压力传感器制造技术

压力传感器具有：基体构件(12)；固定电极(14)，其设于基体构件(12)；隔板(16)，其与固定电极(14)隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性；电介质体(20)，其设于固定电极(14)并且与隔板(16)相对；以及接触限制构件(18b)，其与隔板(16)接触从而限制电介质体(20)的一部分与隔板(16)的接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器
本专利技术涉及一种用于测量气压等压力的压力传感器。
技术介绍
一直以来，作为静电电容型压力传感器，例如像专利文献1所记载的那样公知有一种接触模式压力传感器。这样的接触模式压力传感器包括固定电极、与固定电极隔开间隔地配置并且承受压力而挠曲的隔膜(隔板)、以及设于固定电极并且与隔板相对的电介质膜(电介质体)。首先，在压力作用于隔板而使隔板挠曲时，固定电极和隔板之间的距离减小并且固定电极和隔板之间的静电电容增加。在隔板与电介质体接触之后也就是在接触模式中，电介质体与隔板的接触面积增加会使固定电极和隔板之间的静电电容增加。利用这样的压力－电容特性，接触模式压力传感器根据静电电容值来计算压力并将该计算结果作为压力测量值而输出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015－152450号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在专利文献1所记载的压力传感器的情况下，在隔板与电介质体接触之后，静电电容的相对于压力的变化而言的变化的线性度较低。因此，用于根据静电电容值来计本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其中，/n该压力传感器具有：/n基体构件；/n固定电极，其设于所述基体构件；/n隔板，其与所述固定电极隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性；/n电介质体，其设于所述固定电极并且与所述隔板相对；以及/n接触限制构件，其与所述隔板接触从而限制所述电介质体的一部分与所述隔板的接触。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180309 JP 2018-0432681.一种压力传感器，其中，
该压力传感器具有：
基体构件；
固定电极，其设于所述基体构件；
隔板，其与所述固定电极隔开间隔地相对设置并且具有挠性和导电性；
电介质体，其设于所述固定电极并且与所述隔板相对；以及
接触限制构件，其与所述隔板接触从而限制所述电介质体的一部分与所述隔板的接触。


2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有缩颈部的形状，该缩颈部夹着所述电介质体的与所述隔板的中央部分相对的中央部分。


3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其中，
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是具有从中心到外周部的直线距离不同的部分的形状。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器，其中，
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是如下形状，该形状具有由彼此相对的向外侧突出的两个圆弧和彼此相对的向内侧突出的两个圆弧构成的外形。


5.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器，其中，
所述电介质体的能够与隔板接触的区域是如下形状，该形状具有由彼此相对的平行的两个直线和彼此相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨崎良平，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP