建模方法技术

本发明专利技术提供一种建模方法，包括：S1）设计具有源极、漏极、栅极的测试结构，并对测试结构进行测试，得到测试数据；S2）根据所述测试数据提取模型参数；S3）基于源漏电压与漏电流的关系对所述模型参数的物理特性的合理性进行验证，验证合格则建立模型文件并执行步骤S4），验证不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至验证合格；S4）对所述模型文件进行质量保证检查，若检查合格则建模完成，若检查不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至检查合格。本发明专利技术在提取模型参数后进行物理合理性验证，能快速检验模型参数是否错误并及时有效的调整模型参数，比传统建模流程更高效和找准问题所在点，可大大加快项目的进度，节约研发成本。

Modeling method

【技术实现步骤摘要】
建模方法
本专利技术涉及集成电路设计领域，特别是涉及一种建模方法。
技术介绍
闪存存储器(FlashMemory)，近期来受市场环境影响，有更多增量需求，尤其是NORFlash市场前景广阔，特别是应用于智能手机屏幕、可穿戴设备、智能汽车电子以及5G基站等。FlashSPICE模型可以为电路设计人员提供精准的器件级别模型仿真程序，既能真实反映代工厂工艺制造的电性特征，也能提高仿真结果的可靠性和改善互连结构电路设计的效率。现有技术中往往在建模完成后对整个模型进行检查，一旦检查结果有问题，需要返工对模型进行修正，既增加了建模流程，又增加修正难度（耗费大量debug时间），对于经验不足的建模工程师来说难以定位问题发生在何处；另外业界常用的模型检查软件MQA（模型质量检测）的使用费用不便宜，对于需要自行建模的设计公司来说购买MQA软件是一笔不小的开支，而且等到做完所有的检查再做模型调整，时间会比较久，费时费力，直接导致研发周期长、研发成本高。因此，如何提高建模效率已成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种建模方法，其特征在于，所述建模方法至少包括：/nS1）设计具有源极、漏极、栅极的测试结构，并对测试结构进行测试，得到测试数据；/nS2）根据所述测试数据提取模型参数；/nS3）基于源漏电压与漏电流的关系对所述模型参数的物理特性的合理性进行验证，验证合格则建立模型文件并执行步骤S4），验证不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至验证合格；/nS4）对所述模型文件进行质量保证检查，若检查合格则建模完成，若检查不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至检查合格。/n

【技术特征摘要】
1.一种建模方法，其特征在于，所述建模方法至少包括：
S1）设计具有源极、漏极、栅极的测试结构，并对测试结构进行测试，得到测试数据；
S2）根据所述测试数据提取模型参数；
S3）基于源漏电压与漏电流的关系对所述模型参数的物理特性的合理性进行验证，验证合格则建立模型文件并执行步骤S4），验证不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至验证合格；
S4）对所述模型文件进行质量保证检查，若检查合格则建模完成，若检查不合格则返回步骤S2）调整模型参数，直至检查合格。


2.根据权利要求1所述的建模方法，其特征在于：步骤S1）中采用晶圆允收测试对测试结构进行测试。


3.根据权利要求1或2所述的建模方法，其特征在于：步骤S2）中基于SPICE提取所述模型参数。


4.根据权利要求1或2所述的建模方法，其特征在于：步骤S2）中获取模型参数的方法包括：剔除所述测试数据中的异常值，将测试结构的电性随尺寸、温度或偏压特性的变化趋势拟合，以得到模型参数。


5.根据权利要求1所述的建模方法，其特征在于：所述测试结构为闪存。


6.根据权利要求1或5所述的建模方法，其特征在于：在至少两组不同仿真条件下分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂虹，吴克，苏香，
申请(专利权)人：中天弘宇集成电路有限责任公司，
类型：发明
国别省市：上海;31