一种形状记忆合金微丝加工工艺制造技术

本发明专利技术提供一种形状记忆合金微丝加工工艺，将形状记忆合金丝材进行多次冷拉拔，相邻二次冷拉拔之间进行退火处理，即得所需的形状记忆合金微丝。本发明专利技术提供的一种形状记忆合金微丝加工工艺，将表面结构控制和退火、冷拉拔相结合的技术路线，通过等离子气氛下的退火技术，最终获得性能优异的形状记忆合金微丝特别是镍钛形状记忆合金微丝材料，符合智能驱动元件的国际标准，且易于产业化推广，具有重要战略价值。

【技术实现步骤摘要】
一种形状记忆合金微丝加工工艺
本专利技术属于合金材料的
，涉及一种形状记忆合金微丝加工工艺。
技术介绍
形状记忆合金是一种集位移感知和驱动于一体的智能材料，在航天航空、微电子、生物医用及机器人等领域具有广泛的应用。形状记忆合金作为智能驱动元件应用，根据不同的应用场景，可以选择主要形式包括丝材、薄膜或弹簧。其中，主动式驱动器件中多使用形状记忆合金丝材作为执行元件，相对弹簧而言，丝材具有更高的响应频率、能率和使用寿命。因此，形状记忆合金丝材加工工艺对于元件寿命至关重要。随着形状记忆合金驱动元件在微电子领域的推广，市场对形状记忆合金微丝，尤其是直径低于100微米材料需求不断增长。而形状记忆合金微丝的比表面积相对更大，表面质量控制对于微丝元件的品质起到关键作用，目前常规的拉拔制备技术无法满足微丝制备质量控制要求。存在几个问题：1)按照常规工艺，表面氧化现象非常严重，同时使用石墨或乳液润滑剂导致的残留问题不易解决；2)丝材表面机械抛光处理后，润滑效果变差，拉拔过程容易发生断丝现象；3)如果使用化学法抛光，丝材表面会出现大量孔洞。因此，亟需提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形状记忆合金微丝加工工艺，将形状记忆合金丝材进行多次冷拉拔，相邻二次冷拉拔之间进行退火处理，以提供所需的形状记忆合金微丝。/n

【技术特征摘要】
1.一种形状记忆合金微丝加工工艺，将形状记忆合金丝材进行多次冷拉拔，相邻二次冷拉拔之间进行退火处理，以提供所需的形状记忆合金微丝。


2.根据权利要求1所述的一种形状记忆合金微丝加工工艺，其特征在于，所述形状记忆合金丝材选用的形状记忆合金为镍钛基形状记忆合金。


3.根据权利要求1所述的一种形状记忆合金微丝加工工艺，其特征在于，所述冷拉拔的减面率为4～15％。


4.根据权利要求1所述的一种形状记忆合金微丝加工工艺，其特征在于，所述退火处理在等离子气氛下进行，所述等离子气氛条件为：气氛：为甲烷和氩气的混合气体，所述甲烷与氩气的体积比为1：1～7；真空度：10-4～10-1Pa；气压：10～300Pa。


5.根据权利要求4所述的一种形状记忆合金微丝加工工艺，其特征在于，所述等离子气氛形成的电场条件为：电流：0.5～3.0A；电压：50～200V。


6.根据权利要求1所述的一种形状记忆...

【专利技术属性】
技术研发人员：金明江，金学军，
申请(专利权)人：上海交通大学，无锡东创智能材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31