶，张灵，肖益波，
申请(专利权)人：赛姆柯苏州智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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