电感值测量方法技术

一种电感值测量方法，它是测量在半导体衬底上设置的电感器的电感值的电感值测量方法，其特征在于：　　　　包括：　　　　对其主电极与上述电感器的一端连接的控制晶体管的控制电极以恒定的周期施加电压，使电流脉冲流过上述电感器的步骤；　　　　借助于与上述电感器的另一端连接的第１测量系统，测量在上述电流脉冲的上升和下降期间流过的电流的步骤；以及　　　　借助于经电阻与上述控制晶体管的上述主电极连接的第２测量系统，测量在上述电流脉冲的上升和下降期间流过的电流的步骤，　　　　上述第１测量系统包括：　　　　测量在上述电流脉冲的上升期间流过的电流的第１测量线；以及　　　　测量在上述电流脉冲的下降期间流过的电流的第２测量线，　　　　上述第２测量系统包括：　　　　测量在上述电流脉冲的上升期间流过的电流的第３测量线；以及　　　　测量在上述电流脉冲的下降期间流过的电流的第４测量线，　　　　通过将流过上述电感器的电流分离成在上述电流脉冲的上升期间流过的电流和在下降期间流过的电流进行测量，来测量上述电感器的电感值。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在半导体器件中包含的电感值测量装置和测量方法，特别是涉及不仅能测量电感器的电感，而且还能测量寄生电阻和电感的寄生电容的测量装置和测量方法。现有技术在RF(射频)模拟器件或高速数字器件中使用了电压控制振荡器(VCO)和PLL(锁相环)。在RF模拟器件中，为产生通信用载波使用了VCO和PLL。另外，在高速数字器件中，为得到数据的同步，使用了VCO和PLL。VCO借助于电感器L和可变电容器C的LC振荡来产生波。由于谐振频率与 (LC)成反比，所以借助于可变电容器C可以将振荡频率设定成规定值。另外，为了锁定所设定的频率振荡状态，使用了PLL，但是，PLL是检测输入频率的变动并进行校正的电路，它根据校正信号调整VCO的振荡频率。作为在半导体器件中设置的电感元件之一，使用了螺旋式电感器。螺旋式电感器通过以在平面视图上其形状为螺旋状的方式在半导体衬底上设置金属布线而形成。这里，Q值是表示电感器的效率的指数。Q值被定义为电感器(或电容器)中存储的能量对1个振荡周期的能量损耗的比，这意味着Q值越大，效率越高。于是，对于振荡器，当以振荡波的振幅为纵轴，以时间轴为横轴作图时，Q值越大，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：国清辰也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：