【技术实现步骤摘要】
一种场诱应变微位移致动器及其制备方法与应用
本专利技术属于微位移致动器
，具体涉及一种场诱应变微位移致动器及其制备方法与应用。
技术介绍
随着科学技术的发展，纳米驱动/定位技术已成为前沿科学、工程
的关键技术之一。压电陶瓷微位移致动器由于体积小、不发热、定位精度高等优点，在许多领域得到了广泛应用，如微位移刀架、精密微位移系统、精密定位工作台等。压电陶瓷微位移致动器的工作原理是利用压电陶瓷的逆压电效应。根据第一类压电方程，施加电场时压电陶瓷位移满足下式：S3＝d33E3，其中，S3为应变，d33为压电电荷常数，E为电场强度。压电电荷常数d33越大，S3就越大。为获得大应变，材料应具有尽可能大的d33值。近年，LiF等人(Ultrahighpiezoelectricityinferroelectricceramicsbydesign.NatureMaterials.2018,17(4):349-354)报道了钐掺杂铌镁酸铅-钛酸铅(Sm-PMN-xPT)体系压电陶瓷可获得超高的d33值，在此基础上，专利技术人课题组通...
【技术保护点】
1.一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，由压电陶瓷薄片和不锈钢金属薄片交替堆叠构成，其中，压电陶瓷薄片的化学组成为Pb
【技术特征摘要】
1.一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，由压电陶瓷薄片和不锈钢金属薄片交替堆叠构成，其中，压电陶瓷薄片的化学组成为Pb0.9625Sm0.025[(Mg1/3Nb2/3)1-xTix]O3，0.28≤x≤0.31；压电陶瓷薄片作为位移元件，不锈钢金属薄片作为引出电极，所述压电陶瓷薄片和不锈钢金属薄片通过环氧树脂粘合剂固定。
2.根据权利要求1所述一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，每片不锈钢金属薄片均有引出端作为引出电极，堆叠后的不锈钢金属薄片引出电极的正极对齐一列，负极对齐一列，或正负极对齐同一列；所述环氧树脂粘合剂为热固化单组分或双组份环氧树脂粘合剂。
3.根据权利要求1所述一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，所述场诱应变微位移致动器的结构还包括上下盖板，所述上下盖板为无电极陶瓷片，其材料为钐掺杂铌镁酸铅-钛酸铅陶瓷。
4.根据权利要求1或2或3所述一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，所述压电陶瓷薄片和不锈钢金属薄片均为方形；每片不锈钢金属薄片均具有一个位于薄片一侧的引出端，引出端头呈圆弧状并具有一个同心于圆弧的小孔；所述环氧树脂粘合剂为乐泰的HysolE-214HP、HysolEA9466、HysolEA9340、Hysol9464、A-1177-B、HF8015、9461、327和81120中的至少一种。
5.根据权利要求4所述一种场诱应变微位移致动器，其特征在于，所述压电陶瓷薄片的尺寸为5mm×5mm×1mm；不锈钢金属薄片的尺寸为5mm×5mm×0.05mm，引出端尺寸为宽1mm、长2mm、厚0.05mm，引出端头圆弧半径为0.5mm，同心于圆弧具有一个半径为0.25mm的小孔；
所述不锈钢金属薄片为304不锈钢金属薄片。
6.权利要求1～5任一项所述一种场诱应变微位移致动器的制备方法，其特征在于，...
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