【技术实现步骤摘要】
一种红外与可见光的双光显微成像系统及其图像融合方法
本专利技术涉及显微热成像
,特别涉及一种红外与可见光的双光显微成像系统及其图像融合方法。
技术介绍
显微热成像技术不仅能够反映物体的温度分布情况,同时能够对细微结构进行热成像分析,因此在微型器件无损检测、集成电路板故障检测、医学诊断、科学研究领域得到了广泛应用。显微热成像系统属于无接触式测温,所以同时有着测温速度快、不会损坏待测物的优点。但是红外成像技术是利用物体辐射的红外光线进行成像的,所以只能对待测物的轮廓进行成像,无法清晰的反映待测物的细微结构;而可见光成像具有图像细节清晰、轮廓明显、噪声小等优点。目前主要是通过研究红外和可见光双光融合系统和图像融合方法,兼顾红外图像和可见光图像各自的优点以解决以上问题。相关技术人员对双光融合系统和图像融合方法进行了大量研究,但是大多数基于望远模式的系统和融合方法研究。望远模式的红外成像系统景深很大,成像视场较宽,所成图像包含丰富的信息。而显微热成像的景深和成像视场都很小,所成图像包含的信息较少,而图像融合需要根 ...
【技术保护点】
1.一种红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,所述双光显微成像系统包括:分光镜,位于分光镜的透射光路上的红外显微物镜和红外探测器;位于分光镜的反射光路上的且与所述分光镜平行的反射镜以及位于所述反射镜的反射光路上的可见光显微物镜和可见光探测器。/n
【技术特征摘要】
1.一种红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,所述双光显微成像系统包括:分光镜,位于分光镜的透射光路上的红外显微物镜和红外探测器;位于分光镜的反射光路上的且与所述分光镜平行的反射镜以及位于所述反射镜的反射光路上的可见光显微物镜和可见光探测器。
2.根据权利要求1所述的红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,所述双光显微成像系统还包括微扫描器和光学平板;
所述光学平板固定在所述微扫描器上,所述微扫描器用于驱动所述光学平板旋转,所述光学平板设置在所述红外显微物镜和红外探测器之间,且与红外显微物镜的夹角为α;其中,α>0。
3.根据权利要求2所述的红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,所述双光显微成像系统还包括光学平板支架;
所述光学平板通过所述光学平板支架固定在所述微扫描器上。
4.根据权利要求3所述的红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,双光显微成像系统还包括双光共轴结构;
所述双光共轴结构包括主光筒、红外光筒和可见光光筒,所述分光镜设置于主光筒、红外光筒和可见光光筒的连通部位;
所述反射镜、所述可见光显微物镜和所述可见光探测器设置在所述可见光光筒内;
所述红外显微物镜、所述微扫描器、所述光学平板支架、所述光学平板和所述红外探测器设置在所述红外光筒内。
5.根据权利要求4所述的红外与可见光的双光显微成像系统,其特征在于,所述双光显微成像系统还包括系统支架;
所述双光共轴结构可调节的设置在所述系统支架上,所述系统支架固定在载物台上,所述主光筒与载物台上的待测物体正对。
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【专利技术属性】
技术研发人员:高美静,张博智,闫齐崇,
申请(专利权)人:燕山大学,
类型:发明
国别省市:河北;13
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