一种用于微位移平台的纳米定位控制系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于微位移平台的纳米定位控制系统。将扫描探头和扫描平台在控制器控制下向待测材料表面移动到1微米以内时，定位传感器的SPR信号将发生变化，通过SPR信号实时计算两个平面之间的距离d,当d达到扫描距离要求时，传感器发出反馈信号，反馈信号传给上位机，上位机再将信号传给控制器，此信号控制扫描平台停止移动，从而实现根据扫描探头到待测材料表面之间的距离进行的纳米定位的目的。本发明专利技术可实扫描探头与待测材料之间距离的纳米级定位闭环控制，从而实现扫描探头的非接触式扫描测量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微位移平台的纳米定位控制系统
本专利技术涉及纳米定位
，特别是涉及一种用于微位移平台的纳米定位控制系统。
技术介绍
纳米定位技术是前沿科学，广泛应用于超精加工、微电子工程、生物工程、纳米技术，在工程
中是关键技术之一。对于纳米定位与扫描平台控制系统而言，由于其本身固有的迟滞性、蠕变性、负载性而且定位分辨力和定位精度都比较低，这都将直接影响扫描平台的纳米定位精度。以往主要是通过各种算法对扫描平台来实现前馈、反馈及混合方式的纳米位移控制。但在实际的非接触式测量中，常常需要扫描探头与待测材料表面之间距离保持在几十至几百纳米级别范围内，而传统的位移控制方法很难实现依据扫描探头到待测物体表面的距离进行定位控制。
技术实现思路
为了克服上述现有纳米定位技术不足，本专利技术提供了一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，能够实现在几百纳米范围内根据扫描探头与待测物体表面的距离进行定位控制。一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，包括纳米定位传感器、扫描探头、扫描平台、控制器和上位机，所述定位传感器与扫描探头装配在一起本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特征在于：包括纳米定位传感器(2-1)、扫描探头(2-2)、扫描平台(2-3)、控制器(2-4)和上位机(2-5)，所述纳米定位传感器(2-1)与扫描探头(2-2)装配在一起，纳米定位传感器(2-1)通过信号线与上位机(2-5)建立连接，扫描探头(2-2)固定在扫描平台(2-3)上，扫描平台(2-3)与控制器(2-4)建立信号传输实现控制扫描平台(2-3)的升降，控制器(2-4)与上位机(2-5)连接，整个系统构成纳米定位的闭环控制系统。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特征在于：包括纳米定位传感器(2-1)、扫描探头(2-2)、扫描平台(2-3)、控制器(2-4)和上位机(2-5)，所述纳米定位传感器(2-1)与扫描探头(2-2)装配在一起，纳米定位传感器(2-1)通过信号线与上位机(2-5)建立连接，扫描探头(2-2)固定在扫描平台(2-3)上，扫描平台(2-3)与控制器(2-4)建立信号传输实现控制扫描平台(2-3)的升降，控制器(2-4)与上位机(2-5)连接，整个系统构成纳米定位的闭环控制系统。


2.根据权利要求1所述一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特征在于：所述纳米定位传感器(2-1)包括光源(1-1)、棱镜(1-2)、金属薄膜(1-3)和光强接收器(1-4)，棱镜(1-2)的工作面镀有金属薄膜(1-3)，光源(1-1)发出激光经棱镜(1-2)入射至金属薄膜(1-3)上，金属薄膜(1-3)反射光源(1-1)发出的激光并由光强接收器(1-4)接收。


3.根据权利要求2所述一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特征在于：所述金属薄膜(1-3)为金膜或银膜。


4.根据权利要求2所述的一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特征在于：所述光源(1-1)发出的激光入射到金属薄膜(1-3)上的入射角度范围为：10-50°。


5.根据权利要求3所述一种用于微位移平台的纳米定位控制系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志韬，宋显华，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23