本实用新型专利技术涉及硫酸提纯技术技术领域，且公开了一种高纯硫酸电子级提纯装置，包括加热炉，所述加热炉的右侧固定连接有与其连通的输入管道，所述加热炉的正面固定连接有输出管道，所述输出管道右侧的一端固定连接有与其连通的第一套管换热器，所述输入管道的正面固定连接有两个与其连通的分流管，右侧所述分流管和输入管道上均固定安装有阀门，两个所述分流管正面的两端分别与第一套管换热器连通，所述第一套管换热器的右侧固定连接有与其连通的收集罩，所述收集罩的内部固定连接有等距离排列的加热板，所述收集罩和第一套管换热器的内部均固定连接有热电偶。该实用新型专利技术，具备能够实时观察和控制硫酸收集时的温度，提高硫酸提纯的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种高纯硫酸电子级提纯装置
本技术涉及硫酸提纯技术
，具体为一种高纯硫酸电子级提纯装置。
技术介绍
高纯硫酸又称电子级硫、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。目前硫酸提纯原料多为工业硫酸，需要将原料中的渣滓除去，比较常见的方式是蒸馏，将工业硫酸加热至硫酸沸点，逐步冷却将硫酸保留下来，水和其他低沸物质被去除，但是目前提纯硫酸的装置在冷却提取硫酸时，温度不可控，不便于知道管中的具体温度，这会降低硫酸提纯的效率，针对上述问题本
人员提供了一种高纯硫酸电子级提纯装置，该技术具备能够实时观察和控制硫酸收集时的温度，提高硫酸提纯的效率。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种高纯硫酸电子级提纯装置，具备实时观察和控制硫酸收集时的温度，提高硫酸提纯的效率等优点，解决了提纯硫酸时不清楚硫酸收集时的具体温度，从而影响提纯效率的问题。(二)技术方案为实现上述实时观察和控制硫酸收集时的温度，提高硫酸提纯的效率的目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯硫酸电子级提纯装置，包括加热炉，所述加热炉的右侧固定连接有与其连通的输入管道，所述加热炉的正面固定连接有输出管道，所述输出管道右侧的一端固定连接有与其连通的第一套管换热器，所述输入管道的正面固定连接有两个与其连通的分流管，右侧所述分流管和输入管道上均固定安装有阀门，两个所述分流管正面的两端分别与第一套管换热器连通，所述第一套管换热器的右侧固定连接有与其连通的收集罩，所述收集罩的内部固定连接有等距离排列的加热板，所述收集罩和第一套管换热器的内部均固定连接有热电偶，所述收集罩和第一套管换热器的顶部均固定连接有隔热板，两个所述隔热板的顶部均固定连接有显示仪，两个所述热电偶分别与两个显示仪电性连接，所述加热板的底部均固定连接有收集筛网，所述收集罩的背面固定安装有散热装置，所述收集罩的底部固定连接有与其连通的硫酸管，所述收集罩的右侧固定连接有与其连通的空气管，所述空气管的右侧固定连接有与其连通的冷却箱，所述硫酸管和空气管右侧的一端均贯穿且延伸至冷却箱的右侧，所述冷却箱的背面固定连接有与其连通的第二套管换热器，所述输入管道右侧的一端与第二套管换热器连通，所述第二套管换热器的右侧固定连接有与其连通的入料管，所述第二套管换热器的背面固定连接有与其连通的冷却水出口。优选的，所述散热装置包含有固定板，所述固定板的正面与收集罩固定连接，所述固定板的右侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆上套设有等距离排列的散热片，所述散热片均与伸缩杆固定连接，所述散热片的正面均与收集罩滑动连接。优选的，所述冷却箱的顶部固定连接有与其连通的冷却水入口管，冷却箱的背面固定连接有与其连通的连接管，所述连接管背面的一端与第二套管换热器连通。优选的，所述冷却箱内部的硫酸管和空气管均呈回字形。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种高纯硫酸电子级提纯装置，具备以下有益效果：1、该高纯硫酸电子级提纯装置，通过关闭输入管道上的阀门，硫酸通过入料管并经过分流管进入加热炉内，加热炉将硫酸原料加热至沸腾，使硫酸原料变成硫酸蒸气和水蒸气、其他渣滓蒸气，这些蒸气经过渣滓处理，剩余硫酸蒸气和水蒸气，通过第一套管换热器时，与硫酸原料换热，降低硫酸蒸气温度，可以通过显示仪查看换热后的具体硫酸温度，可选择关闭分流管上的阀门打开输入管道上的阀门来控制原料硫酸的流路，防止硫酸蒸气与硫酸原料交换热后温度过低，影响硫酸提纯效率，硫酸蒸气和水蒸气经过收集罩，可以通过热电偶传感管内的温度，显示在显示仪上，能够直观的观察硫酸蒸气和水蒸气的温度，能够方便控制温度，提高提纯硫酸的效率，收集罩内的收集筛网能够大面积接触硫酸蒸气能够使硫酸蒸气快速凝结，收集罩外部有散热装置，可以调节收集罩的温度，当温度过低时，通过加热板进行对经过的硫酸蒸气和水蒸气进行加热，防止水蒸气提前液化，能够提高提纯效率，第一套管换热器经过换热，第一套管换热器内部分液化的硫酸和收集罩内液化的硫酸通过硫酸管被送入冷却箱内冷却，水蒸气和少部分硫酸蒸气通过空气管进入冷却箱，冷却箱可以降低水蒸气的温度，使水蒸气凝为液体便于收集，也能够冷却硫酸管内的硫酸，冷却箱内的水流入第二套管换热器可以进行对硫酸原料的预热，节约能源，该高纯硫酸电子级提纯装置，具备实时观察和控制硫酸收集时的温度，提高硫酸提纯的效率。2、该高纯硫酸电子级提纯装置，通过伸缩杆可以控制散热片的散热功能，按压伸缩杆，散热片会随着伸缩杆收拢，散热片堆积在一起，减少散热，拉伸缩杆，散热片张开能够散热，可以调节收集罩内的温度。3、该高纯硫酸电子级提纯装置，通过冷却水经过冷却水入口管进入冷却箱，将箱内的硫酸管和空气管冷却，经过连接管进入第二套管换热器进行原料硫酸预热。4、该高纯硫酸电子级提纯装置，通过回字形的管道可以更大让管道接触冷却水，使硫酸管和空气管内物质快速降温，以便之后收集。附图说明图1为本技术正视结构示意图；图2为本技术俯视结构示意图；图3为本技术收集罩正面剖视结构示意图；图4为本技术集箱右视剖视结构示意图；图5为本技术第一套管换热器结构示意图；图6为本技术冷却箱结构示意图；图7为本技术图2中A处放大结构示意图。图中：1、加热炉；2、输入管道；3、输出管道；4、第一套管换热器；5、分流管；6、阀门；7、收集罩；8、加热板；9、热电偶；10、隔热板；11、显示仪；12、收集筛网；13、散热装置；1301、固定板；1302、伸缩杆；1303、散热片；14、硫酸管；15、空气管；16、冷却箱；17、第二套管换热器；18、入料管；19、冷却水出口；20、冷却水入口管；21、连接管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-7，一种高纯硫酸电子级提纯装置，包括加热炉1，加热炉1的右侧固定连接有与其连通的输入管道2，加热炉1的正面固定连接有输出管道3，输出管道3右侧的一端固定连接有与其连通的第一套管换热器4，输入管道2的正面固定连接有两个与其连通的分流管5，右侧分流管5和输入管道2上均固定安装有阀门6，两个分流管5正面的两端分别与第一套管换热器4连通，第一套管换热器4的右侧固定连接有与其连通的收集罩7，收集罩7的内部固定连接有等距离排列的加热板8，收集罩7和第一套管换热器4的内部均固定连接有热电偶9，收集罩7和第一套管换热器4的顶部均固定连接有隔热板10本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高纯硫酸电子级提纯装置，包括加热炉(1)，其特征在于：所述加热炉(1)的右侧固定连接有与其连通的输入管道(2)，所述加热炉(1)的正面固定连接有输出管道(3)，所述输出管道(3)右侧的一端固定连接有与其连通的第一套管换热器(4)，所述输入管道(2)的正面固定连接有两个与其连通的分流管(5)，右侧所述分流管(5)和输入管道(2)上均固定安装有阀门(6)，两个所述分流管(5)正面的两端分别与第一套管换热器(4)连通，所述第一套管换热器(4)的右侧固定连接有与其连通的收集罩(7)，所述收集罩(7)的内部固定连接有等距离排列的加热板(8)，所述收集罩(7)和第一套管换热器(4)的内部均固定连接有热电偶(9)，所述收集罩(7)和第一套管换热器(4)的顶部均固定连接有隔热板(10)，两个所述隔热板(10)的顶部均固定连接有显示仪(11)，两个所述热电偶(9)分别与两个显示仪(11)电性连接，所述加热板(8)的底部均固定连接有收集筛网(12)，所述收集罩(7)的背面固定安装有散热装置(13)，所述收集罩(7)的底部固定连接有与其连通的硫酸管(14)，所述收集罩(7)的右侧固定连接有与其连通的空气管(15)，所述空气管(15)的右侧固定连接有与其连通的冷却箱(16)，所述硫酸管(14)和空气管(15)右侧的一端均贯穿且延伸至冷却箱(16)的右侧，所述冷却箱(16)的背面固定连接有与其连通的第二套管换热器(17)，所述输入管道(2)右侧的一端与第二套管换热器(17)连通，所述第二套管换热器(17)的右侧固定连接有与其连通的入料管(18)，所述第二套管换热器(17)的背面固定连接有与其连通的冷却水出口(19)。/n...
【技术特征摘要】
1.一种高纯硫酸电子级提纯装置，包括加热炉(1)，其特征在于：所述加热炉(1)的右侧固定连接有与其连通的输入管道(2)，所述加热炉(1)的正面固定连接有输出管道(3)，所述输出管道(3)右侧的一端固定连接有与其连通的第一套管换热器(4)，所述输入管道(2)的正面固定连接有两个与其连通的分流管(5)，右侧所述分流管(5)和输入管道(2)上均固定安装有阀门(6)，两个所述分流管(5)正面的两端分别与第一套管换热器(4)连通，所述第一套管换热器(4)的右侧固定连接有与其连通的收集罩(7)，所述收集罩(7)的内部固定连接有等距离排列的加热板(8)，所述收集罩(7)和第一套管换热器(4)的内部均固定连接有热电偶(9)，所述收集罩(7)和第一套管换热器(4)的顶部均固定连接有隔热板(10)，两个所述隔热板(10)的顶部均固定连接有显示仪(11)，两个所述热电偶(9)分别与两个显示仪(11)电性连接，所述加热板(8)的底部均固定连接有收集筛网(12)，所述收集罩(7)的背面固定安装有散热装置(13)，所述收集罩(7)的底部固定连接有与其连通的硫酸管(14)，所述收集罩(7)的右侧固定连接有与其连通的空气管(15)，所述空气管(15)的右侧固定连接有与其连通的冷却箱(16)，所述硫酸管(14)和空气管(15)右侧的一端均...
【专利技术属性】
技术研发人员：王俊平，叶珂夫，余光升，
申请(专利权)人：江西万顺化工有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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