机械槽增强型差分式压电超声换能器制造技术

本实用新型专利技术提出了一种机械槽增强型差分式压电超声换能器。该超声换能器，包括超声换能器本体，超声换能器本体包括底部设有空腔的基底层、固设于该基底层上的停止层以及自基底层往停止层方向依次设置的弹性层、底电极、压电层，压电层上设有顶部内电极，顶部内电极外周环绕设置有顶部外电极，顶部内电极与顶部外电极之间设有机械槽组，该机械槽组的开口朝向压电层方向。该超声换能器结构简单，顶部内电极和顶部外电极这种差分式电极设计使得该超声换能器能工作在差分式电极工作模式下，此模式的理想状态下的信号将会双倍增强于单电极工作模式，同时机械槽的设计也可增强超声换能器的输出信号、敏感信号，进而提高了其传感灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
机械槽增强型差分式压电超声换能器
本技术涉及超声检测
，具体涉及一种应用于距离测量、手势识别、液体流速及流量测量等领域的机械槽增强型差分式压电超声换能器。
技术介绍
超声检测(传感)技术作为声学传感技术的一种，是指利用超声波的较好的方向性、较强的指向性以及较小的衰减性等特性对距离、流速、流量等物理参数进行检测的技术。压电超声换能器作为高端超声检测仪器的核心部件，是一种利用正压电效应和逆压电效应进行声-电和电-声转换的能量转换型器件。当压电超声换能器作为发射端时，其发出的超声波在介质中进行传播时，由于介质中的物理环境变化(如在空气中的传播距离、在固体中的传播距离、液体介质的流速、液体介质的流量等)。因此可以通过测量便宜测量的电学量改变推断出待测外界物理量的具体参数，从而达到测量外界物理量的目的。目前在超声换能器领域，存在输出信号小、敏感信号弱、灵敏度低、制造性差和无法大规模阵列化等问题。在超声换能器件的使用过程中，敏感信号是一个非常重要的性能指标，敏感信号的强弱直接关系着超声检测器件的灵敏度的大小，而灵敏度的大小直接关系着超声检测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械槽增强型差分式压电超声换能器，其特征在于，包括超声换能器本体，所述超声换能器本体包括底部设有空腔的基底层、固设于该基底层上的停止层以及自所述基底层往停止层方向依次设置的弹性层、底电极、压电层，所述压电层上设有顶部内电极，所述顶部内电极外周环绕设置有顶部外电极，所述顶部内电极与顶部外电极之间设有机械槽组，该机械槽组的开口朝向压电层方向。/n

【技术特征摘要】
1.一种机械槽增强型差分式压电超声换能器，其特征在于，包括超声换能器本体，所述超声换能器本体包括底部设有空腔的基底层、固设于该基底层上的停止层以及自所述基底层往停止层方向依次设置的弹性层、底电极、压电层，所述压电层上设有顶部内电极，所述顶部内电极外周环绕设置有顶部外电极，所述顶部内电极与顶部外电极之间设有机械槽组，该机械槽组的开口朝向压电层方向。


2.根据权利要求1所述的机械槽增强型差分式压电超声换能器，其特征在于，所述机械槽组底部位于压电层与空腔之间。


3.根据权利要求1所述的机械槽增强型差分式压电超声换能器，其特征在于，所述机械槽组包括第一机械槽组和第二机械槽组，所述第一机械槽组宽度不小于第二机械槽组宽...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟笑静，周雪梅，黄河，蔡贵祥，易拥洁，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：新型
国别省市：重庆;50