一种光响应器件的测试装置及系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光响应器件的测试技术领域，具体公开了一种光响应器件的测试装置，其中，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。本实用新型专利技术还公开了一种光响应器件的测试装置及系统。本实用新型专利技术提供的光响应器件的测试装置具有成本低且易于使用的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种光响应器件的测试装置及系统
本技术涉及光响应器件的测试
，尤其涉及一种光响应器件的测试装置及包括该光响应器件的测试装置的光响应器件的测试系统。
技术介绍
通常光响应器件如光伏电池的内部动态特性的测量难以检测，尤其是体相的杂质缺陷、复合中心浓度等特征参量表征困难。目前常用的测试方法是使用化学腐蚀的方法由表面向内部腐蚀，通过腐蚀离子量或质量变化情况来计算缺陷杂质与复合中心浓度的情况，是一种不能持续、重复测试的方法；另一种方式是利用光学测试进行非接触测量，这种方法需要利用飞秒级别的脉冲激光，光强能量大、设备造价昂贵，不适合大规模推广应用。因此，如何提供一种能够成本低、易使用的测量方式成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供了一种光响应器件的测试装置及包括该光响应器件的测试装置的光响应器件的测试系统，解决相关技术中存在的测量方式成本高且不方便使用的问题。作为本技术的第一个方面，提供一种光响应器件的测试装置，其中，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。进一步地，所述测试平台包括信号采集系统、位移平台和夹具，所述夹具与所述信号采集系统连接，所述夹具和所述信号采集系统均设置在所述位移平台上，所述位移平台能够调整所述瞬态光在所述待测试光响应器件上的位置，所述夹具能够实现对所述待测试光响应器件的测试，所述信号采集系统能够采集所述待测试光响应器件的测试信号，并将所述测试信号发送至所述上位机。进一步地，所述测试平台还包括连接线路，所述信号采集系统与所述夹具之间、所述待测试光响应器件与所述夹具之间以及所述待测试光响应器件与所述信号采集系统之间均通过所述连接线路连接。进一步地，所述连接线路包括同轴线缆。进一步地，所述准直光路包括沿光线出射方向依次设置的光阑、第一凸透镜和第二凸透镜。作为本技术的另一个方面，提供一种光响应器件的测试系统，其中，包括：上位机和前文所述的光响应器件的测试装置，所述上位机与所述光响应器件的测试装置中的测试平台通信连接。本技术提供的光响应器件的测试装置，利用光电转换效应的过程实现了光电子的检测，利用单位时间内电荷的变化量计算光响应器件内部的本征载流子浓度，通过改变光响应器件在电路中的瞬态电流计算器件内部的复合速率，本技术简化了测试过程，同时重复多次进行面扫描测量，具有低成本、易使用、响应快、准确等特点。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术提供的光响应器件的测试装置的结构示意图。图2为本技术提供的光响应器件的测试装置的具体实施方式结构示意图。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。为了使本领域技术人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包括，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。在本实施例中提供了一种光响应器件的测试装置，图1是根据本技术实施例提供的光响应器件的测试装置的结构示意图，如图1所示，包括：瞬态光源装置1、准直光路2和测试平台3，所述准直光路2设置在所述瞬态光源装置1和所述测试平台3之间；所述瞬态光源装置1用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；所述准直光路2能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；所述测试平台3能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。本技术实施例提供的光响应器件的测试装置，利用光电转换效应的过程实现了光电子的检测，利用单位时间内电荷的变化量计算光响应器件内部的本征载流子浓度，通过改变光响应器件在电路中的瞬态电流计算器件内部的复合速率，本技术简化了测试过程，同时重复多次进行面扫描测量，具有低成本、易使用、响应快、准确等特点。优选地，所述瞬态光源装置1包括激光器。具体地，如图1和图2所示，所述测试平台3包括信号采集系统6、位移平台8和夹具4，所述夹具4与所述信号采集系统6连接，所述夹具4和所述信号采集系统6均设置在所述位移平台8上，所述位移平台8能够调整所述瞬态光在所述待测试光响应器件上的位置，所述夹具4能够实现对所述待测试光响应器件的测试，所述信号采集系统6能够采集所述待测试光响应器件的测试信号，并将所述测试信号发送至所述上位机。需要说明的是，所述夹具4具体可以采用专利号为ZL201821591722.9的专利文件中描述的一种钙钛矿太阳能电池的效率测试夹具。优选地，所述信号采集系统6具体可以包括示波器。优选地，所述位移平台8包括X-Y-Z位移平台。具体地，如图1和图2所示，所述测试平台3还包括连接线路5，所述信号采集系统与所述夹具之间、所述待测试光响应器件与所述夹具之间以及所述待测试光响应器件与所述信号采集系统之间均通过所述连接线路连接。优选地，所述连接线路包括同轴线缆。优选地，所述准直光路2包括沿光线出射方向依次设置的光阑、第一凸透镜和第二凸透镜。本技术实施例提供的光响应器件的测试装置，瞬态光源装置1能够发出出射脉冲时间在纳秒至微秒量级的脉冲光源；瞬态光源出射后的经过准直光路2将光束准直并使光斑能量均匀化；所述测试平台3与夹具4对出射光路的能量进行校正并将测试样品接入检测回路；连接线路5将光响应样品的受激光电流连接进入信号采集系统6；测试信号由信号采集系统6传递给上位机采集并记录。作为本技术的另本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光响应器件的测试装置，其特征在于，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；/n所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；/n所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；/n所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。/n

【技术特征摘要】
1.一种光响应器件的测试装置，其特征在于，包括：瞬态光源装置、准直光路和测试平台，所述准直光路设置在所述瞬态光源装置和所述测试平台之间；
所述瞬态光源装置用于发出能够激发待测试光响应器件的瞬态光源；
所述准直光路能够将所述瞬态光源装置发出的瞬态光源的光斑能量均匀化；
所述测试平台能够对所述准直光路的出射的瞬态光进行校正，根据校正后的瞬态光对待测试光响应器件进行测试得到测试信号，并将所述测试信号发送至上位机。


2.根据权利要求1所述的光响应器件的测试装置，其特征在于，所述测试平台包括信号采集系统、位移平台和夹具，所述夹具与所述信号采集系统连接，所述夹具和所述信号采集系统均设置在所述位移平台上，所述位移平台能够调整所述瞬态光在所述待测试光响应器件上的位置，所述夹具能够实现对所述待测试光响应器件的测试，所述信号采集系统能够...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘桂林，邵剑波，席曦，周欢萍，陈棋，于海民，王怡淼，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32