【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透明工件堆叠体的选择性激光加工本申请要求2018年3月29日提交的系列号为62/649,753的美国临时申请的优先权权益，本文以该申请的内容为基础并通过引用将其全部结合入本文。背景
本说明书一般涉及用于激光加工透明工件的设备和方法，更具体地，涉及选择性地激光加工包含多个透明工件的工件堆叠体。
技术介绍
材料的激光加工领域涵盖各种应用，这些应用涉及不同类型的材料的切割、钻孔、研磨、焊接、熔化等。在这些工艺中，特别受到关注的是在可以用于生产薄膜晶体管(TFT)的材料(例如玻璃、蓝宝石或熔凝二氧化硅)或电子装置的显示器材料的工艺中切割或分离不同类型的透明基材。从工艺开发和成本方面看，有许多机会来改进玻璃基材的切割和分离。与目前在市场上实施的方法相比，具有更快、更清洁、更便宜、可重复性更高且更可靠的分离玻璃基材的方法是受到极大关注的。因此，需要用于分离玻璃基材的替代性的改进方法。
技术实现思路
根据第1个实施方式，一种加工透明工件的方法包括：在透明工件之中或之上形成光学改性区域；以及在透明...
【技术保护点】
1.一种用于加工透明工件的方法，所述方法包括：/n在透明工件之中或之上形成光学改性区域；以及/n在透明工件中形成轮廓，所述轮廓包括在透明工件中的多个缺陷，其与光学改性区域侧向偏置定位，其中，形成轮廓包括：/n将沿着光束路径取向的包含准无衍射光束的主激光束引导到透明工件上，以使得：/n主激光束的第一散焦部分被引导到透明工件中，从而在透明工件内产生诱导吸收，该诱导吸收在透明工件内产生缺陷，至少部分的缺陷在至少一部分光学改性区域下方延伸；以及/n通过光学改性区域改变主激光束的第二散焦部分；/n其中，准无衍射光束包括：/n波长λ；/n光斑尺寸w
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180329 US 62/649,7531.一种用于加工透明工件的方法，所述方法包括：
在透明工件之中或之上形成光学改性区域；以及
在透明工件中形成轮廓，所述轮廓包括在透明工件中的多个缺陷，其与光学改性区域侧向偏置定位，其中，形成轮廓包括：
将沿着光束路径取向的包含准无衍射光束的主激光束引导到透明工件上，以使得：
主激光束的第一散焦部分被引导到透明工件中，从而在透明工件内产生诱导吸收，该诱导吸收在透明工件内产生缺陷，至少部分的缺陷在至少一部分光学改性区域下方延伸；以及
通过光学改性区域改变主激光束的第二散焦部分；
其中，准无衍射光束包括：
波长λ；
光斑尺寸wo；和
包括瑞利范围ZR的截面，所述瑞利范围ZR大于其中FD是无量纲的发散度因子，其包括10或更大的数值；以及
使透明工件和主激光束沿着轮廓线相对于彼此平移，并且与光学改性区域侧向偏置。
2.如权利要求1所述的方法，其中，光学改性区域包括在透明工件中形成的改性迹线。
3.如权利要求2所述的方法，其中，在透明工件中形成改性迹线包括：
将辅助激光束引导到透明工件上，以使得辅助激光束改变至少一部分的透明工件；以及
使透明工件和辅助激光束沿着改性线相对于彼此平移，从而沿着改性线改变透明工件，形成改性迹线。
4.如权利要求3所述的方法，其中：
辅助激光束和主激光束各自包括脉冲激光束；
主激光束包括第一脉冲能，并且辅助激光束包括第二脉冲能；并且
第一脉冲能大于第二脉冲能。
5.如权利要求4所述的方法，其中：
将辅助激光束引导到透明工件上改变了至少一部分透明工件的折射率；并且
使透明工件和辅助激光束沿着改性线相对于彼此平移在透明工件内产生了折射率改变区域，从而形成改性迹线。
6.如权利要求3所述的方法，其中，将辅助激光束引导到透明工件上烧蚀了来自透明工件的第一表面的材料。
7.如权利要求6所述的方法，其中，使透明工件和辅助激光束沿着改性线相对于彼此平移使得沿着改性线烧蚀了来自透明工件的第一表面的材料，从而形成改性迹线。
8.如权利要求6所述的方法，其中，辅助激光束包括连续波激光束。
9.如权利要求6所述的方法，其中，辅助激光束包括红外激光束。
10.如权利要求6所述的方法，其中，辅助激光束包括脉冲激光束。
11.如权利要求2所述的方法，其中，在透明工件中形成改性迹线包括：
使透明工件的第一表面接触机械表面改性元件；以及
使透明工件和机械表面改性元件沿着改性线相对于彼此平移，从而沿着改性线对透明工件的第一表面进行改性，形成改性迹线。
12.如权利要求11所述的方法，其中，机械表面改性元件包括研磨元件。
13.如权利要求11所述的方法，其中，机械表面改性元件包括刻划轮。
14.如权利要求1所述的方法，其中，光学改性区域包括沉积在透明工件的第一表面上的破坏性材料条。
15.如权利要求14所述的方法，其中，破坏性材料条包括吸收材料。
16.如权利要求14所述的方法，其中，破坏性材料条包括反射材料。
17.如权利要求14所述的方法，其中，破坏性材料条包括散射材料。
18.如权利要求14所述的方法，其中，破坏性材料条包括相位改变材料。
19.如权利要求1-18中任一项所述的方法，其中：
光学改性区域包括第一光学改性区域，并且所述方法还包括：在透明工件之上或之中形成第二光学改性区域；以及
第二光学改性区域与第一光学改性区域侧向偏置定位，使得第一光学改性区域被设置在轮廓线与第二光学改性区域之间。
20.如权利要求1-19中任一项所述的方法，其中：
光学改性区域包括第一光学改性区域，并且所述方法还包括：在透明工件之中形成第二光学改性区域；并且
第二光学改性区域与轮廓线侧向偏置定位，以使得轮廓线被设置在第一光学改性区域与第二光学改性区域之间。
21.如权利要求1-20中任一项所述的方法，其中：
主激光束以接近角α冲击透明工件的第一表面；
光学改性区域从轮廓线以偏置距离D偏置侧向偏置；并且
...
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