【技术实现步骤摘要】
一种探针卡检测电路用工作台、固定机构和检测机构
本技术涉及一种检测结构,具体是一种探针卡检测电路用工作台,属于检测装置应用
技术介绍
探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试,是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶系以探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此,探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。探针卡放置在工作台上检测时需要采用固定结构限定位置,固定结构与探针卡接触面积过大影响检测效果,接触面积较小固定效果不足,且对探针卡检测时无法根据探针卡的形状不同选择不同的检测块,检测不够全面,结果不够精准。因此,针对上述问题提出一种探针卡检测电路用工作台。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡检测电路用工作台。本技术通过以下技术方案来实现上述目的,包括丝杠、工作台、固 ...
【技术保护点】
1.一种探针卡检测电路用工作台,其特征在于:包括丝杠(1)、工作台(6)、固定机构和检测机构;/n所述固定机构包括第二电机(7)、动板(15)和竖杆(17),所述工作台(6)底部固接有第二电机(7),所述第二电机(7)的输出轴贯穿工作台(6)后固接在动板(15)底部,所述动板(15)两侧均固接有竖杆(17),所述竖杆(17)一侧安装有压块(16);/n所述检测机构包括丝杠(1)、固定杆(9)和检测器外壳(20),所述固定杆(9)固接在工作台(6)上,所述固定杆(9)内腔固接有第一电机(5),所述第一电机(5)顶部固接有固定块(12),所述固定块(12)固接在检测器外壳(20 ...
【技术特征摘要】
1.一种探针卡检测电路用工作台,其特征在于:包括丝杠(1)、工作台(6)、固定机构和检测机构;
所述固定机构包括第二电机(7)、动板(15)和竖杆(17),所述工作台(6)底部固接有第二电机(7),所述第二电机(7)的输出轴贯穿工作台(6)后固接在动板(15)底部,所述动板(15)两侧均固接有竖杆(17),所述竖杆(17)一侧安装有压块(16);
所述检测机构包括丝杠(1)、固定杆(9)和检测器外壳(20),所述固定杆(9)固接在工作台(6)上,所述固定杆(9)内腔固接有第一电机(5),所述第一电机(5)顶部固接有固定块(12),所述固定块(12)固接在检测器外壳(20)下方,所述检测器外壳(20)内腔顶部固接有两个丝杠(1),两个所述丝杠(1)上分别安装有第一检测块(3)和第二检测块(10)。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡检测电路用工作台,其特征在于:所述第一检测块(3)和第二检测块(10)顶部均安装有安装块(11),所述安装块(11)内腔固接有液压气缸(2),所述安装块(11)顶部被丝杠(1)贯穿,所述安装块(11)与丝杠(1)之间滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡检测电路用工作台,其特征在于:所述丝杠(1)贯穿检测器外壳(20)的一端固接有限位块(18),且所述丝杠(1)另一端固接有第三电机(19),所述第三电机(19)固接在检测器外壳(20)内腔顶部,所述第三电机(19)下方固接有液晶显示屏(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵梁玉,于海超,王艾琳,
申请(专利权)人:强一半导体苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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