【技术实现步骤摘要】
双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法
本专利技术涉及一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法。
技术介绍
共焦传感器在各类智能终端如手机面板、IPAD等产品的制造检测领域具有较广泛的应用，传统上使用的共焦传感器是利用单个共焦探头对具有透光性的平板，例如手机玻璃进行厚度测量。但是对于手机外壳以及内部安装所需的不透明的平板器件，由于其不具备透光性，故单个共焦探头就无法工作，具有一定的局限性。所以本专利技术利用两个五轴位移平台分别承载共焦探头组成的双向对射光谱共焦厚度检测系统解决了这一问题，在兼容原有单共焦探头系统测量透明平板基础上，增加了对不透明平板厚度的检测。在这样的系统当中，主要存在两个问题会对测量造成影响：一是共焦探头与被测平板处于倾斜状态即存在平行度误差，二是系统两个共焦探头光轴存在不对齐的情况。两种情况都会在系统对厚度进行测量时造成较大的误差，需要一种精确的校准技术对系统平行度与光轴不齐分别进行校准。根据光谱共焦技术原理：复色光源经过共焦探头，由于探头色散作用分解为单色光，每一个波长的单色光...
【技术保护点】
1.双向对射光谱共焦平板厚度检测系统，其特征在于使用五轴位移平台P1承载共焦探头ConfP1，使用五轴位移平台P2承载共焦探头ConfP2，其中五轴位移平台调整旋钮分别为R轴调整旋钮WMD
【技术特征摘要】
1.双向对射光谱共焦平板厚度检测系统，其特征在于使用五轴位移平台P1承载共焦探头ConfP1，使用五轴位移平台P2承载共焦探头ConfP2，其中五轴位移平台调整旋钮分别为R轴调整旋钮WMDR、θ轴调整旋钮WMDθ、X轴调整旋钮WMDX、Y轴调整旋钮WMDY、Z轴调整旋钮WMDZ，利用该五轴位移平台对系统平行度与光轴进行校准。
2.根据权利要求1所述的双向对射光谱共焦平板厚度检测系统的双共焦探头光轴校准方法，其特征在于包括如下步骤：
步骤1、分别调整系统共焦探头ConfP1、共焦探头ConfP2与被测平板S的平行度；
步骤2、粗调系统共焦探头ConfP1所在光轴O1N1与共焦探头ConfP2所在光轴O2N2对齐，使得光轴O1N1与光轴O2N2平行且相交于被测平板中心点O；
步骤3、系统共焦探头ConfP1所在光轴O1N1与共焦探头ConfP2所在光轴O2N2对齐，使得光轴O1N1与光轴O2N2平行且相交于被测平板中心点O。
3.根据权利要求书2所述的双向对射光谱共焦平板厚度检测系统的双共焦探头光轴校准方法，其特征在于步骤1实现所需的共焦探头与被测平板平行度调整理论模型如下：
当共焦探头与被测平板绝对平行时，此时共焦探头接收到平板表明返回的光谱信号W1(λ)，该信号峰值波长λ1，对应的光强能量为W1(λ1)，此时波长为λ1的单色光经过平板表明聚焦能最大化反射回到共焦探头；
当共焦探头与被测平板出现任意角度θ倾斜，此时共焦探头接收到平板表明返回的光谱信号Wi(λ)，该信号峰值波长λi，波长λ1单色光对应的光强能量为Wi(λ1)，由于λ1单色光未能实现完全共聚焦，故W1(λ1)＞Wi(λ1)，表示的是对应任意的倾斜位置，λ1对应的光强都会小于未倾斜时其对应的光强。通过定量描述λ1单色光在当前位置，不同旋转角度下的光谱信号W...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨甬英，曹频，江佳斌，肖翔，
申请(专利权)人：杭州晶耐科光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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