一种基于真空环境下回收粉末装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于真空环境下回收粉末装置，包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐，所述粉末收集罐的气体入口与真空腔体连通，粉末收集罐的气体出口与抽真空装置连通：抽真空装置启动，使真空腔体内形成真空环境，对真空腔体内的芯片进行粉末喷涂，真空腔体内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐内实现收集；本基于真空环境下回收粉末装置的结构简易，能在保持真空环境的同时对粉末尤其是荧光粉等纳米级粉末实现过滤回收；粉末收集罐内设置硫化过滤板，可以实现对纳米级粉末的有效过滤回收；本回收粉末装置无需其他外力，只需要真空泵抽真空时形成的压力差就可以把粉末带到粉末收集罐内，提高工作效率，节省能源。

【技术实现步骤摘要】
一种基于真空环境下回收粉末装置
本专利技术涉及真空机械领域，尤其涉及的是一种基于真空环境下回收粉末装置。
技术介绍
在真空环境下给芯片喷涂纳米级粉末后，基于成本和保证设备正常运行的要求，需要对多余的粉末进行回收，若不及时对粉末进行回收，真空泵在再一次抽真空时，过多的粉末会被吸入泵中，破坏泵的结构。在真空环境下，对多余的纳米粉末进行回收时，一般会在真空泵与真空腔体间接入纳米级粉末回收装置。如专利有CN201320561879.8，该专利利用旋风分离式回收器与脉冲反吹式过滤器，对多余的喷粉能循环回收利用，解决了未被吸附粉料对空气造成的污染问题。但是，该专利的所设计的装置结构复杂，费用成本高，无法很好过滤掉纳米级粉末，在回收粉末的同时不能持续保证真空环境，严重影响设备的工作效率。因此，现有的技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于真空环境下回收粉末装置，旨在解决现有的纳米级粉末回收装置结构复杂，费用成本高，无法很好过滤掉纳米级粉末，在回收粉末的同时不能持续保证真空环境，严重影响设备的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于真空环境下回收粉末装置，其特征在于，包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐（3），所述粉末收集罐（3）的气体入口与真空腔体（1）连通，粉末收集罐（3）的气体出口与抽真空装置连通：抽真空装置启动，使真空腔体（1）内形成真空环境，对真空腔体（1）内的芯片进行粉末喷涂，真空腔体（1）内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐（3）内实现收集。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于真空环境下回收粉末装置，其特征在于，包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐（3），所述粉末收集罐（3）的气体入口与真空腔体（1）连通，粉末收集罐（3）的气体出口与抽真空装置连通：抽真空装置启动，使真空腔体（1）内形成真空环境，对真空腔体（1）内的芯片进行粉末喷涂，真空腔体（1）内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐（3）内实现收集。


2.根据权利要求1所述的基于真空环境下回收粉末装置，其特征在于，在粉末收集罐（3）内设置有可通过气体但粉末不能通过的粉末过滤层（5）。


3.根据权利要求2所述的基于真空环境下回收粉末装置，其特征在于，所述粉末过滤层（5）设置多层，多层粉末过滤层（5）由上到下依次设置在粉末收集罐（3）内。


4.根据权利要求2所述的基于真空环境下回收粉末装置，其特征在于，所述粉末过滤层（5）设置一层。


5.根据权利要求2至4任一所述的基于真空环境下回收粉末装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭远军，何斌，侯少毅，黎天韵，方威，卫红，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：广东;44