平板显示器测试用检测装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的平板显示器测试用检测装置具备基板、配置于基板上的主体、在主体的两侧面突出的多个探针、以及在探针之中的在主体的一侧面突出的探针的下端配置的探针芯片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测装置及其制造方法，特别涉及用于测试平板显示器的检测装置及其制造方法(Inspection apparatus of testing a flat paneldisplay and method of fabricating the same)。
技术介绍
通常，液晶显示器(LCD；Liquid Crystal Display)、等离子显示器(PDP；Plasma Display Panel)、场致发射显示器(FED；Field EmissionDisplay)被称为平板显示器(FPD；Flat Panel Display)。如上述的平板显示器具备用于外加电信号的衬垫电极(pad electrode)，平板显示器测试是利用对如上述的衬垫电极外加电信号而判断不良与否的探针(probe)来完成的。平板显示器测试用的探针有以下几种，即仅由手工作业来制作的针式(needle type)探针；引进新技术而结合手工作业来制作而成的刀片式(blade type)探针和薄膜式(film type)探针；以及利用微机电系统(MEMS；Micro Electro Mechanical System)技术的微机电式(MEMStype)探针等。针式探针是通过以下步骤制作而成的，即将直线的钨丝弯曲的步骤；将其通过粘接剂粘接到加强板上的步骤；为了使与需要检测的衬垫电极接触的接触面、和与信号传送装置接触的接触面的坐标位置相一致而校正物理性位置的步骤；对被校正位置的检测用探针进行清洗的步骤。然而，这样的一连串的过程均是通过手工作业完成的，从而存在制作所需时间较长、合格率降低、工序变得复杂且生产率降低的缺陷。刀片式探针是通过以下步骤制作而成的，即制作用于插入刀片的框架的步骤；制作刀片的步骤；插入刀片的步骤；以及在插入有刀片的框架上覆盖罩的步骤。然而，这样的一连串的过程中的一部分仍需要通过手工作业来完成，而且特别是制造成本高。微机电式探针是通过以下步骤制作而成的，即在牺牲层上制作检测用探针束的步骤；除去牺牲层的步骤；在检测用探针上覆盖保护罩的步骤；校正检测用探针的位置的步骤；除去噪声产生原因的步骤。然而，存在机电特性较劣，且由噪声的产生而引起精确度下降，而且应被隔开的探针互相接触而产生短路的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术课题在于，提供一种对应于日趋微细化的平板显示器的衬垫电极的趋势而能够实现多种探针配置，且能够防止由邻接的探针之间的短路引起的误动作的平板显示器测试用检测装置。本专利技术的另一技术课题在于，提供一种无需通过手工作业来制造如上述的平板显示器测试用检测装置的方法。为达到上述技术课题，根据本专利技术的一实施例的平板显示器测试用检测装置的特征在于，具有基板；在上述基板上配置的主体；在上述主体的两侧面突出的多个探针；在上述探针之中的在上述主体的一侧面突出的探针的下端配置的探针芯片。上述基板可以是硅基板。上述主体可以是由陶瓷材质形成的。粘贴有上述探针芯片的探针优选被绝缘膜涂覆。在本专利技术中，还可以具备突出销，该突出销配置于没有粘贴上述探针芯片的探针的上端。为达到上述技术课题，根据本专利技术的另一实施例的平板显示器测试用检测装置的特征在于，具有第一基板；在上述第一基板上配置的第一主体；在上述第一主体的两侧面突出的多个第一探针；在上述第一探针之中的在上述第一主体的一侧面突出的第一探针的下端配置的第一探针芯片；在上述第一基板的下侧粘贴的第二主体；在上述第二主体的下侧配置的第二基板；在上述第二主体的两侧面突出的多个第二探针；在上述第二探针之中的在上述第二主体的一侧面突出的第二探针的下端配置的第二探针芯片。上述第一探针芯片及第二探针芯片优选被配置成在垂直方向上不重叠地互相错开。为达到上述另一技术课题，根据本专利技术一实施例的平板显示器测试用检测装置的制造方法，包括在基板上，利用第一掩模图案，来形成用于形成探针芯片的沟槽的步骤；在形成有上述沟槽的基板上形成种子层的步骤；在上述种子层上，形成具有露出上述沟槽的开口部的第一镀金框；在由上述第一镀金框限定的开口部内形成探针及探针芯片的步骤；除去上述第一镀金框的步骤；在因上述第一镀金框的除去而露出的种子层及探针的露出面上，形成绝缘膜的步骤；在形成有上述绝缘膜的最终产物之上，形成具有开口部的第二镀金框的步骤，通过该开口部露出涂覆有上述绝缘膜的探针的中央部；在由上述第二镀金框限定的开口部内形成主体的步骤；在上述基板的下侧，形成定位于上述主体上的第二掩模图案的步骤；通过以上述第二掩模图案为蚀刻掩模的蚀刻，来除去上述基板及绝缘膜的两露出部分，而露出上述探针及探针芯片的步骤；除去上述第二掩模图案的步骤。上述第一掩模图案及第二掩模图案可以是通过光刻形成的。上述第一镀金框及上述第二镀金框可以是通过光刻形成的。上述绝缘膜可以是由高分子绝缘物质形成的。上述主体可以是由陶瓷形成的。形成上述探针及探针芯片的步骤可以是通过电镀法进行的。为达到上述又一技术课题，根据本专利技术的另一实施例的平板显示器测试用检测装置的制造方法，其特征在于，包括在基板上，利用第一掩模图案来形成用于形成探针芯片的沟槽的步骤；在形成有上述沟槽的基板上形成种子层的步骤；在上述种子层上形成具有露出上述沟槽的开口部的第一镀金框的步骤；在由上述第一镀金框限定的开口部内形成探针及探针芯片的步骤；在上述第一镀金框及探针上形成第二掩模图案的步骤；利用上述第二掩模图案，在上述探针的一部分表面上形成突出销的步骤；依次除去上述第二掩模图案及第一镀金框的步骤；在因上述第一镀金框的除去而露出的种子层及探针的一部分上，形成覆盖上述突出销的第三掩模图案的步骤；在由上述第三掩模图案而露出的露出面上形成绝缘膜的步骤；在形成有上述绝缘膜的最终产物上，形成第二镀金框的步骤，该第二镀金框露出与上述第三掩模图案一同涂覆有上述绝缘膜的探针的中央部；在由上述第三掩模图案及第二镀金框限定的开口部内，形成主体的步骤；在上述基板的下侧形成排列于上述主体上的第四掩模图案的步骤；通过以上述第四掩模图案为蚀刻掩模的蚀刻，来除去上述基板及绝缘膜的两个露出部分，而露出上述探针及探针芯片的步骤；除去上述第四掩模图案的步骤。上述第一至第四掩模图案可以是通过光刻形成的。上述第一镀金框及第二镀金框可以是通过光刻形成的。为达到上述又一技术课题，根据本专利技术的另一实施例的平板显示器测试用检测装置的制造方法，其特征在于，包括形成第一结构体的步骤，该第一结构体为在第一基板上配置第一主体，在上述第一主体的两侧面突出有多个第一探针，而且在上述第一探针之中的在上述第一主体的一侧面突出的第一探针的下端配置第一探针芯片；形成第二结构体的步骤，该第二结构体为在第二基板上配置第二主体，在上述第二主体的两侧面突出有多个第二探针，而且在上述第二探针之中的在上述第二主体的一侧面突出的第二探针的下端配置第二探针芯片；对上述第一基板的底面和上述第二主体的上面进行粘贴的步骤。上述第一探针及第二探针优选被配置成在垂直方向上不重叠地互相错开。如上所述，根据本专利技术的，可提供如下优点。第一，不是通过以往的手工作业，而是适用半导体制造工序来制造，因此，可以减少制造过程中发生的不合格率，可进行大量生产。第二，由于探针芯片配置于探针的下侧表面，所以可以提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板显示器测试用检测装置，其特征在于，具有：基板；在上述基板上配置的主体；在上述主体的两侧面突出的多个探针；在上述探针之中的在上述主体的一侧面突出的探针的下端配置的探针芯片。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：孙埻赫，
申请(专利权)人：株式会社柯耐姆，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]