一种电阻加热化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体为顶面开口式结构，所述炉体的顶面紧密焊接有螺纹环，所述炉体内设有进气管，所述进气管的顶端穿过所述炉体的外壁并延伸至外界；所述炉体的下方设有废气排出机构；该电阻加热化学气相沉积炉通过设有的废气排出机构，即风机在炉体反应结束后，抽走炉体内的废气，废气经连接管和箱体进入至弯管内，并经弯管进入至过滤内，在过滤管内过滤体的过滤作用下，废气中的颗粒物和部分有害物质被活性炭颗粒吸附，该设计便于对反应产生的废气进行净化，避免废气直接排放污染空气。

【技术实现步骤摘要】
一种电阻加热化学气相沉积炉
本技术涉及化学气相沉积设备
，具体为一种电阻加热化学气相沉积炉。
技术介绍
电阻加热化学气相沉积炉是指C/C复合材料化学气相沉积炉，是CVI工艺的专用设备，是在一定的真空或惰性气氛条件下，利用电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体，气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的；现有的电阻加热化学气相沉积炉在使用时，炉体内会产生大量的废气，在反应完毕后，大量废气未经净化直接排放，进而加剧了环境污染，鉴于此，我们提出一种电阻加热化学气相沉积炉。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电阻加热化学气相沉积炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体为顶面开口式结构，所述炉体的顶面紧密焊接有螺纹环，所述炉体内设有进气管，所述进气管的顶端穿过所述炉体的外壁并延伸至外界；所述炉体的下方设有废气排出机构，所述废气排出机构包括与所述炉体的底面通过螺栓固定连接的风机，所述风机的底端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)为顶面开口式结构，所述炉体(1)的顶面紧密焊接有螺纹环(11)，所述炉体(1)内设有进气管(13)，所述进气管(13)的顶端穿过所述炉体(1)的外壁并延伸至外界；所述炉体(1)的下方设有废气排出机构(3)，所述废气排出机构(3)包括与所述炉体(1)的底面通过螺栓固定连接的风机(31)，所述风机(31)的底端通过螺栓固定连接有连接管(32)，所述连接管(32)的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体(33)，所述箱体(33)的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管(35)，所述弯管(35)上设有球阀(36)，所述...

【技术特征摘要】
1.一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)为顶面开口式结构，所述炉体(1)的顶面紧密焊接有螺纹环(11)，所述炉体(1)内设有进气管(13)，所述进气管(13)的顶端穿过所述炉体(1)的外壁并延伸至外界；所述炉体(1)的下方设有废气排出机构(3)，所述废气排出机构(3)包括与所述炉体(1)的底面通过螺栓固定连接的风机(31)，所述风机(31)的底端通过螺栓固定连接有连接管(32)，所述连接管(32)的底端通过螺栓固定连接有呈中空式结构的箱体(33)，所述箱体(33)的圆周外壁上紧密焊接有多个呈环形等间距分布的弯管(35)，所述弯管(35)上设有球阀(36)，所述弯管(35)远离所述箱体(33)的一端通过法兰固定连接有过滤管(37)，所述过滤管(37)为中空式结构，所述过滤管(37)内嵌设有两个相互平行的挡网(371)，两个所述挡网(371)之间设有过滤体(372)，所述过滤管(37)的顶端同轴紧密焊接有排气管(373)，所述炉体(1)、所述风机(31)、所述连接管(32)、所述箱体(33)、所述弯管(35)、所述过滤管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫根程，王毅楠，陈捷，范丽君，
申请(专利权)人：烟台鲁航炭材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37