以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器制造技术

以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器属于介质阻挡放电等离子体发生器领域，其特征在于，以铝合金弹力弹簧和流体封闭在一起构成的流体型介质阻挡放电电极代替了由不易弯曲的金属放电电极和固体介质阻挡材料组成的固体型介质阻挡放电电极，所述流体是指处理材料表面时所需活性离子的溶液或其喷雾流，以解决等离子体均匀性不足甚至产生丝状放电的问题；经化学腐蚀工艺得到的镂空掩膜层贴附于被处理物体表面，其中的镂空图案与待处理表面位置区域、面积、形状相一致，以解决等离子体束处理不同需求的物体表面时无法调整等离子体束作用参数的问题，从而实现了应用的普适性和特殊性。

【技术实现步骤摘要】
以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器
以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器属于柔性平板介质阻挡放电等离子体发生器领域，尤其涉及用于材料表面改性和处理的柔性平板介质阻挡放电式等离子体发生器领域。技术背景在等离子体材料表面改性与处理领域，被处理材料表面，在宏观上近似于有一定弯曲度(如凸起或下陷)的平板，微观上大部分材料的被处理表面是一个非平整的面，其纵截面为不规则锯齿状。根据被处理材料本身化学组成成分和表面处理工艺的不同，在面对不同种类的表面处理时，放电等离子体强度及其内部活性粒子的组成成份也各不同，如用于表面改性的等离子体与用于表面沉积的等离子体，其活性基团的组成不同。目前广泛采用的介质阻挡放电等离子体发生器技术，其介质阻挡放电高压电极一般由金属放电电极和固体介质阻挡材料组合而成，如把金属放电电极埋在固体介质阻挡材料之中，或在固体介质阻挡放电平板上加装矩阵形式的水电极以用于产生大面积平板沿面放电，所述水电极是把金属针状高压电极直接插入装水的U形管中，见公开号为CN103025040A的中国专利，其共同缺点是：(1)其等离子体发生器本身本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器其特征在于，包括：固定层(1)、流体型介质阻挡放电电极层、可调等离子体腔体(3)以及贴附于被处理物体表面的镂空掩膜(4)，其中：/n所述固定层(1)，是一块可弯曲的弹性绝缘橡胶板，上端面开有纵向流体进水口(11)和流体出水口(12)，下端面开设与水囊相对应的凹槽；/n所述流体型介质阻挡放电电极层，是由外壳(21)和流体介质阻挡放电电极层组成，其中：/n所述外壳(21)，是一个横截面为任意形状的中空环形体，由可弯曲的弹性绝缘材料制成，其上端面与所述固定层(1)的环状下端面粘接，左侧端面沿水平方向开设有高压电源接线孔，右侧面接地；/n所述流体型介质阻挡放...

【技术特征摘要】
1.以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器其特征在于，包括：固定层(1)、流体型介质阻挡放电电极层、可调等离子体腔体(3)以及贴附于被处理物体表面的镂空掩膜(4)，其中：
所述固定层(1)，是一块可弯曲的弹性绝缘橡胶板，上端面开有纵向流体进水口(11)和流体出水口(12)，下端面开设与水囊相对应的凹槽；
所述流体型介质阻挡放电电极层，是由外壳(21)和流体介质阻挡放电电极层组成，其中：
所述外壳(21)，是一个横截面为任意形状的中空环形体，由可弯曲的弹性绝缘材料制成，其上端面与所述固定层(1)的环状下端面粘接，左侧端面沿水平方向开设有高压电源接线孔，右侧面接地；
所述流体型介质阻挡放电电极层，是由金属放电电极、用于浸没所述金属放电电极的流体(23)和密闭水囊(24)共同组成，其中：
所述金属放电电极是一个栅状电极，由连接高压电源接线柱(224)的左金属拉伸杆(221)、连接接地端的右金属拉伸杆(222)以及连接在两拉伸杆之间的至少一个以上等间距排列的铝合金弹力弹簧(223)组合而成，且与被处理物体表面平行安装；
所述流体(23)，是掺入所需活性离子的混合水溶液，简称离子溶液，根据掺入活性离子的种类和浓度调节所述离子溶液的整体电导率；
所述密闭水囊(24)，是由柔性导电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李和平，方川，李静，陈坚，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11