射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品制造方法及图纸

本申请实施例提供提供一种射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品，方法包括：获取射频压电器件的当前性能参数的值；判断当前性能参数的值是否达到射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；若当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的射频压电器件的图像；根据图像，识别出在射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；对射频压电器件的性能进行分析，生成将当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；根据最优策略，通过调整调试部位的物理属性，调整射频压电器件的物理结构以使得射频压电器件具有目标性能参数的值，从而实现了对射频压电器件进行性能调试。

【技术实现步骤摘要】
射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品
本申请涉及计算机科学领域，尤其涉及一种射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品。
技术介绍
目前的射频压电器件(以下简称RF器件)主要有基于纯电磁效应的和压电效应的，电磁效应的RF器件有陶瓷滤波器、腔体滤波器等等，基于压电效应的有声表面波器件(SAW，SurfaceAcousticWave)、体波BAW和薄膜体波FBAR。对于纯电磁效应的RF器件而言，其主要缺点在于体积较大且无法实现单片集成，无法满足便携性的要求；对于压电效应的RF器件而言，其具有工作频率高，体积小，品质因数高，便于集成等优势，使其在射频前端通信领域中发挥着重要的作用。由于基于压电效应的RF器件的高灵敏度特性使其具有广阔的应用前景。但这种高灵敏度会降低其在电学应用中的可靠性。在一个器件中，由于加工偏差，加工后的工作频率通常不同于目标值，导致产品一致性差，成品率低。无法满足设计指标的要求。常规的作法是尽量的保证XYZ三方向的加工精度，尽量控制材料的一致性，使得一批产品的一致性更好，但是材料的一致性和加工精度不可避免的存在误差，以至于到了微观层面很难去控制。在腔体或者微带等微波射频压电器件在设计、生产和装配过程中，受原材料及加工工艺的不一致性以及生产和装配过程中的误差等因素的影响，在产品调试前的状态各不相同产品，必须通过反复调试，才能满足性能要求或实现性能的一致性和稳定性。因此，亟待提供一种针对RF器件的性能调试解决方案，以对RF器件进行性能调试，尽可能提供满足性能要求或实现性能一致性和稳定性的RF器件。
技术实现思路
有鉴于此，本申请解决的技术问题之一在于提供一种射频压电器件的性能调试方法、装置及相关产品，对RF压电器件进行性能调试，尽可能提供满足性能要求或实现性能一致性和稳定性的RF器件。1、一种射频压电器件的性能调试方法，其特征在于，所述方法包括：获取所述射频压电器件的当前性能参数的值；判断所述当前性能参数的值是否达到所述射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；若所述当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的所述射频压电器件的图像；根据所述图像，识别出在所述射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；对所述射频压电器件的性能进行分析，生成将所述当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：通过矢量网络分析仪对所述射频压电器件进行性能测试得到所述当前性能参数的值。3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。4、根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，生成控制机电设备的控制指令，通过所述控制指令控制所述机电设备对所述射频压电器件的所述调试部位进行切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。5、根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述机电设备包括：离子枪、磨头、铣刀和激光器中至少一种。6、根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件具有腔体或者微带结构。7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于，若所述射频压电器件具有微带结构，则所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的腔体或者微带结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。8、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件为基于有声表面波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述有声表面波的射频压电器件中电极之间的距离以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。9、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件为基于体波或薄膜体波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述体波或薄膜体波的射频压电器件中的电磁场以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。10、一种射频压电器件的性能调试装置，其特征在于，所述装置包括：第一获取单元，用于获取所述射频压电器件的当前性能参数的值；判断单元，用于判断所述当前性能参数的值是否达到所述射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；第二获取单元，用于若所述当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的所述射频压电器件的图像；识别单元，用于根据所述图像，识别出在所述射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；分析单元，用于对所述射频压电器件的性能进行分析，生成将所述当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；调整单元，用于根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。11、根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：测试单元，用于通过矢量网络分析仪对所述射频压电器件进行性能测试得到所述当前性能参数的值。12、根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述调整单元进一步用于根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。13、根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述调整单元进一步用于根据所述最优策略，生成控制机电设备的控制指令，通过所述控制指令控制所述机电设备对所述射频压电器件的所述调试部位进行切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。14、根据权利要求13所述的装置，其特征在于，所述机电设备包括：离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频压电器件的性能调试方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取所述射频压电器件的当前性能参数的值；/n判断所述当前性能参数的值是否达到所述射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；/n若所述当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的所述射频压电器件的图像；/n根据所述图像，识别出在所述射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；/n对所述射频压电器件的性能进行分析，生成将所述当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；/n根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。/n

【技术特征摘要】
1.一种射频压电器件的性能调试方法，其特征在于，所述方法包括：
获取所述射频压电器件的当前性能参数的值；
判断所述当前性能参数的值是否达到所述射频压电器件合格时具备的目标性能参数的值；
若所述当前性能参数的值达不到目标性能参数的值，则获取光学设备提取的所述射频压电器件的图像；
根据所述图像，识别出在所述射频压电器件中设计的用于性能调试的调试部位；
对所述射频压电器件的性能进行分析，生成将所述当前性能参数的值调整到目标性能参数的值的最优策略；
根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。


3.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述最优策略，对所述射频压电器件的所述调试部位进行刻蚀、切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，生成控制机电设备的控制指令，通过所述控制指令控制所述机电设备对所述射频压电器件的所述调试部位进行切削、打磨、烧灼中至少其一处理，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。


4.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件具有腔体或者微带结构。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件为基于有声表面波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述有声表面波的射频压电器件中电极之间的距离以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值。


6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述射频压电器件为基于体波或薄膜体波的射频压电器件；所述根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，调整所述射频压电器件的物理结构以使得所述射频压电器件具有所述目标性能参数的值，包括：根据所述最优策略，通过调整所述调试部位的物理属性，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志熙，刘洁，石佳，滕洪亮，
申请(专利权)人：南京星火技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32