有机EL显示装置及其制造方法制造方法及图纸

基板(10)，具有表面，该表面形成有包含TFT(20)的驱动电路；平坦化膜(30)，通过覆盖驱动电路使基板(10)的表面平坦化；有机发光元件(40)，具有：第一电极(41)、有机发光层(43)及第二电极(44)，第一电极(41)形成在平坦化膜(30)的表面上，并与驱动电路连接；有机发光层(43)形成在第一电极(41)上；第二电极(44)形成在有机发光层(43)上。并且，平坦化膜(30)由两层结构构成，两层结构为层叠在TFT(20)上的无机绝缘膜(31)和有机绝缘膜(32)，并且在接触孔(30a)的内部埋入包含钛层(411)和铜层(412)的导体层(410)，第一电极(41)与导电层(410)电连接而形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机EL显示装置及其制造方法
本专利技术涉及有机EL显示装置及其制造方法。
技术介绍
近年来，在大型电视机、移动设备等有采用有机EL显示装置的趋势。有机EL显示装置通过如下方式构成：在绝缘基板之上的每个像素的区域内形成有使用作为开关元件、驱动元件等的有源元件的薄膜晶体管(以下，也称为TFT)的驱动电路，并在该驱动电路之上以与TFT连接的方式形成每个像素的有机发光元件。作为有机EL显示装置，具有以发光元件的正面为显示面的顶部发射型和以绝缘基板的背面作为显示面的底部发射型，在顶部发射型中，与有机发光元件的显示区域无关，而在其下方形成上述驱动电路。另一方面，在底部发射型中，在显示区域的周缘部形成驱动电路。因此，在形成驱动电路的空间小的移动设备等的小型有机EL显示装置中，经常使用顶部发射型，即在几乎整个显示区域的下方形成TFT等的驱动电路的构成。另一方面，底部发射型适用于在像素之间的空间具有一些余量的大型电视机等。当驱动电路由TFT等形成时，其表面变得凹凸。由于在此基础上形成有机发光元件，因此通过用树脂材料等覆盖在驱动电路之上来形成平坦化膜。由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL显示装置，其特征在于，包括：/n基板，其具有表面，该表面形成有包含薄膜晶体管的驱动电路；/n平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；/n有机发光元件，具有第一电极、有机发光层以及第二电极，所述第一电极形成在所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路连接，所述有机发光层形成在所述第一电极之上，所述第二电极形成在所述有机发光层上，/n所述平坦化膜由两层结构构成，所述两层结构是层叠在所述薄膜晶体管上的无机绝缘膜和有机绝缘膜，/n所述驱动电路与所述第一电极的连接是经由埋入在形成于所述平坦化膜的接触孔内部的导体层进行，且所述导体层包括钛层和铜层，并与所述导体层电连接而形成...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种有机EL显示装置，其特征在于，包括：
基板，其具有表面，该表面形成有包含薄膜晶体管的驱动电路；
平坦化膜，其通过覆盖所述驱动电路使所述基板的所述表面平坦化；
有机发光元件，具有第一电极、有机发光层以及第二电极，所述第一电极形成在所述平坦化膜的表面上，并与所述驱动电路连接，所述有机发光层形成在所述第一电极之上，所述第二电极形成在所述有机发光层上，
所述平坦化膜由两层结构构成，所述两层结构是层叠在所述薄膜晶体管上的无机绝缘膜和有机绝缘膜，
所述驱动电路与所述第一电极的连接是经由埋入在形成于所述平坦化膜的接触孔内部的导体层进行，且所述导体层包括钛层和铜层，并与所述导体层电连接而形成所述第一电极。


2.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述有机绝缘膜为感光性树脂。


3.如权利要求1或2所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述平坦化膜的表面通过研磨形成为算术平均粗糙度Ra在50nm以下。


4.如权利要求1至3中任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，埋入所述接触孔内部的所述导体层的表面通过研磨形成为算术平均粗糙度Ra在50nm以下。


5.如权利要求1至4中任一项所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第一电极包括Ag或APC及ITO。


6.如权利要求1至5中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP