【技术实现步骤摘要】
传感器设备和检测气体中的成分的方法本申请是申请日为2016年6月27日，申请号为201680037187.X，专利技术名称为“传感器设备和检测气体中的成分的方法”的申请的分案申请。
本专利技术涉及包括用于引导电磁波的波导的传感器设备，并且涉及检测诸如气体的流体中的成分的方法。背景使用在可见或红外(IR)波长范围内的各种气体的吸收带的光学感测是已建立的方法。可以用反射镜在空腔中测量吸收，以便实现比空腔的物理尺寸更长的有效相互作用长度。这种方法受到反射镜中的光损耗的限制。对于IR，源常常是宽带白炽灯。为了获得光谱分辨率，于是需要光谱分析。检测器可以是基于热或半导体的光子检测器。为了制造具有长光路长度的敏感设备，必须使用高质量的反射镜，或者物理路径且因此设备尺寸必须长。对于许多应用来说，低气体流量和气室的大体积限制了传感器的响应速度。US2014/0264030A1描述了用于中红外感测的方法和装置。WO2008/125797A1描述了使用在波导和凹槽之间的倏逝波耦合的波导设备。专利技术概...
【技术保护点】
1.一种传感器设备，包括：/n限定基底平面(4)的基底(3)和用于引导电磁波的波导(2)，/n所述波导(2)在平行于所述基底平面(4)的波导平面(4’)中在长度方向上延伸，/n所述波导(2)具有在垂直于所述长度方向的方向上的在所述波导平面(4’)中的宽度(W，w)和在垂直于所述长度方向的方向上的从所述波导平面(4’)出来的高度(h)，/n其中，所述传感器设备包括在所述基底(3)上支撑所述波导(2)的支撑结构(5)，/n其中，所述波导(2)的高度(h)小于所述电磁波的波长，/n其中，所述波导(2)沿着其长度方向上的至少第一部分由所述支撑结构(5)支撑在所述基底(3)上，所述波...
【技术特征摘要】
20150629 SE 1550898-91.一种传感器设备，包括：
限定基底平面(4)的基底(3)和用于引导电磁波的波导(2)，
所述波导(2)在平行于所述基底平面(4)的波导平面(4’)中在长度方向上延伸，
所述波导(2)具有在垂直于所述长度方向的方向上的在所述波导平面(4’)中的宽度(W，w)和在垂直于所述长度方向的方向上的从所述波导平面(4’)出来的高度(h)，
其中，所述传感器设备包括在所述基底(3)上支撑所述波导(2)的支撑结构(5)，
其中，所述波导(2)的高度(h)小于所述电磁波的波长，
其中，所述波导(2)沿着其长度方向上的至少第一部分由所述支撑结构(5)支撑在所述基底(3)上，所述波导(2)沿着其长度方向上的至少第二部分自由悬挂，以及
其中，所述波导(2)由第一组分的材料制成，并且所述支撑结构(5)由第二组分的材料制成。
2.根据权利要求1所述的传感器设备，其中，所述波导(2)的宽度(W，w)的至少一部分与高度(h)的比大于5。
3.根据权利要求1或2所述的传感器设备，其中，所述支撑结构的至少一部分在所述波导(2)的支撑点处具有比所述波导(2)的宽度(W，w)小的宽度(Ws)。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的传感器设备，其中，所述波导(2)的至少一部分的宽度(W，w)沿着所述波导(2)的所述长度方向变化。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的传感器设备，其中，所述支撑结构(5)的宽度(Ws)沿着所述波导(2)的所述长度方向的至少一部分相应于所述波导(2)的宽度而变化。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的传感器设备，其中，所述波导(2)的至少一部分的横截面形状为矩形。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的传感器设备，其中，所述支撑结构(5)的一部分沿着所述波导(2)的所述长度方向上的至少所述第二部分存在，以此方式使得所述波导(2)自由悬挂。
8.根据权利要求6或7所述的传感器设备，其中，所述基底(3)由所述第一组分的材料制成。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的传感器设备，其中，所述支撑结构(5)包括多个支撑柱(21)，使得所述波导(2)沿着所述长度方向上的多个部分自由悬挂，并且从一个支撑柱(21)的中心到相邻的支撑柱(21)的中心的距离沿着所述长度方向而变化。
10.根据权利要求9所述的传感器设备，其中，所述支撑结构(5)的一部分存在于所述多个支撑柱(21)的相邻支撑柱(21)之间，以便使所述波...
【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯廷·B·哥理法森，汉斯·索尔斯特罗姆，弗洛里亚·奥托尼奥·布莱亚诺，戈兰·斯泰默，
申请(专利权)人：森尔公司，
类型：发明
国别省市：瑞典;SE
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。