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迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置制造方法及图纸

技术编号:26245234 阅读:35 留言:0更新日期:2020-11-06 17:23
本实用新型专利技术属于物理参数测量装置,具体为一种迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置。本装置包括:单色平行光源、半反半透镜、两块平面反射镜、图像采集模块、图像处理模块;单色平行光源发射单色平行光;半反半透镜将一束单色平行光分成两束光强相等且成90°的单色平行光;两块平面反射镜用于反射单色平行光,两块平面反射镜与半反半透镜间的距离相等;半反半透镜与一块平面反射镜间设为检测区间;图像采集模块拍摄记录两束单色平行光叠加所形成的干涉条纹;图像处理模块对干涉条纹进行处理,并绘制出密度不均匀气体的等密度线。本实用新型专利技术利用了光学原理,能够在不干涉气体密度分布的前提下进行无损检测。

【技术实现步骤摘要】
迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置
本技术属于物理测量
,具体涉及一种迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置。
技术介绍
作为一种传统的分振幅法的干涉仪,迈克尔逊干涉仪利用光的干涉原理,可用来测量微小位移、光的波长、透明介质或者气体的折射率、薄膜的厚度等。在均匀介质中,使迈克尔逊干涉仪两侧光路的反射镜略微偏离相互垂直的方向,能够形成等厚干涉条纹。若一侧光路中的介质密度不均匀,则会使光程差产生空间上的不均匀分布,从而导致等厚干涉条纹发生扭曲,该现象可用于无损探测气体的密度分布。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置。本技术提供的迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置,包括:单色平行光源、半反半透镜、两块平面反射镜、图像采集模块、图像处理模块;其中:所述单色平行光源,用于发射单色平行光;所述半反半透镜,用于将光源发射的一束单色平行光分成两束光强相等且成90°的单色平行光;所述两块平面反射镜,分设在半反半透镜分成两束光单色平行光的光路上,分别用于反射两束单色本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置,其特征在于,包括:单色平行光源、半反半透镜、两块平面反射镜、图像采集模块、图像处理模块;其中:/n所述单色平行光源,用于发射单色平行光;/n所述半反半透镜,用于将光源发射的一束单色平行光分成两束光强相等且成90°的单色平行光;/n所述两块平面反射镜,分设在半反半透镜分成两束单色平行光的光路上,分别用于反射两束单色平行光,两块平面反射镜与半反半透镜间的距离相等;其中一块平面反射镜与半反半透镜之间设置为检测区间;两块平面反射镜反射回来的两束光,经过半反半透镜透射及反射,进入图像采集模块;/n所述图像采集模块,用于拍摄记录两束单色平行光叠加所形成的干涉条...

【技术特征摘要】
1.一种迈克尔逊干涉仪测量气体密度分布的装置,其特征在于,包括:单色平行光源、半反半透镜、两块平面反射镜、图像采集模块、图像处理模块;其中:
所述单色平行光源,用于发射单色平行光;
所述半反半透镜,用于将光源发射的一束单色平行光分成两束光强相等且成90°的单色平行光;
所述两块平面反射镜,分设在半反半透镜分成两束单色平行光的光路上,分别用于反射两束单色平行光...

【专利技术属性】
技术研发人员:丛晓燕刘海涛韩岳
申请(专利权)人:丛晓燕
类型:新型
国别省市:山东;37

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