【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于具有用于测试集成电路、更特定地说用于遮蔽系统的电接头的探针卡，以及保护那些电接头的方法。
技术介绍
探针卡用于测试通常位于晶圆板上的晶片(如集成电路器件)。这些探针卡可与被称为检测器(有时称为探测器)的器件联合使用，其中该探针卡电子连接至该探测器器件，且该探针卡也依次电子连接至要测试的集成电路。在美国专利第5,640,100号(其以引用的方式并入本文)中说明了这种探测器/检测器的一实例。其它检测器也可结合本专利技术来修改与使用。该探针卡具有用于与集成电路的不连续部分接触的若干电接头，以传导测试电路的电信号。这种接头通常是微型弹簧的形式。例如，在美国专利第6,184,053 B1号、第5,974,662号与第5,917,707号中揭示了这种接头。当使用强度高时，这种电接头有点脆弱，且会由于无意识的直接接触或其它方式而受到破坏或变形。已展示了使用诸如在美国专利第5,695,068号中揭示的包装/运送盖等包装系统来保护的探针卡。
技术实现思路
本专利技术在以上权利要求中阐明，且上述各项不以任何方式限制、界定或另外确定法律保护范围。概括地说，本专利技术是关...
【技术保护点】
一种组合，其中包括：一电子探针卡，其用于测试一晶圆上的一晶片；该探针卡具有适合于与该晶片电啮合的若干接头；以及一可移去盖，其连接至该探针卡且可安放在该探针卡的该等接头上方的第一位置处，该盖可移动至将该等接头外露的第二 位置用以与该晶片啮合；以及其中当该探针卡位于一晶圆测试机中时，该盖可自该第一位置向该第二位置移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：本杰明N埃尔德里奇，卡尔V雷诺兹，
申请(专利权)人：佛姆费克托公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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