无机材料膜层、薄膜封装层、显示基板及其制造方法技术

本公开提供一种无机材料膜层、薄膜封装层、显示基板及其制造方法，该无机材料膜层包括：第一膜层，包括第一表面；及第二膜层，形成于所述第一膜层的所述第一表面之上，所述第二膜层包括位于远离所述第一膜层的一侧的第二表面，所述第二表面的表面张力大于所述第一表面的表面张力；所述第一表面包括中心区域和周边区域，所述第二膜层在所述第一表面上的正投影小于所述第一表面的面积，且所述第二膜层覆盖所述中心区域，而所述周边区域未被所述第二膜层覆盖，以形成周边暴露区域。本公开提供的无机材料膜层既可以使得有机材料膜层喷墨打印时充分流平，又不会出现溢流现象，保证膜层厚度不会过厚，又可减小应力失效风险。

【技术实现步骤摘要】
无机材料膜层、薄膜封装层、显示基板及其制造方法
本公开涉及显示
，尤其涉及一种无机材料膜层、薄膜封装层、显示基板及其制造方法。
技术介绍
在相关技术中，在OLED(OrganicElectroluminesenceDisplay，有机发光二极管)显示器件中，为了防止发光材料不被水汽侵入，同时拥有更长时间的工作寿命，在OLED器件的基板上形成发光元件之后，会制备薄膜封装层来保护发光材料。通常，薄膜封装层结构采用三层密封，分别是第一无机材料膜层、有机材料膜层和第二无机材料膜层，第一无机材料膜层自身膜层结构可分为两种：Baseline结构(基底结构)和Interfical结构(多界面结构)。这两种结构的区别在于，Interfical结构是由底层的一定膜厚的SiON(氮氧化硅)和顶层的一定膜厚的SiOx(氧化硅)组成；Baseline结构较为简单，单纯是由SiON组成。Interfical结构中SiOx在最顶层，有机材料膜层采用喷墨打印工艺形成，在喷墨打印时在SiOx上流平效果极佳，所以通常无A-Hole(打孔屏)项目的显示器件中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无机材料膜层，其特征在于，包括：/n第一膜层，包括第一表面；/n及第二膜层，形成于所述第一膜层的所述第一表面之上，所述第二膜层包括位于远离所述第一膜层的一侧的第二表面，所述第二表面的表面张力大于所述第一表面的表面张力；/n其中，所述第一表面包括中心区域和周边区域，所述第二膜层在所述第一表面上的正投影小于所述第一表面的面积，且所述第二膜层覆盖所述中心区域，而所述周边区域未被所述第二膜层覆盖，以形成周边暴露区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种无机材料膜层，其特征在于，包括：
第一膜层，包括第一表面；
及第二膜层，形成于所述第一膜层的所述第一表面之上，所述第二膜层包括位于远离所述第一膜层的一侧的第二表面，所述第二表面的表面张力大于所述第一表面的表面张力；
其中，所述第一表面包括中心区域和周边区域，所述第二膜层在所述第一表面上的正投影小于所述第一表面的面积，且所述第二膜层覆盖所述中心区域，而所述周边区域未被所述第二膜层覆盖，以形成周边暴露区域。


2.根据权利要求1所述的无机材料膜层，其特征在于，
所述第一膜层的材料选用氮氧化硅；
所述第二膜层的材料选用氧化硅。


3.根据权利要求1所述的无机材料膜层，其特征在于，
所述第二膜层在所述第一表面上的正投影面积与所述第一表面的面积之比为4:5～3:4。


4.根据权利要求1所述的无机材料膜层，其特征在于，
所述第二膜层的四周边缘包括四个第一边缘；
所述第二表面的四周边缘包括四个第二边缘，
每一所述第一边缘对应一个所述第二边缘，且任一所述第一边缘与相应的所述第二边缘之间形成的所述周边暴露区域在垂直于该第一边缘的方向上的宽度均相同。


5.根据权利要求1所述的无机材料膜层，其特征在于，
所述第一膜层与所述第二膜层的膜厚比为：9：1～7：1；
所述第一膜层的膜厚为0.9±0.1μm，所述第二膜层的膜厚为0.1±0.05μm。


6.一种薄膜封装层，用于封装显示器件，所述显示器件包括衬底基板及形成于所述衬底基板之上的发光元件；其特征在于，所述薄膜封装层包括：
第一无机材料膜层，所述第一无机材料膜层采用如权利要求1至5任一项所述的无机材料膜层，所述第一膜层封装所述发光元件，所述第二膜层位于所述第一膜层的远离所述显示器件...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈耀宏，戴明，吴永凯，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11