一种对废铝刻蚀液进行回收利用的方法技术

本发明专利技术涉及一种废铝刻蚀液的回收利用方法，先采用减压蒸馏方法分离磷酸与其他组分，得到浓度90%以上的磷酸溶液与硝酸、醋酸混酸溶液。硝酸、醋酸混酸溶液通过精馏的方式分离酸和水时，硝酸、醋酸、水三者易形成共沸体系，水作为轻组分通过精馏后大部分集中于塔顶，硝酸、醋酸则留在塔釜。通过连续进料，塔顶采出轻组分水，塔釜混酸溶液浓度达到70%后连续采出，可以实现连续精馏操作。本发明专利技术所述工艺能够对含有多种酸的废铝刻蚀液进行回收利用，分别得到磷酸溶液和可用于新鲜铝刻蚀液配制的硝酸、醋酸混酸溶液，极大地减少了酸的消耗量和处理废酸产生的固废，为铝刻蚀液的回收利用提供了一种新的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种对废铝刻蚀液进行回收利用的方法
本专利技术涉及一种废酸液的回收利用技术，特别是一种废铝刻蚀液的回收利用的方法。
技术介绍
在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的工艺制造中，刻蚀工艺制造过程中会产生大量的酸性蚀刻废液，这些废液如果处理不当，不但造成资料浪费，也会造成生态环境的污染，严重影响人类的健康。废铝刻蚀液为TFT-LCD行业中湿法刻蚀铝模板后所产生的废液，其主要组分是磷酸、硝酸、醋酸混合液，各成分磷酸的含量为30-75％，硝酸的含量为4.0-28％，醋酸的含量为9-35％，水为10-35％。，及少量的重金属杂质(AL、Mo)等。废铝刻蚀液由于其成分复杂，磷酸、硝酸、醋酸含量不固定，对分离回收工艺稳定性要求较高。硝酸沸点83℃，易与水形成共沸体系沸点122℃，醋酸沸点117.9℃，混酸形成的共沸体系普通蒸馏手段难以有效分离。磷酸沸点261℃，而硝酸受热不稳定，超过120℃后易分解成棕黄色气体NO、NO2，直接排放会对环境造成危害。目前针对废铝刻蚀液的处理方法主要是酸碱中和处理，此方法成本、能耗均非常高，浪费大量资源的同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：/n（1）废铝刻蚀液经减压蒸馏后分离出质量分数为90%以上的磷酸，剩余的为硝酸、醋酸及水的混酸溶液；/n（2）将混酸溶液通过塔间连续进料打入精馏塔中，通过精馏工艺分离出硝酸、醋酸和水，水作为轻组分经过精馏后通过塔顶连续采出，而硝酸、醋酸主要集中在塔釜，当塔釜混酸含量达到70%以上后通过蠕动泵连续采出。/n

【技术特征摘要】
1.一种对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）废铝刻蚀液经减压蒸馏后分离出质量分数为90%以上的磷酸，剩余的为硝酸、醋酸及水的混酸溶液；
（2）将混酸溶液通过塔间连续进料打入精馏塔中，通过精馏工艺分离出硝酸、醋酸和水，水作为轻组分经过精馏后通过塔顶连续采出，而硝酸、醋酸主要集中在塔釜，当塔釜混酸含量达到70%以上后通过蠕动泵连续采出。


2.根据权利要求1所述的对废铝刻蚀液进行回收利用方法，其特征在于，废铝刻蚀液包括磷酸、硝酸、醋酸、水，其中，磷酸的含量为30-75%，硝酸的含量为4.0-28%，醋酸的含量为9-35%，水10-35%。

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【专利技术属性】
技术研发人员：蔡步林，杨着，李少平，郝晓斌，贺兆波，张庭，陈建，项扶伟，毛志鹏，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42