【技术实现步骤摘要】
一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置
本专利技术提供了一种多靶位的激光剥蚀池，尤其提供了一种能够克服激光微区原位测试中空间位置效应的剥蚀池，属于激光剥蚀离子体光/质谱分析领域。
技术介绍
激光剥蚀电感耦合等离子体光/质谱技术是最为成功和有效的直接对固体样品进行元素或同位素分析的技术之一。进行激光剥蚀电感耦合等离子体光/质谱分析时，样品通常置于剥蚀池内，激光剥蚀样品表面产生分析物气溶胶，载气将其送入等离子体光/质谱仪进行检测。近年来激光剥蚀系统与质谱联用技术在地质、环境、生物、材料、珠宝等领域具有广泛的应用，尤其是地质方面，LA-ICP-MS在锆石、独居石等副矿物定年及微量元素及同位素分析等基础研究有着极大的需求。剥蚀池作为激光剥蚀系统(LA)不可缺少的一部分，对整个系统的分析能力有着很大的影响，剥蚀池的尺寸、腔体的几何形状、内部空间结构等直接影响元素分析的信号稳定性。传统的剥蚀池在激光剥蚀过程中会产生严重的记忆效应、元素分馏等问题，最终影响气溶胶的传输和分析结果的准确性。常规剥蚀池内部为一个...
【技术保护点】
1.一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置，至少包括样品台、激光头以及剥蚀池，激光头安装于激光发生器上，其特征在于：所述剥蚀池通过连接杆固定于激光头的正下方，所述剥蚀池为中空的结构，剥蚀池的顶部和底部均呈敞开式，其中顶部开口处密封安装有供激光穿过的透明窗，其内部腔室由隔环分为内外两层，内层为剥蚀腔，外层为真空腔，其中剥蚀腔的两侧分别设置有进气管和出气管，进气管和出气管均穿过真空腔通向外界，真空腔的侧壁上设置有抽真空口，抽真空口与真空发生器相连接；剥蚀池的底部整体平整，且剥蚀池中池壁的底面和隔环的底面上均设置有环形密封圈；/n所述样品台安装于三轴位移平台上，样...
【技术特征摘要】
1.一种克服激光微区原位测试中空间位置效应的多靶位剥蚀装置，至少包括样品台、激光头以及剥蚀池，激光头安装于激光发生器上，其特征在于：所述剥蚀池通过连接杆固定于激光头的正下方，所述剥蚀池为中空的结构，剥蚀池的顶部和底部均呈敞开式，其中顶部开口处密封安装有供激光穿过的透明窗，其内部腔室由隔环分为内外两层，内层为剥蚀腔，外层为真空腔，其中剥蚀腔的两侧分别设置有进气管和出气管，进气管和出气管均穿过真空腔通向外界，真空腔的侧壁上设置有抽真空口，抽真空口与真空发生器相连接；剥蚀池的底部整体平整，且剥蚀池中池壁的底面和隔环的底面上均设置有环形密封圈；
所述样品台安装于三轴位移平台上，样品台为双层板式结构，其中上层板和下层板之间通过滑轨和滑块连接且上层板和下层板之间可相对平移，所述下层板通过螺栓固定于三轴位移平台上，下层板上设置有用于将滑轨和滑块进行锁死的锁紧装置；上层板的顶面为平整光滑的平面，且上层板的顶面上分布有一个以上的分别用于放置不同规格靶样的凹槽，凹槽的内壁上设置有环形密封圈。
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【专利技术属性】
技术研发人员：高伟，黄运泽，刘峥，孔嘉康，史光宇，
申请(专利权)人：武汉上谱分析科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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