【技术实现步骤摘要】
一种薄膜的厚度测量系统
本申请实施例涉及测量
，具体涉及一种薄膜的厚度测量系统。
技术介绍
目前，涂胶薄膜、微电子薄膜、光学薄膜、抗氧化薄膜、巨磁电阻薄膜和高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中应用广泛，大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，随着电路集成程度的提高，薄膜厚度的微小变化，就会对集成电路的性能产生直接的影响。因此，工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，甚至直接关系到该薄膜材料能否正常工作。除此之外，薄膜材料的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等都与它的厚度有关系。常用的薄膜测厚方法主要分为光学和非光学两大类。光学使用的方法主要是红外光谱分析测厚法和射线测厚法。其中红外光谱分析法对颜色比较敏感，不适合多种颜色膜的测量。而射线法成本高且对人体有伤害。非光学的方法主要有电容测厚和显微镜测厚法等，但非光学的测厚方法测量误差较大。因此，现有的薄膜厚度的测量技术方案，都有其测量缺点或者仅适用于特殊薄膜。
技术实现思路
鉴于上述问题，本申请实施例提供了一种薄膜的厚度测量系统，克服...
【技术保护点】
1.一种薄膜的厚度测量系统，其特征在于，该测量系统包括：探测光纤、第一光纤探头、第二光纤探头、光电转换器、解调放大器、光源、调制脉冲发生器、相敏检波器、选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块，其中，/n所述探测光纤包括发射光纤、接收光纤和探头光纤，所述发射光纤的一端对着所述光源，所述接收光纤的一端对着所述光电转换器，所述发射光纤的另一端和所述接收光纤的另一端共同与所述探头光纤的一端相通；/n所述探头光纤的另一端分别连接所述第一光纤探头和所述第二光纤探头，所述第一光纤探头对着基材的表面上的薄膜的表面，所述第二光纤探头对着所述基材的所述表面上的...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜的厚度测量系统，其特征在于，该测量系统包括：探测光纤、第一光纤探头、第二光纤探头、光电转换器、解调放大器、光源、调制脉冲发生器、相敏检波器、选通放大器、整流滤波器、积分型抗干扰器、数模转换电路、单片机以及显示模块，其中，
所述探测光纤包括发射光纤、接收光纤和探头光纤，所述发射光纤的一端对着所述光源，所述接收光纤的一端对着所述光电转换器，所述发射光纤的另一端和所述接收光纤的另一端共同与所述探头光纤的一端相通；
所述探头光纤的另一端分别连接所述第一光纤探头和所述第二光纤探头，所述第一光纤探头对着基材的表面上的薄膜的表面，所述第二光纤探头对着所述基材的所述表面上的没有薄膜的区域；
所述相敏检波器具有两个输入端，所述相敏检波器的其中一个输入端依次连接所述调制脉冲发生器和所述光源，所述相敏检波器的另一个输入端依次连接所述解调放大器和所述光电转换器；
所述相敏检波器的输出端依次连接所述选通放大器、所述整流滤波器、所述积分型抗干扰器、所述数模转换电路、所述单片机以及所述显示模块；
所述单片机用于根据所述第一光纤探头发出的光被所述薄膜的表面反射的反射光的强度和所述第二光纤探头发出的光被所述没有薄膜的区域反射的反射光的强度得到所述薄膜的厚度值。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，
所述发射光纤，用于接收所述光源发送的检测光，并将所述检测光传输给所述探头光纤；
所述探头光纤，用于将所述检测光分成第一束子检测光和第二束子检测光并分别传输给所述第一光纤探头和所述第二光纤探头；
所述第一光纤探头用于将所述第一束子检测光发射到所述基材的所述表面上的薄膜表面，并接收该薄膜表面反射的第一反射光，并将所述第一反射光传输给所述接收光纤；
所述第二光纤探头用于将所述第二束子检测光发射到所述基材的所述表面上的没有薄膜的区域的表面，并接收该区域的表面反射的第二反射光，并将所述第二反射光传输给所述接收光纤；
所述接收光纤用于将所述第一反射光和所述第二反射光发送给所述光电转换器。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，
所述调制脉冲发生器，用于产生脉冲信号并向所述光源发送所述脉冲信号以控制所述光源发光以及向所述相敏检波器发送该脉冲信号作为参考信号；
所述光电转换器，具有两个输入端分别用于接收所述第一反射光和所述第二反射光；所述光电转换器用于将接收到的所述第一反射光和所述第二反射光分别转换为第一检测电信号和第二检测电信号，并传输给所述相敏检波器；或者，所述光电转换器为两个，其中一个光电转换器用于接...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨文虎，张海康，黄存友，杨忠学，崔丽，付东洋，
申请(专利权)人：广东海洋大学，广东海洋大学深圳研究院，深圳和光新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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