一种惰性气体净化设备及回收净化系统技术方案

本发明专利技术提供了一种惰性气体净化设备，所述惰性气体净化设备包括第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件，所述第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件用于对通过气体进行脱氮处理。本发明专利技术还提供了一种惰性气体回收净化系统。本发明专利技术对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明专利技术所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，缩短了净化流程，提高了净化效率。

【技术实现步骤摘要】
一种惰性气体净化设备及回收净化系统
：本专利技术
气体净化
，尤其涉及一种惰性气体净化设备及回收净化系统。
技术介绍
：在现有的单晶行业的工业生产中，单晶炉每天需要用大量的高纯惰性气体，如氩气、氦气等，且高纯惰性气体本身价格昂贵，如果使用后的高纯惰性气体得不到回收再利用，生产企业不仅需要支付巨大的成本，还会造成惰性气体的浪费。而回收之后的惰性气体需要进行重新的纯化处理，不进行再纯化处理，是不能再被利用的。如在传统的气体净化技术中，以硅芯炉排出的氩气尾气为原料气，需要进行加氢脱氧及并通过深冷液化过程进行净化，其净化过程中很难避免加氢装置，如防爆厂房及防爆电气等设备的使用，净化设备占地面积大，且净化过程中存在较高安全风险，且易出现由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。因此，本领域亟需一种惰性气体净化设备及回收净化系统。有鉴于此，提出本专利技术。
技术实现思路
：本专利技术的目的在于提供一种具有更好使用效果的惰性气体净化设备及回收净化系统，以解决现有技术中的至少一项技术问题。具体的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惰性气体净化设备，其特征在于：所述惰性气体净化设备包括第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)，所述第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件(1)用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件(2)用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件(3)用于对通过气体进行脱氮处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种惰性气体净化设备，其特征在于：所述惰性气体净化设备包括第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)，所述第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件(1)用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件(2)用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件(3)用于对通过气体进行脱氮处理。


2.根据权利要求1所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)包括预热罐(11)及脱氧罐(12)，所述预热罐(11)与脱氧罐(12)相连接，通过气体依次经过预热罐(11)及脱氧罐(12)。


3.根据权利要求2所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)还包括热交换罐(13)，所述热交换罐(13)用于将进入第一净化组件(1)的气体与离开第一净化组件(1)的气体间进行热交换。


4.根据权利要求3所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)及第二净化组件(2)间还设置有气体调整罐(41)，所述气体调整罐(41)用于调整流入第二净化组件的气体温度。


5.根据权利要求1-4任意一项所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第二净化组件(2)包括干燥罐(21)及加热器(22)，所述干燥罐(21)及加热器(22)依次相连通，通过气体依次经过干燥罐(21)及加热器(22)。


6.一种惰性气体回收净化系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宝福，宋兰芹，饶勇平，
申请(专利权)人：北京北氧特气工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11