用于基于事件的测试系统的多重测试结束信号技术方案

一种测试被测半导体器件（ＤＵＴ）的基于事件的测试系统，该基于事件的测试系统可自由地构成多组引脚单元，其中每一组都能独立于其它组而执行测试操作。在每一单元组中，测试的起始和结束时序都通过产生多重测试结束信号来单独确定。该基于事件的测试系统包括：多个分配到ＤＵＴ引脚的引脚单元；用于产生测试结束信号的信号发生器，该信号指示由对应引脚单元执行的当前测试已结束，其中测试结束信号是为每一引脚单元单独产生的，与其它引脚单元无关；及一个系统控制器，它通过与每一引脚单元的事件控制器相联，并将包括事件时序数据在内的测试程序提供给每一引脚单元的事件存储器，以控制该基于事件的测试系统的整体运行。每一引脚单元的测试结束信号根据该系统控制器规定的条件来选择，所选择的测试结束信号被提供给系统控制器和其它引脚单元。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测试半导体器件的基于事件的半导体测试系统，更具体地说，是涉及一种基于事件的测试系统，该系统设有用于产生多重测试结束信号的装置，每一信号表明一对应引脚单元或引脚单元组中的测试结束，该测试系统中两个或更多个引脚单元组相互独立地进行测试操作。在用半导体测试系统(例如IC测试器)对集成电路(IC)和大规模集成电路(LSI)这样的半导体器件进行测试时，要为被测试的半导体IC器件提供测试信号或测试模式，这些信号或模式是由半导体测试系统按照预定的测试时序，在适当引脚产生的。半导体测试系统收到被测IC器件(DUT)响应该测试信号的输出信号。这些输出信号由选通信号以预定时序进行采样，与期望数据进行比较，以确定该DUT的功能是否正常。一般来说，测试信号和选通信号的时序是以半导体测试系统中测试器的速率或测试器周期为基准确定的。此外，测试信号的波形和向量也根据每一测试器周期来确定。这种测试系统有时称为基于周期的测试系统。在基于周期的测试系统中，需要各种不同类型的数据，因此其中的数据处理趋于复杂化。所以，人们认为基于周期的测试系统很难具有“每个引脚(per-pin)”结构，该结构用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于事件的半导体测试系统，用于测试半导体器件，该系统包括： 多个引脚单元，它们被分配到被测半导体器件（ＤＵＴ）的引脚，用于测试该ＤＵＴ，其中各个引脚单元进行相互独立的操作，每一引脚单元包括： 一事件存储器，用于存储事件时序数据，该数据用于产生施加于ＤＵＴ相应引脚的测试信号； 一事件控制器，根据事件存储器提供的事件时序数据产生测试信号，并鉴定ＤＵＴ的响应输出，以控制该引脚单元的整体操作； 用于产生测试结束信号的装置，该测试结束信号指示相应引脚单元已执行的当前测试结束，为各个引脚单元产生的测试结束信号与其它引脚单元无关；及 一系统控制器，与每一引脚单元中的事件控制...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼勒，詹姆斯阿兰特恩奎斯特，罗基特拉尤斯曼，菅森茂，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]