用于基于事件的测试系统的多重测试结束信号技术方案

一种测试被测半导体器件（ＤＵＴ）的基于事件的测试系统，该基于事件的测试系统可自由地构成多组引脚单元，其中每一组都能独立于其它组而执行测试操作。在每一单元组中，测试的起始和结束时序都通过产生多重测试结束信号来单独确定。该基于事件的测试系统包括：多个分配到ＤＵＴ引脚的引脚单元；用于产生测试结束信号的信号发生器，该信号指示由对应引脚单元执行的当前测试已结束，其中测试结束信号是为每一引脚单元单独产生的，与其它引脚单元无关；及一个系统控制器，它通过与每一引脚单元的事件控制器相联，并将包括事件时序数据在内的测试程序提供给每一引脚单元的事件存储器，以控制该基于事件的测试系统的整体运行。每一引脚单元的测试结束信号根据该系统控制器规定的条件来选择，所选择的测试结束信号被提供给系统控制器和其它引脚单元。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测试半导体器件的基于事件的半导体测试系统，更具体地说，是涉及一种基于事件的测试系统，该系统设有用于产生多重测试结束信号的装置，每一信号表明一对应引脚单元或引脚单元组中的测试结束，该测试系统中两个或更多个引脚单元组相互独立地进行测试操作。在用半导体测试系统(例如IC测试器)对集成电路(IC)和大规模集成电路(LSI)这样的半导体器件进行测试时，要为被测试的半导体IC器件提供测试信号或测试模式，这些信号或模式是由半导体测试系统按照预定的测试时序，在适当引脚产生的。半导体测试系统收到被测IC器件(DUT)响应该测试信号的输出信号。这些输出信号由选通信号以预定时序进行采样，与期望数据进行比较，以确定该DUT的功能是否正常。一般来说，测试信号和选通信号的时序是以半导体测试系统中测试器的速率或测试器周期为基准确定的。此外，测试信号的波形和向量也根据每一测试器周期来确定。这种测试系统有时称为基于周期的测试系统。在基于周期的测试系统中，需要各种不同类型的数据，因此其中的数据处理趋于复杂化。所以，人们认为基于周期的测试系统很难具有“每个引脚(per-pin)”结构，该结构用于每一测试器引脚的硬件和软件是相互独立的。附图说明图1所示为这种基于周期的测试系统的一个实例示意图。在图1中，序列控制器12是设置在半导体测试系统内的一种测试器处理器，用于控制该测试系统的运行。根据序列控制器12提供的地址数据，模式存储器14产生以每一测试器周期为基准的模式数据和波形数据。该模式数据和波形数据通过引脚数据选择器16被提供给引脚数据格式器17。根据序列控制器提供12的地址数据，时序存储器13产生时序数据，该数据一般用于表示以每一测试器周期之开始为基准的延迟时间。该时序数据也提供给引脚数据格式器17。引脚数据格式器17通过使用模式存储器14的模式数据和波形数据以及时序存储器13的时序数据，产生测试信号。引脚驱动器/比较器18以特定的振幅和转换速率(slew rate)将测试信号用于被测器件(DUT)19。引脚数据选择器16将对应测试器引脚的模式数据和波形数据有选择地传送给引脚数据格式器17。换句话说，引脚数据格式器17的特点是设有多个与测试器引脚(测试通道)一一对应的数据格式器。同样，引脚驱动器/比较器18的特点也是设有大量与测试器引脚对应的驱动器和比较器。引脚驱动器/比较器18自DUT 19收到由测试信号引发的的响应信号。在驱动器/比较器18中，模拟比较器参照预定的阈值电压，并按选通信号的时序，将响应信号转换为逻辑信号，由逻辑比较器将得到的逻辑信号与期望值数据进行比较。该逻辑比较的结果表示该DUT是合格或有故障。该结果数据存储在与该DUT 19地址对应的故障存储器15。存储在故障存储器15的测试结果被用于测试后的故障分析阶段。在上述基于周期的测试系统中，所有测试器引脚(DUT引脚)都共享用于存储模式数据和时序数据的模式存储器14和时序存储器13中的相同存储区域。也就是说，每一测试器引脚都不能相互独立地进行操作。存储空间的这种共享要求从始至终所执行的测试程序用于所有测试器引脚。因此，基于周期的测试系统自然只需要一个测试结束指示，即一个测试结束(EOT)信号发生装置。用这样一种常规的测试系统来测试目前复杂的半导体器件会产生一个问题，即如果被测器件含有两个或更多不同的功能块，测试时间就会增加。例如，一个单芯片系统(system-on-chip)(SOC)IC器件，其中设有多个用于执行预定所有功能的功能块或芯。一般的SOC器件为功能块(芯或模块)需要多重时钟频率，这些功能块构成该SOC器件。有时，这些时钟频率不共享任何公用谐波，因此往往互不同步。图2所示为SOC器件的一个实例，它是一个典型的多媒体SOC。该SOC 19有好几个功能块或功能芯，包括PLL(锁相环路)22、TV编码器23、存储控制器24、显示控制器25、PCI模块26、RISC 27和活动图片专家组(MPEG)处理机28。在图2中，每个功能芯所表示的时钟频率互不同步。在此实例中，由于每一功能芯都在不同的时钟频率下操作，因此必须分别对每一个功能芯进行测试。然而，在基于周期的测试系统中，由于测试信号和选通信号都是根据同一模式存储器和时序存储器的数据产生的，因此不可能产生互不同步的测试信号。换句话说，常规的基于周期的测试系统不可能同时以并行方式实施不同种类的测试。由于每一功能芯都必须以连续方式一个一个地进行测试，因此总测试时间就是所有功能芯测试时间的总和。图3所示为对图2中SOC 19进行测试过程之一实例。如上所述，以连续方式，从测试开始t0到测试结束te，对每一功能芯逐个进行测试。测试系统对PCI块的测试从t0开始、到t1结束，然后对RISC块的测试从t1开始、到t2结束，依此类推。其结果是当其中一个功能芯被测试时(图3中的实线)，其它所有模块都处于空闲状态(图3中的虚线)。因此，完成测试图2所示的SOC器件需要很长时间。因此，本专利技术的目的是提供一种基于事件的半导体测试系统，它能同时以并行方式执行多个不同的测试。本专利技术的另一目的是提供一种基于事件的半导体测试系统，该系统通过组合用于产生多重测试结束信号的装置，能同时以并行方式执行多个不同的测试。本专利技术又一目的是提供一种基于事件的半导体测试系统，该系统能产生多重信号，每一信号表示引脚单元组中的测试结束，其中各个引脚单元组均实施相互独立的测试操作。本专利技术是一个基于事件的测试系统，通过产生各种不同时序的事件，向被测电子器件(DUT)提供测试信号，并按照选通信号的时序来鉴定该DUT的输出，以测试被测器件(DUT)。该基于事件的测试系统可自由地构成多组测试器引脚或引脚单元，其中每一组均能独立于其它组而执行测试操作。每一组中测试的起始和结束定时都可以通过产生多重测试结束信号而单独产生。在本专利技术中，事件测试系统含有多个被分配到被测半导体器件(DUT)引脚的引脚单元，用于对DUT进行测试，其中每个引脚单元的操作都是相互独立的，每个引脚单元都有一个用于存储事件时序数据的事件存储器，该数据用于产生施加于DUT对应引脚的测试信号；每一引脚单元还包括一个用于控制该引脚单元整体操作的事件控制器，它根据事件存储器的事件时序数据来产生测试信号，并鉴定该DUT的响应输出。该基于事件的测试系统还包括用于产生测试结束信号装置，该信号指示相应引脚单元已执行的当前测试结束，其中测试结束信号是为每一引脚单元单独产生的，它与其它引脚单元无关；该测试系统还包括一个系统控制器，用于控制该基于事件测试系统中的整体运行，它与每一引脚单元中的事件控制器相联，并将包括事件时序数据的测试程序提供给每一引脚单元中的事件存储器。每一引脚单元的测试结束信号是根据系统控制器规定的条件选择的，所选择的测试结束信号被提供给该系统控制器和其它引脚单元。根据本专利技术，该基于事件的半导体测试系统根据存储在事件存储器中的事件数据，能产生具有不同时序的测试信号事件，以对半导体器件进行鉴定。该基于事件的测试系统包含多个引脚单元，其中每一引脚单元都能为该DUT一个特定引脚产生测试信号，该系统还包括一种用于产生测试结束信号的装置，该测试结束信号相对于各个引脚单元而与其它引脚单元无关本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于事件的半导体测试系统，用于测试半导体器件，该系统包括： 多个引脚单元，它们被分配到被测半导体器件（ＤＵＴ）的引脚，用于测试该ＤＵＴ，其中各个引脚单元进行相互独立的操作，每一引脚单元包括： 一事件存储器，用于存储事件时序数据，该数据用于产生施加于ＤＵＴ相应引脚的测试信号； 一事件控制器，根据事件存储器提供的事件时序数据产生测试信号，并鉴定ＤＵＴ的响应输出，以控制该引脚单元的整体操作； 用于产生测试结束信号的装置，该测试结束信号指示相应引脚单元已执行的当前测试结束，为各个引脚单元产生的测试结束信号与其它引脚单元无关；及 一系统控制器，与每一引脚单元中的事件控制器相联，并将包括事件时序数据的测试程序提供给每一引脚单元中的事件存储器，以控制该基于事件的测试系统中的整体运行； 其中，每一引脚单元的测试结束信号是根据系统控制器规定的条件选择的，所选择的测试结束信号被提供给该系统控制器和其它引脚单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼勒，詹姆斯阿兰特恩奎斯特，罗基特拉尤斯曼，菅森茂，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]