飞行探测器用探头以及飞行探测器制造技术

本实用新型专利技术提供一种飞行探测器用探头以及飞行探测器。本实用新型专利技术涉及的飞行探测器用探头，具备：探头主体部；多个高频探针，用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及A/D变换部，其将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与接地导体接触的接地端子、以及能够与信号导体接触的信号端子，多个高频探针被保持成能够进行切换，多个高频探针与A/D变换部安装于探头主体部，以便在切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。由此，能够以更高精度且更高速地测定被测定物的高频特性。

【技术实现步骤摘要】
飞行探测器用探头以及飞行探测器
本技术涉及对印刷布线基板等被测定物的电学特性进行测定的飞行探测器，特别地，涉及飞行探测器所具备的探头的构造。
技术介绍
以往，作为这种飞行探测器，例如已知专利文献1中记载的装置。专利文献1中记载了以下装置，其被构成为在利用A/D变换部将测定信号变换成数字信号之后，经由电缆将该数字信号传输给测定器主体。根据该装置，由于设为在电缆中传输数字信号，因而，即使在电缆发生了变形的情况下，也能够抑制信号的干扰等并抑制信号波形的劣化。在先技术文献专利文献专利文献1：日本实开平4-90967号公报为了进一步高精度地测定被测定物的高频特性，使用具备能够与被测定物的信号导体接触的信号端子以及能够与被测定物的接地导体接触的接地端子的高频探针是有效的。然而，被测定物的信号导体与接地导体的配置(例如，间隔)是各种各样的。因此，需要选择具备适合于被测定物的信号导体与接地导体的配置的端子配置的高频探针来使用。即，在以往的飞行探测器中，每当被测定物的信号导体与接地导体的配置不同时，都需要对探针进行更换。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种飞行探测器用探头，其特征在于，具备：/n探头主体部；/n多个高频探针，用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及/nA/D变换部，将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，/n所述多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与所述接地导体接触的接地端子、以及能够与所述信号导体接触的信号端子，/n所述多个高频探针被保持成能够进行切换，/n所述多个高频探针与所述A/D变换部安装于所述探头主体部，以便在所述切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。/n

【技术特征摘要】
20181227 JP 2018-2445051.一种飞行探测器用探头，其特征在于，具备：
探头主体部；
多个高频探针，用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及
A/D变换部，将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，
所述多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与所述接地导体接触的接地端子、以及能够与所述信号导体接触的信号端子，
所述多个高频探针被保持成能够进行切换，
所述多个高频探针与所述A/D变换部安装于所述探头主体部，以便在所述切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。


2.根据权利要求1所述的飞行探测器用探头，其特征在于，
所述A/D变换部经由开关而选择性地连接到所述多个高频探针的任一个。


3.根据权利要求1所述的飞行探测器用探头，其特征在于，
所述A/D变换部设置于所述多个高频探针的每一个。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的飞行探测器用探头，其特征在于，
所述飞行探测器用探头还具备：
驱动部，使所述探头主体部移动以便变更与所述被测定物接触的高频探针。


5.根据权利要求4所述的飞行探测器用探头，其特征在于，
所述探头主体部对所述多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本文太，浅香笃，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP