【技术实现步骤摘要】
抛光盘固定装置
本技术涉及硅片抛光
，特别涉及一种抛光盘固定装置。
技术介绍
在半导体抛光加工工艺中，其方法通常是：在抛光盘上粘贴特殊的抛光垫，上方供给特殊的抛光液，抛光盘旋转速度匹配不同抛光工序；硅片固定于抛光头下方的夹具，待抛光表面与抛光垫直接接触，在抛光压力下完成相应的抛光步骤。而针对不同客户要求，抛光盘需要经常修整平面以配合硅片的待抛光表面。目前通常是使用螺钉将抛光盘固锁于固定盘上，但是，由于重量大使抛光盘的拆卸与安装均十分不便，且容易因操作失误而导致机器受损和人员受伤。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种便于抛光盘的拆卸与安装的抛光盘固定装置。为达到上述目的，本技术提供了一种抛光盘固定装置，其包括：固定盘，其具有相对设置的结合面和安装面，所述固定盘上设有气孔，所述气孔连通所述结合面与所述安装面，所述结合面上设有多圈间隔设置的环形凹槽，且各所述环形凹槽均与所述气孔相连通；限位组件，其包括至少三个沿所述固定盘的周向间隔设置的限位块，所述限位块连接于所述固定盘的周侧...
【技术保护点】
1.一种抛光盘固定装置，其特征在于，所述抛光盘固定装置包括：/n固定盘，其具有相对设置的结合面和安装面，所述固定盘上设有气孔，所述气孔连通所述结合面与所述安装面，所述结合面上设有多圈间隔设置的环形凹槽，且各所述环形凹槽均与所述气孔相连通；/n限位组件，其包括至少三个沿所述固定盘的周向间隔设置的限位块，所述限位块连接于所述固定盘的周侧壁上，且所述固定盘的圆心位于以各所述限位块为顶点形成的多边形的内部。/n
【技术特征摘要】
1.一种抛光盘固定装置，其特征在于，所述抛光盘固定装置包括：
固定盘，其具有相对设置的结合面和安装面，所述固定盘上设有气孔，所述气孔连通所述结合面与所述安装面，所述结合面上设有多圈间隔设置的环形凹槽，且各所述环形凹槽均与所述气孔相连通；
限位组件，其包括至少三个沿所述固定盘的周向间隔设置的限位块，所述限位块连接于所述固定盘的周侧壁上，且所述固定盘的圆心位于以各所述限位块为顶点形成的多边形的内部。
2.根据权利要求1所述的抛光盘固定装置，其特征在于，
多圈所述环形凹槽等间隔设置。
3.根据权利要求1所述的抛光盘固定装置，其特征在于，
所述限位块上设有卡扣，所述固定盘的周侧壁上设有多个与各所述限位块的卡扣卡接配合的卡槽。
4.根据权利要求1所述的抛光盘固定装置，其特征在于，
所述限位块通过螺栓连接于所述固定盘的周侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆明，颜凯，中原司，
申请(专利权)人：浙江芯晖装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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