一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房技术方案

本实用新型专利技术涉及洁净生产厂房技术领域，公开了一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房，该具有二次加湿系统的洁净室布置结构包括：至少一组二次加湿系统，每一组二次加湿系统包括：加湿装置，设于洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；相对湿度传感器；与相对湿度传感器和加湿装置连接的湿度控制器，湿度控制器用于接收相对湿度传感器的湿度信号以根据湿度信号控制加湿装置工作。该具有二次加湿系统的洁净室布置结构中，在洁净室内设置有二次加湿系统，有效对室内空气进行二次加湿，增加洁净生产区的环境相对湿度，使产品的生产环境的相对湿度达到最佳值，有利于保证良好的生产工序制造环境，提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房
本技术涉及洁净生产厂房
，特别涉及一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房。
技术介绍
目前电子工业的主流产品显示器件(TFT-LCD)生产厂房阵列曝光区(ArrayPhoto)、彩膜曝光区(CFPhoto)涂胶与烘烤生产工序，以及配向膜(PI区)PI涂布、烘烤、PI重工生产工序在有机溶剂清洗过程产生的有机废气通过废气管道接至屋面沸石转轮机组、蓄热燃烧炉进行集中处理；但仍存在一部分挥发性有机物(VOC)遗留在上述产VOC生产工序的洁净室内，对人体及制造环境均有一定的不良影响；尤其是某些生产工序(如液晶滴注ODF区)对VOC比较敏感，当产VOC生产工序区遗留VOC浓度较高且通过空气流扩散至ODF区时，会严重影响产品良率；目前去除洁净室内VOC的有效措施是在产VOC生产工序的洁净区下技术夹层设置沸石转轮机组对空气中的VOC进行持续吸附再生的去除方法，将浓缩脱附后的VOC排放至屋面有机废气处理主系统。但处理空气通过沸石转轮机组的转轮(Rotor)时，约会发生0.5g/kg减湿，沸石转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：/n加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；/n用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；/n与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：
加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；
用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；
与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。


2.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿系统设置于所述第一独立分区内。


3.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿系统设置有至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿系统。


4.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，
所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙和第二间隔墙，所述第一间隔墙和第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李传琰，李鹏，王江标，张欣赏，阎冬，王威，肖红梅，
申请(专利权)人：中国电子工程设计院有限公司，世源科技工程有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11