一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由活动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构，利用其逆压电效应驱动，正压电效应检测，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。

【技术实现步骤摘要】
一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置
本技术属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的
，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。
技术介绍
陀螺是用于测量角速率的传感器，是惯性技术的核心器件之一，在现代工业控制、航空航天，国防军事，消费电子等领域发挥着重要作用。对于微机械陀螺而言，正交误差是影响其性能的重要因素。未解耦结构的陀螺，质量块和固定端用一个二维弹性梁联系，单个质量块具有驱动和检测两个自由度，模态之间存在严重耦合；解耦式陀螺可分为单解耦和双解耦，单解耦结构陀螺仅解除了检测模态对驱动模态的耦合，驱动模态会影响检测模态；双级解耦结构陀螺，驱动模态不影响检测模态，检测模态不影响驱动模态，可消除两个模态之间的耦合误差，降低正交误差的影响，可提高角速度信号检测的精度。本技术以减少正交耦合误差为目的，通过合理巧妙的陀螺结构设计来减少正交耦合误差，从本质上降低了耦合误差对微陀螺的性能影响。此外，本技术中微陀螺采用压电驱动，压电检测，压电驱动采用逆压电效应，具有稳定性好，驱动方式简单，且驱动幅值大等诸多优点，隧道磁阻检测是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置包括：支撑框架、驱动质量块、检测质量块、中心质量块、驱动组合梁、检测组合梁；/n所述支撑框架为中间镂空具有运动空间的框架结构，所述支撑框架的内四周侧设置有四个座槽，在两侧对称分布的所述座槽内通过驱动组合梁设置驱动质量块，在另外两侧对称分布的所述座槽内通过所述检测组合梁设置检测质量块；/n所述中心质量块设置在所述支撑框架的中央位置，并四周侧通过检测组合梁分别与驱动质量块、及检测质量块连接；/n所述驱动组合梁、检测组合梁都为梁结构，并在梁上先布置一层底电极层、底电极层pad，并连接固牢，在底电极层上方...

【技术特征摘要】
1.一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置包括：支撑框架、驱动质量块、检测质量块、中心质量块、驱动组合梁、检测组合梁；
所述支撑框架为中间镂空具有运动空间的框架结构，所述支撑框架的内四周侧设置有四个座槽，在两侧对称分布的所述座槽内通过驱动组合梁设置驱动质量块，在另外两侧对称分布的所述座槽内通过所述检测组合梁设置检测质量块；
所述中心质量块设置在所述支撑框架的中央位置，并四周侧通过检测组合梁分别与驱动质量块、及检测质量块连接；
所述驱动组合梁、检测组合梁都为梁结构，并在梁上先布置一层底电极层、底电极层pad，并连接固牢，在底电极层上方设置绝缘层、绝缘层电极，并连接固牢，在绝缘层上方设置引线、压电材料、引线pad，并连接固牢；
所述驱动质量块数量有两个，结构尺寸一致，驱动质量块前、后部设置用于设置驱动组合梁的驱动运动空间，驱动质量块与驱动组合梁厚度一致，驱动组合梁用于连接驱动质量块与支撑框架，在活动梁上沉积有顶电极层、压电材料、绝缘层、底电极层，在支撑框架上沉积有驱动上电极、绝缘层、驱动下电极。


2.根据权利要求1所述的一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，其特征在于，所述检测质量块数量有两个，结构尺寸一致，检测质量块左、右部设置有用于设置检测组合梁的检测运动空间，检测质量块与检测组合梁厚度一致，检测组合梁用于连接检测质量块与支撑框架...

【专利技术属性】
技术研发人员：金丽，武绍宽，李孟委，张瑞，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：山西;14