光调制器制造技术

提供一种高可靠性的光调制器，其能够实现宽带化、低电压驱动，并减薄粘结层的厚度。光调制器包括：具有电光效应的基板(光波导基板)；形成在该基板上的光波导；及为了调制在该光波导中传播的光波而在该基板上形成的行波型电极(信号电极和接地电极)，其特征在于，该基板的厚度为30μm以下，所述光调制器具备经由粘结层而保持该基板的加强基板，该粘结层具有不存在粘结剂的空隙部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光调制器
本专利技术涉及光调制器，特别是涉及使用了具有电光效应且具有30μm以下的厚度的基板的光调制器。
技术介绍
近年来，光通信系统的高速大容量化正在发展，例如，每一波长具有100GHz以上的通信速度的光通信系统也被实用化。今后，在基干部件中更进一步要求光调制器的宽带化。行波型光调制器通过在光波导中传播的光波与在沿着光波导设置的电极(行波型电极)中传播的微波进行基于电光效应的相互作用，对光波进行调制。特别是通过取得光波与微波的速度匹配而能够实现宽带化。作为实现速度匹配的方法，以往使用了在光波导基板上设置的低介电常数的缓冲层之上形成有电极的结构，但是在该结构中，向光波导施加的电场由于缓冲层的存在而减小，因此产生无法实现驱动电压的低电压化的问题。为了解决该问题，提出了图1那样的使光波导基板薄板化的行波型光调制器(参照专利文献1)。在图1中，形成有光波导的光波导基板通过粘结层而固定于加强基板。作为光波导基板，利用铌酸锂等的具有电光效应的基板。作为加强基板，由具有与光波导基板相同或接近的线膨胀系数的材料、例如铌酸锂或石英玻璃等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光调制器，包括：具有电光效应的基板；形成在该基板上的光波导；及为了调制在该光波导中传播的光波而在该基板上形成的行波型电极，其特征在于，/n该基板的厚度为30μm以下，/n所述光调制器具备经由粘结层而保持该基板的加强基板，/n该粘结层具有不存在粘结剂的空隙部分。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180329 JP 2018-0653631.一种光调制器，包括：具有电光效应的基板；形成在该基板上的光波导；及为了调制在该光波导中传播的光波而在该基板上形成的行波型电极，其特征在于，
该基板的厚度为30μm以下，
所述光调制器具备经由粘结层而保持该基板的加强基板，
该粘结层具有不存在粘结剂的空隙部分。


2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，
该空...

【专利技术属性】
技术研发人员：钉本有纪，细川洋一，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP