高精密度化学品配比定容器制造技术

本实用新型专利技术公开了高精密度化学品配比定容器，包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。本实用新型专利技术设计合理，结构简单，通过增减中间连接段的数量来调节容器本体的容积，以满足不同使用需求，工艺过程简单，出错率低，具有推广价值。

【技术实现步骤摘要】
高精密度化学品配比定容器
本技术属于定容装置
，具体涉及高精密度化学品配比定容器。
技术介绍
微电子行业的纯化学品及带颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)，时常因为包装运输方便及工艺需求，需做精密配比。如显影剂中，时常需要精密的浓度配比(如TMAH2.38％+-0.002％)，还有研磨液中的W2000钨导线研磨液及铜导线研磨液，需配置过氧化氢2.2％+-0.05类似范围的浓度等等。这些精密配比中，原液的输入的允许误差常在配比槽的磅秤精准度范围以外甚多，也就是说必须精密到小到一克甚至一克以下的范围。现有的定容装置工艺过程复杂，涉及工具种类繁多，过程繁琐，极易出错，出错后带来经济损失极大，对检测和科学研究的质量管理带来严峻的挑战。
技术实现思路
本技术的目的在于提供高精密度化学品配比定容器，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：高精密度化学品配比定容器，其结构要点在于：包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高精密度化学品配比定容器，其特征在于：包括容器本体，所述的容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，所述的进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，所述的出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设...

【技术特征摘要】
1.高精密度化学品配比定容器，其特征在于：包括容器本体，所述的容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，所述的进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，所述的出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。


2.根据权利要求1所述的高精密度化学品配比定容器，其特征在于：所述的容器本体外部设有控制器，且控制器分别与气动阀一、气动阀二、三向气...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑圣弘，
申请(专利权)人：深圳融科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44